真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置
ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空乾燥・ベーキング装置。ニーズに合った最適の装置を選択可能！
佐藤真空の真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置は、チャンバーサイズ・真空度・加熱温度・操作方式など、各々に特長をもった多種多様なシリーズをラインアップしています。 ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空装置を得意としており、お客様のご要望を真空装置として具現化します。
真空ポンプ(装置) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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真空ポンプの製品一覧
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表示件数
廉価版ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』
超微粒子・ナノ粒子を手軽に製作可能！リース対応もＯＫでリーズナブル！
廉価版ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』は、 金属のナノ粒子を手軽に製作できる、少量多種に適した製品です。 特にAg、Sn、Bi、Cu、Znの製作がとても簡単に行えます。 月額のリース対応も可能で、リーズナブルにご利用頂けるほか、 当社ではナノ粒子の委託製造も随時承っております。 ※本製品は（公財）東京都中小企業振興公社 ニューマーケット開拓支援事業の支援対象製品です。 【主な仕様】 ■直流アーク電源300A ■フィルター1本取り ■循環ポンプ 100L/min ■ピラニー真空計 ■水冷電極（Wチップ付） ■ナノ粒子熱交換器 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。 【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格：CEマーキング、RoHS指令 適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
メンテナンス・リサーチ株式会社 会社案内
真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 【事業内容】 ○海外真空プロセス設備の販売、各社中古真空プロセス装置販売 ○各社半導体用真空設備の修理 ○真空搬送ロボット修理 ○各社電源修理 ○半導体装置のパーツ設計販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：メンテナンス･リサーチ株式会社
- 価格：応相談
クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
小型水槽付チラー RKS-Jシリーズ(空冷)
使いやすさ+手軽さ+お手頃価格 エコノミーモデルのチラー
・冷凍機のON/OFF制御により±2.0℃の温度制御が可能。シーンを選びません。 ・高圧ポンプを標準搭載 ・シンプルな安全設計とコントローラ＋充実の機能 ・大口径給水口の大容量タンク ・フィルター清掃が簡単
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
小型水槽付チラー RKS-GMシリーズ(水冷)
オリオン機械/チラー。ミドルグレードモデル。水冷タイプ。機能をギュッと凝縮し使いやすく進化。
■電子膨張弁制御で、温度制御精度±0.1℃を実現。 ■高揚程ポンプ(30m以上)を標準装備※RKS750Gは50Hzで20mになります。 ■コンパクト ■カンタン操作 チラーの運転は運転スイッチを押すだけのカンタン操作。しゃ断器を前面に配置して主電源のON/OFFがカンタン。アラーム発生時はリセットスイッチを押すことで解除。アラーム発生時はエラーコードでアラーム内容を表示する安心設計。また、アラーム発生履歴を過去6回分まで記憶しているので、不具合対策にもなります。圧送ポンプ単独運転も可能なので、万が一冷凍機が故障しても水循環を行うことができます。手元操作/遠隔操作の設定が可能。 ■金製外装 長期間の使用に耐える板金製の外装。 ■フレーム構造の採用 フレームで剛性をもたせた堅牢構造。 ■大容量水槽 水槽容量は10Lと大容量で液温の変化に強い設計です。 ■パソコンで操作と確認が可能 パソコンで操作可能な項目：チラー本体を個別に運転・停止チラーの送水ポンプを個別に操作チラーの液温を個別に設定
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
有限会社渡辺真空 事業紹介
卓越した技術力でアフターフォロー！真空ポンプのことなら当社にお任せ下さい
有限会社渡辺真空は、主に真空ポンプの販売・修理・メンテナンスを行って いる会社です。 国内外メーカー40社以上の真空ポンプの修理・メンテナンスに対応。常時 300台以上の真空ポンプを保有し、代替機を導入することにより生産ライン を止めることなく作業ができます。 真空ポンプ・真空装置・真空関連品のことなら、当社にご相談ください。 【サービス内容】 ■真空ポンプの修理・メンテナンス ■真空ポンプの販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社渡辺真空 本社
- 価格：応相談
三弘エマテック株式会社 事業紹介
機器、材料、分析装置の幅広い総合力で製造プロセスを強力にサポートします。
三弘エマテック株式会社は、産業の基盤として多様な応用分野で、 研究開発や製造プロセスを強力にサポートする真空をキーワードとした 商品を中心に幅広くご提供しております。 民間企業様から大学・官公庁のお客様まで用途に限らない全方位型の 商品提供戦略を取っており、各仕入れ先メーカーとの幅広い コミュニケーションを活用し、積極的に新規商材の開拓を行っております。 【取扱製品】 ■真空ポンプ・真空排気装置 ■計測機器コンポーネント・分析装置 ■研究開発・量産装置・材料・委託成膜 ■各種設備・装置 ■各種機器 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：三弘エマテック株式会社
- 価格：応相談
真空拡散接合装置
さまざまな金属などを拡散接合！微拡散接合装置や高周波加熱式拡散接合炉をご紹介
アトーテックで取り扱う真空拡散接合装置をご紹介いたします。 金属などを原子レベルで接合させる「微拡散接合装置」は、当社の真空技術を 使用して設計・製造。同じ材料同士の接合や異なる材料の接合が可能です。 また、「高周波加熱式拡散接合炉」は、短時間で効率良く拡散接合を 行うことができ、φ30までの各種金属類の拡散接合にご使用いただけます。 【微拡散接合装置 仕様】 ■加圧方式：分銅＋テコによる加重方式 ■過熱寸法：40φ×40H ■過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 ■最高過熱温度：1400℃ ■真空度：×10-5PA ■高周波電源：20KW ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ
圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ
過酷な現場を含め、 幅広い用途で生き残ってきたロングセラー商品です。 高い耐久性により多くのユーザーから信頼を得ております。 ◆過酷な現場での使用実績が豊富で 耐久性に優れる油回転真空ポンプです。 ◆安定して低い圧力が得られます。 ◆シンプルな構造で故障が少ないです。 ◆標準装備のガスバラスト弁により、 微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
真空ポンプリザーバ超高速排気システム『エコバックシステム』
連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：有限会社ベック
- 価格：応相談
ファイファー社 OmniControl シリーズ
ファイファー社製新型コントローラです。 １～２ch の真空計と真空ポンプ（TMP or ドライポンプ）が１台で起動可能です。
下記真空計が起動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ
有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ
有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、 封液を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」の水封式真空ポンプです。 排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、 熱交換器で構成されており、 コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス（SUS316相当）等の 耐食性に優れる材質への選定も可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆管板部が分解可能で清掃ができる 熱交換器を標準装備しています。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
小型水槽付チラー RKS-JMシリーズ（空冷・水冷）
オリオン機械/チラー。ミドルグレードモデル。高精度温度制御+インバータ駆動高圧ポンプ+高温環境対応。
■電子膨張弁による、±0.1℃の高精度温度制御で装置の加工精度 UP、品質向上に貢献。 ■標準搭載の高圧ポンプは、インバータ駆動で周波数の異なる地域でも同性能だから安心。 ■使用周囲温度範囲5～45℃と広範囲。 ■使用液温度範囲5～40℃とワイドレンジ。 ■シンプルな安心設計とコンロトーラ+充実の機能。 運転スイッチを押すだけの簡単操作。エラーコードでアラーム内容を表示。迅速な復旧が可能です。 ■大口径給水口の大容量タンク Φ100mmの大口径の給水口だからタンク内の清掃が簡単！しかも大容量だから渇水エラーの頻度、水補給作業の回数を軽減、負荷変動時の水温変化を抑えられます。タンク内の水位が確認しやすい青色LED付水位レベラーを搭載！ ■フィルタ清掃が簡単 コンデンサには目詰まりを防止するフィルタを標準装備！フィルタは工具無しで簡単に取り外しが可能。フィルタを直接清掃できるので付着物を除去しやすく、工数の削減、チラーの運転性能の安定に貢献します。 ■ご使用用途に合わせたアプリケーション機能を多数用意 色々なシーンに合わせてお選びいただけます。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
微拡散接合装置
微拡散接合装置
【仕様】 加圧方式：分銅+テコによる加重方式 過熱寸法：40パイx40H 過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 最高過熱温度：1400℃ 真空度：x10-5PA 高周波電源：20KW
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
水封式真空ポンプ SWシリーズ
あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。 他方式ではトラブルの基となる様々なガスを 封水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは、 水でシールすることで 凝縮性ガスや引火性ガスの 排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、 メカニカルシールも選択できます。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
【会社案内】アイアールシー株式会社
低価格・短納期！不要な装置の買取も全国対応いたします
アイアールシー株式会社は、中古機器の販売を中心に業務を行っている 中古販売会社です。 現在、本社を山梨に設置し東北から関東、中部、関西、中四国、 九州と全国幅広く対応しております。 【業務内容】 ■中古機器販売 ・取扱い機器：半導体・FPD関連機器、クリーンルーム関連機器、 理化学機器および一般産業機器など ■真空ポンプのオーバーホール ・ターボ分子ポンプ（小型）、ドライポンプ、クライオポンプなど ■露光装置修理、整備、販売 ・キャノン製PLAシリーズの中古機販売他、修理、整備、改造、移設サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイアールシー株式会社
- 価格：応相談
2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAファミリー
強制循環型オイル潤滑で高い排気量をキープ。0.67Paの到達真空度を実現する2段式のロータリーベーン真空ポンプ。
実績豊富な油回転真空ポンプ。確立された原理で信頼性、堅牢性の高い製品です。 小さな筐体で到達真空値0.67Pa、しかも高真空領域でも高い排気速度を維持します。油回転ポンプで問題となるオイルミストも、ミストフィルターで解決！ 〇主な用途： - プラスチック業界：真空成形、コーティング装置、射出成形 - 自動車業界：ラジエーター液、ブレーキ液、冷媒、各種注入装置 - 分析業界：GCM、LCM、グローブボックス、電子顕微鏡、リークテスト - エレクトロニクス業界：薄膜装置 - 冶金業界：小型の焼結装置や真空炉などの粗引き及び補助ポンプ ※詳細はお問合せいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
オイルクリーナー 静電浄油シリーズ
ヘッダー・フォーマー油も浄化が可能な高性能オイルクリーナー どんな汚れ（ボンデ、アルミ、ステンレス、銅、砥粒など）も除去。
加工設備の潤滑油、加工油等でお困りではありませんか？ オイルクリーナー 静電浄油シリーズは、電界を利用し、 過酷な油の汚れもフィルターが詰まることなく浄化します。 様々な夾雑物(ボンデ、アルミ、黄銅、プラスチック等)の除去や あらゆる油種・油量への対応が可能です。 【特長】 ■夾雑物量40g/L以上の油でもコレクタが詰まることなく安定稼働 ■0.01μm～10μmの被膜、金属、砥粒、プラスチック、ガラス等を除去 ■油種・油量・夾雑物量に合わせ装置をカスタマイズしてご提供 ※水溶性加工油を対象とした精密ろ過・遠心分離シリーズもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
- 企業：豊栄工業株式会社
- 価格：応相談
真空技術アドバイザー渡辺正晴 真空技術無料相談受付中！
20年以上お使いの真空装置のリニューアルアドバイス受付中！"均熱が出ない"、"排気時間が長い"などでお困りではありませんか？
アトーテックでは、20年以上お使いの真空装置のリニューアルアドバイスを 受け付けております。 「到達真空度が上がらない」「排気時間が長い」「均熱が出ない」という 課題は、真空ポンプの取り換え、オーバーホールで改善することが可能。 また、真空装置のオーバーホール、ヘリウムガスのリークテスト・ リークチェックも行います。 まずは、装置の状態をお電話にてご相談ください。 【こんなお困りごとに】 ■到達真空度が上がらない ■排気時間が長い ■均熱が出ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
- 企業：アネスト岩田株式会社
- 価格：応相談
油回転真空ポンプVD シリーズ
『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性を重視した設計になっていますので、日常の保守・点検がたいへん容易です。特に静かさを求められる研究所から各種生産ラインに至るまで、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低騒音 ○優れたメンテナンス性 ○大気圧付近のような高圧時においても安定した排気が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
KNF N86.3シリーズ 真空ポンプ
耐食性を備え、高い耐久性、水蒸気や結露に強い真空ポンプ
・ウエットなガス、凝縮ガスの移送にご使用いただけます。 ・減圧状態または陽圧状態からの再起動が可能(ブラシレスDCモータ) ・ブラシレスDCモータはPWM制御にて流量調整が可能。 基本流量: 4.2 - 5 l/min ～ 到達真空度: < 30 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
- 企業：株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN
- 価格：1万円 ~ 10万円
*ハンディピラニゲージ
•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
