Cavro XLP6000シリーズに関するご案内
D-sub15アダプター部品の形状の変更
このたび、シリンジポンプXLP6000シリーズに関し、利便性を上げるためにD-sub 15アダプターを変更することになりました。対象シリアルは下記の通りです。 なお、D-sub 15アダプター自体の形状や各ピンのアサイメントは一切変更がありません。 ご迷惑をおかけして申し訳ありませんが、ご理解をいただけますよう何卒よろしくお願いいたします。
- 企業:テカンジャパン株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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D-sub15アダプター部品の形状の変更
このたび、シリンジポンプXLP6000シリーズに関し、利便性を上げるためにD-sub 15アダプターを変更することになりました。対象シリアルは下記の通りです。 なお、D-sub 15アダプター自体の形状や各ピンのアサイメントは一切変更がありません。 ご迷惑をおかけして申し訳ありませんが、ご理解をいただけますよう何卒よろしくお願いいたします。
様々な分野で導入実績多数!半導体製造ラインの安定稼働に最適な装置組込み用ポンプXLP6000
Cavro XLP6000は、様々な自動化装置に採用されている超精密吐出ユニットです。半導体製造装置に求められる24時間365日の連続稼働に耐えうる堅牢な設計と、化学薬品に対する高い耐性を兼ね備えています。 長年培われた信頼のメカニズムが、プロセス液の供給における「ダウンタイムゼロ」を追求し、装置の稼働率(OEE)を最大化します。 【活用シーン】 ・メッキ槽への添加剤・薬液の自動補充:光沢剤や抑制剤を正確かつ定期的に定量補充 ・洗浄・エッチング用薬液のオンデマンド調合:インライン供給するブレンディングシステムに最適 ・現像液・剥離剤の精密供給:大口径ウェーハの面内均一性を確保するための安定した液送りを実現 【なぜXLP600なのか?】 ・量産ラインでの圧倒的な信頼実績 ・メンテナンス性の高さと長寿命設計 ・グローバルなサポート体制
半導体製造プロセス最適化:低脈動・超高精度の液送ソリューションで高品質と高歩留まりを実現
半導体製造のさらなる微細化・高集積化において、製品品質と歩留まりを左右するのは薬液ハンドリングの極限的な精度です。特に、わずかな流量変動が致命的な欠陥につながる次世代プロセスにおいて、従来の送液システムでは対応しきれない課題が表面化しています。 Cavro Centris Pumpは、業界最高水準の分解能(最大192,000ステップ)により、微細化が進む各工程でこれまでにない安定性を提供します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの精密滴下(リソグラフィ) ・ナノインプリント用樹脂の供給 ・スリットダイコーティングの流量制御(薄膜形成) ・無電解メッキ液の自動調整 ・電気メッキ(ECP)の添加剤管理 ・薬液のインラインブレンディング ・CMP(化学機械研磨)工程でのスラリー・添加剤の精密供給 【導入の効果】 Centris Pumpは、吐出量のわずかなバラつきや脈動による塗布ムラを解消し、歩留まりの劇的な向上に貢献します。装置への組み込みを前提としたコンパクトな設計は、既存装置のアップグレードや次世代装置の開発において、設計の自由度を最大限に高めます。
半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア
微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下~50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ:Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ:XMP6000 送液速度:17nl/分~2.4L/分 (エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング) フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液 【活用シーン】 ・スピンコート ・スプレイコート ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨(CMP)におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・自動滴定調整 ・自動希釈 ・メッキ工程(電解・無電解)の添加剤管理 ・パッケージング工程 など
吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に!
スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性(CV値:0.05%を実現) 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを! 1回の送液の液量範囲:1nl~50ml 液量調節単位:最少1nl~ 流速範囲:0.3μl/分~ (5.2nl/秒~) 流速調整単位: 63nl/分~ (1nl/秒) ※装着するシリンジ容量による 例:10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位:最少0.2μl~ 調節可能な流速範囲:62.5μl/分~500ml/分 (1μl/秒~8.3ml/秒) 流速調整単位: 12.5μl/分~ (0.2μl/秒~) エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための3方弁~12ポートバルブが装着可能。
高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。
高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性(CV値:0.05%)を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲:2nl~5ml 液量調節単位:最少2nl~ 調節可能な流速範囲:5μl/分~250ml/分 (83nl/秒~4.16ml/秒) 流速調整単位: 208nl/分~ (2nl/秒) ※装着するシリンジ容量による 例:2.5mlシリンジを装着時 液量調節単位:最少104nl~ 調整可能な流速範囲:250μl/分~125ml/分 (4.1μl/秒~2.08ml/秒) 流速調整単位: 6.24ml/分~ (104nl/秒~) 特徴:エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。
ALD/CVDの液体前駆体供給に! 0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。厳しい最適化が必要な送液に最適
組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲:0.3nl~12.5ml(※) 液量調節単位:最少0.3nl~ 調節可能な流速範囲:17μl/分~750ml/分 (0.3nl/秒~12.5ml/秒) 流速調整単位: 17nl/分~ (0.3nl/秒) ※装着しているシリンジ容量(50ul~12.5ml)による 例:5mlシリンジを装着している場合 液量調節単位:最少104nl~ 調節可能な流速範囲:1.62μl/分~300ml/分 (0.3nl/秒~5ml/秒) 流速調整単位:1.62μl/分~ (28nl/秒~) 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。
ナノリッター単位より液送量や流速調節が可能な高精度シリンジポンプ
Centris Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高く、脈動が極めて少ない、装置組込み用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 活用実績:フローサイトメーター、ウエハ製造での微量送液、滴定装置、マイクロ流路、薄層クロマトの製造、病原体検出装置、大気分析装置など多様 ★ 技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ===== 特 長 ===== ・長寿命セラミックバルブも搭載可能 ・高再現性:0.05%CV以下/FS ・高解像度:181,490ステップ (0.3nl単位で送液量や液送速度を調整可) ・プログラム可能な流速 5nl/s〜12.5ml/s (最大50時間で一ストローク可能) ・コンパクトサイズ(設置スペース 69×45mm) ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
袋を立てたまま上部でシールするタイプです。立体的、水や粉物などの脱気包装に適した構造で、専用ケースに入れたままでも作業ができます
シール長が600mmまで可能な脱気シーラーです。 立体的・水物・粉物などの包装に適した構造で、袋を立てたまま上部でシールするタイプです。 タッチパネルで指一本の操作で楽にテーブルが上下できるので、ワークにあわせてテーブルの高さを微調整できます。 シリーズでシール長が450mm,800mm,1000mmもあります。
【テスト機貸出中(有償)】工業製品の脱気包装に最適な脱気シーラー!家庭用電源で場所を選ばす使用可能!
真空パック導入前に試用したいとのご要望にお応えして「テスト機貸出(有償)」をはじめました。ご希望の方は、左記メニューの「お問合せ窓口」よりご連絡ください。お電話でのお問合せも受け付けています。 ★価格など詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
テスト機貸出中!家庭用電源で場所を選ばす使用可能な脱気シーラー!
真空パック導入前に試用したいとのご要望にお応えして「テスト機貸出(有償)」をはじめました。ご希望の方は、左記メニューの「お問合せ窓口」よりご連絡ください。お電話でのお問合せも受け付けています。 ★価格など詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
◆論文投稿時のサポート 【投稿前査読サービス】
ユーザーの専門分野におけるジャーナルの査読経験を持つ、 有資格のスペシャリストが、皆様の原稿を査読いたします。 FORTE社の「投稿前査読」サービスでは、個人情報の機密を完全に保持し、 ユーザーの名前やご所属団体についての情報がFORTEの査読者に 開示されることは一切ございません。 FORTE社の査読者は厳しい機密保持・守秘義務契約に制約されており、 ユーザーのデータは完全に守られます。ユーザーの専門分野において、 こちらのサービスのご利用が可能かどうか、是非お問い合わせください。 ■□■メリット■□■ ・実験方法や統計処理の分析を含め、科学的内容への詳細な批評を提供します。 ・該当専門分野における、お客様の研究の妥当性について論じます。 ・イントロダクションとディスカッション部分の論理展開について批評をします。 原稿の受理/出版の可能性について査定します。 ・ユーザーのターゲットジャーナルとは現在関わりのない、 FORTE社の査読者が携わることにより、利害衝突の可能性を回避します。 詳細は、お問い合わせ下さい。
電界紡糸などの分野で活躍中のシリンジポンプです。
【特長】 ■高電圧印加時に放電しても壊れない絶縁構造 ■溶液の積算量、送出量をリアルタイム表示 ■運転中に送出量を変更し、最適送出量を迅速に設定可能 ■高トルクのモーターにより、高粘度の溶液を送出可能
電気工事が不要で導入コストが抑えられる。動力は圧縮エアだから、工場内のエアホースにつなぐだけでご使用いただけます!
『NDPシリーズ』は、エア切替式/本質防爆仕様で流動性の大きな 無水粉体の搬送に好適なダイアフラムポンプです。 分離現象が少なく、流量コントロールを容易に行うことができます。 見掛け比重0.5以下、安息角30度以下の流動性の大きな無水粉体の搬送に 適しています。 また当製品は簡単に洗浄することができます。 【特長】 ■分離現象が少ない ■粉塵が少ない ■自吸式 ■高品質、小型、軽量、イージーメンテナンス ■流量コントロールが簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大吸い込み揚程4.5M! 空運転が可能で、自吸性が優れているためエア噛みを気にせず使用できます。
『サニフォース』シリーズは食品原料の移送に適したエア駆動式のサニタリーポンプで、低粘度~高粘度まで幅広い粘度の材料を安全に移送し時間と費用を節約できます。 【特長】 ■シンプルな構造で、メンテナンスが容易 エア切替バルブがシンプルな構造で部品点数は9点。 ■組立・分解時の工具不要!簡単メンテナンス 吸込口と吐出口の構造はヘルールクランプ接続。分解・組立が短時間で容易に出来ます。 ■鋳型SUS316、接液部はサニタリー研磨 ポンプ材質はFDAおよびCFRTitle21に準拠した鋳型SUS316、接液部はサニタリー研磨(Ra3.2)仕上げで原料のたまりが無く、洗浄しやすくなっています。 【主な移送原料】 濃縮果汁、ソース/ペースト/スターチ、ワイン、ジャム、食用油 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接液部全てにフッ素樹脂を使用!ケミカル用途のエア駆動ダイアフラムポンプです。
BTTシリーズは、接液部全てにフッ素樹脂を使用したケミカル用途のエア駆動ダイアフラムポンプです。ダイアフラムポンプの利点はそのままに、強酸・強アルカリ等薬液の大量供給を可能にしたPTFE樹脂ポンプを実現しました。 特長 ■本体材質・ダイアフラム材質にフッ素樹脂(PTFE)を使用! ■接液部全てにフッ素樹脂を使用しているから強酸・強アルカリの液体移送が可能 ■吐出量125L/minのハイパフォーマンス!(NDP-P25BTT) ※吐出量はあくまで目安です。使用条件等により異なります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
高速真空包装ライン対応、省エネと衛生管理を両立した最新ポンプ
R5 RDシリーズは、食品・飲料包装での高速生産ラインに最適化されたロータリーベーン真空ポンプです。排熱低減と高省エネ設計により、作業環境を快適に維持。部品を片側に集約しており、メンテナンスも効率的に行えます。 【特長】 ■ 高速包装対応:安定した真空性能 ■ 省エネ設計:従来型比最大30%削減 ■ メンテ効率化:片側アクセス設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボトリングライン対応、省エネ性能と衛生管理を両立した設計
飲料やアルコール製造のボトリング・発酵工程に最適化されたR5 RDシリーズは、安定真空と省エネ性能を両立。排熱低減で作業環境を快適に維持し、部品は片側アクセス設計で効率的にメンテナンス可能です。 【特長】 ■ 高速ボトリング対応:安定真空保持 ■ 省エネ性能:従来比最大30%削減 ■ 衛生管理容易:メンテ効率向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2段ステージ圧縮でパワフル吸引!腐食に強く低騒音&低消費電力で環境にも配慮!
【製品説明】 酸性ガスや有機溶剤の扱いも可能!パワフルで腐食に強いHUCKEPACK ファミリーは、2段ステージ圧縮を採用したロータリーベーン真空ポンプです。 【特長】 ■ パワフル 常時新しい潤滑油が補充されるワンス・スルー・オイル式。 酸性ガスや有機溶剤がポンプ内で凝縮されても外部に排出ができる、 腐食に強い構造です。水蒸気の吸入にも高い耐久性。 ■ クリーンな排水 冷却方法は水冷式ですが、冷却水と吸引ガスの接触がないため、 廃水の汚染はありません。 ■ 低騒音、低消費電力、低ダウンタイム ポンプは低速回転で作動します。 モジュール設計で手早くステージ交換可能。ダウンタイムを低減。 ■ フレキシブル どのような用途にも対応できる、豊富なオプション品: オイルミストセパレーター、手動/自動フラッシング装置、 3相セパレーター、ラジエーター冷却システム、 監視/安全装置、 各種潤滑液/フラッシング液、ATEXバージョン、他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
トイレ・シンク・洗面など水廻り器具に直接接続する排水ポンプ。
橋本産業では勾配がなく自然排水が困難な場所でも、流し台やトイレを設置できる排水ポンプを販売しております。 排水が流入するとすぐにポンプアップ排水、終了すると自動停止します。 勾配が取れない場合でも自由に水廻りの増設や新設が可能です。移設や撤去も簡単で、仮設トイレにも好適です。
KNFプロセスポンプのイメージビデオです
主に内容 ・コンタミフリー 真空ポンプ&コンプレッサー ・希ガス、危険ガス、有害なガスの移送 ・二重ダイアフラム(希ガスの移送) ・高温ガス(耐熱型ガスポンプ) ・アグレッシブ、可燃性ガス(耐食仕様 / 防爆仕様)
消耗部品ダイアフラム、バルブの交換手順です。
他のガスポンプに関しても概ね同様のメンテナンス手順となりますため、ご参照ください。
脈動軽減液体ポンプ、ポンプ吸引・吐出の際に発生する脈動を大幅に減らしたダイアフラム液体ポンプです。
脈動軽減対策用液体ポンプとしてポンプ自体の設計を見直しました。 従来はダンパーなどで脈動軽減を行いましたが、ポンプ自体で脈動を大幅に抑えております。 ・FP70シリーズ 脈動軽減ダンパーとポンプを一体化しました。 ・FP150 / FP400 / FK1100シリーズ ダイアフラムの数量を最大5個まで増やし、ポンプ内部で脈動を相殺 させております。 ・FP1.150 / FP1.400 / FK1.1100シリーズ ダイアフラムの数量を最大5個まで増やし、ポンプ内部で脈動を相殺 させております。さらに許容最大吐出圧を6 bar (0.6 MPa)に改善、 困難な圧力条件でもスムースな液体移送を実現しました。
KNFダイアフラムポンプのメカニズム、特長をご説明
・オイルフリー ・コンタミネーションフリー ・メンテナンスフリー ・耐食性 ・モータバリエーション ・モジュラーシステム ・ポンプカスタマイズ(プロジェクトポンプ)
日本防爆認証取得 水素ガスを含む引火性ガスのサンプリング、ガス移送に安心してご使用いただけます。
・防爆構造電気機械器具型式検定合格 ・耐圧防爆構造、安全増防爆構造 ・モータ部等級: Ex II 2G Ex h IIB+H2 T4 Gb
脱炭素関連、新エネルギー関連の研究開発用プロセスポンプ CO2、水素、酸素、ヘリウムなどの移送、回収、循環など
脱炭素社会、新エネルギー開発において、従来のガスポンプでは対処しきれない多くの技術的課題があります。 KNFプロセスポンプは下記の特長を活かし、お客様の技術的課題解決の一助になれることと信じております。 KNFプロセスポンプの主な特長 ・コンタミフリー ・豊富な接ガス材質 ・加圧特化仕様 許容最大吐出圧 1.2 MPa ・減圧特化仕様 ・リークタイト設計 ・長寿命設計 ・防爆仕様(オプション IECEx /ATEX) ・耐熱仕様 ガス温度240℃(オプション) ・耐候塗装(オプション)
脱炭素関連、新エネルギー関連の研究開発用プロセスポンプ CO2、水素、酸素、ヘリウムなどの移送、回収、循環など
脱炭素社会、新エネルギー開発において、従来のガスポンプでは対処しきれない多くの技術的課題があります。 KNFプロセスポンプは下記の特長を活かし、お客様の技術的課題解決の一助になれることと信じております。 KNFプロセスポンプの主な特長 ・コンタミフリー ・豊富な接ガス材質 ・加圧特化仕様 許容最大吐出圧 1.2 MPa ・減圧特化仕様 ・リークタイト設計 ・長寿命設計 ・防爆仕様(オプション IECEx /ATEX) ・耐熱仕様 ガス温度240℃(オプション) ・耐候塗装(オプション)
ソレノイド駆動タイプのダイアフラム液体ポンプです。
特長 - 長寿命 - 調整可能なディスペンス量 30-80 μl - 大きな流量範囲 - 両方向にタイトなフロー - 高い耐薬品性 - セルフプライミング - 静かな作動
カスタマイズ可能、高吐出、優れたサイズ対性能比、低騒音・低振動、 長寿命、コンタミフリー、メンテナンスフリー、取付方向に制限なし
- 医療機器 - 分析機器 - 濾過およびネブライゼーション - 圧縮空気供給 - インクジェットプリンター - セキュリティ - 食品産業 基本流量: 2.5 - 3.0 l/min ~ 到達真空度: < 300 mbar abs ~ 許容最大吐出圧: 2.5 bar - 2.8 bar (0.25-0.28 MPa) ※連続運転時は最大1 barG
脈動を抑え、添加剤を優しく移送する液体ポンプ
食品加工業界では、添加剤の正確な計量と均一な混合が、製品の品質と安全性を保つために重要です。特に、デリケートな成分を含む添加剤の場合、ポンプによる過度な脈動や気泡の混入は、成分の劣化や製品の品質低下につながる可能性があります。FP70シリーズ ダイアフラム液体ポンプは、脈動を軽減する設計により、添加剤を優しく移送し、品質を損なうリスクを低減します。 【活用シーン】 ・食品添加物の計量・混合 ・フレーバーや香料の添加 ・食品製造ラインへの供給 【導入の効果】 ・添加剤の品質保持 ・製品の歩留まり向上 ・製造プロセスの安定化