組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ
『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な場所でも使用できます。 昇圧部シール材としてフッ素樹脂、超高分子量ポリエチレンを使用。 OリングはFKM仕様とカルレッツ仕様から選択可能。 2000年から25年におよぶ市場供給をしております。 【特長】 ■コンパクト設計で組込みに好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能(SSBL-37.5A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社テクノメイト
- 価格:応相談