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食品/飲料、製薬、乳製品、化学、化粧品業界など厳しい用途で優れた性能を発揮！小型で安全設計品のロータリーポンプとギアポンプ!
COMPAC シリーズ 食品/飲料、製薬、乳製品、化学、化粧品業界など厳しい用途で優れた性能を発揮するロータリーポンプ・ギアポンプです。 【特徴】 ◆小型で高性能・高効率 ◆柔軟な生産高・取付 - 水平または垂直取付 ◆ポンプとモータのアライメント不良を解消 ◆可動部にアクセスできない安全設計
短時間に効率的に設計、解析、最適化！潤滑システムモデリング
『GT-SUITE』を使用して、潤滑システム・コンポーネントを短時間に 効率的に設計、解析、最適化することができます。 潤滑専用の先端のソフトウェアを使用することで、多くの課題を 明らかにすることができます。 【特長】 ■定常解析、非定常解析 ■圧力、流れ、温度の分布 ■低温始動プライミング ■走行サイクル解析 ■暖機 ■クランク・バルブトレインモデルとの統合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ！！
ACモータ ■オプションで防爆対応可能です ■二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ ■リークセンサ機能により、万が一ベローズに破損があった際は、警報と同時にシステムのシャットダウンが可能 ■放射性ガス、危険ガスの漏洩や希少、高価ガスの損失等の問題を解決 ■原子力用途で水素、トリチウム、超低温用途でヘリウム3、半導体用途で希ガス、フッ素ガス等の移送、循環、精製プロセスに最適 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】従来品より静かに進化！ねじ込み接続も選べる柔軟設計。
ACモータ/DCモータ ■当社従来品(LVM-10/DCP-20)に比べ振動を大幅に軽減 ■オプションでねじ込み接続を追加 ■DCモータではブラスレスモータを搭載。FD-2Sは標準機能として可変速運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】標準仕様で、腐食対策は万全！DCモータは可変速運転・アラーム出力も可能です。
ACモータ/DCモータ ■標準仕様で耐腐食性能を向上 ■DCモータはブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ■オプションでねじ込み接続を追加 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用・液体用(OP)】耐腐食 × 高温対応！標準で備える、安心のポンプ。
ACモータ/DCモータ ■標準仕様で耐腐食性能を向上 ■150℃までの高温ガスで使用可 ■DCモータではブラシレスモータを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用/液体用(OP)】耐圧防爆d2G4規格のモータを搭載したダイアフラムポンプ！
防爆モータ ■耐圧防爆型(d2G4) ■小型/軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型、軽量設計により機器内蔵が容易で、ガス分析のサンプリング用として最適です。
独自設計により長寿命、全体の気密性も高く設計されています。 接ガス(液)部はフッ素樹脂、ステンレスの構造となり、耐食性が必要な環境下でも使用可能です。 吸排気口(IN/OUT)はチューブ接続となっており、くい込み式の継手にも対応可能です。(ねじ込み式の継手も対応可) 振動低減仕様、高温仕様、防爆型仕様を追加。 気液混合流体にも対応し、液体用(自吸式)としても使用可能です。 様々な要求仕様や用途に合わせ設計、製造が可能です。 例)気密性を向上させたハイエンドモデル対応 二重ダイアフラム構造による外部へのリークをシャットオフ CE/UL/特殊モータ等の搭載、液体仕様による脈動低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプ。ガスのリサイクル精製、 水素ガス、アンモニアガスに！
■優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec ■コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ■耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。 バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、 オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。 ■寿命が長い 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【液体用】洗浄液・プリンタインクなどの腐食性流体も安心して移送！
ACモータ/DCモータ ■腐食性流体(洗浄液、プリンタインク等)の移送用途に好適 ■DCモータではブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用/液体用(OP)】コストを抑えて、性能はキープ！賢い選択、軽量ポンプ。
ACモータ/DCモータ ■安価・軽量 ■DCモータではブラシレスモータを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】小型・軽量の耐圧防爆型ポンプ。優れた気密性で気体の昇圧や循環に最適です！
防爆モータ ■気密性が高く、気体の昇圧や循環にも最適 ■耐圧防爆型(d2G4) ■小型/軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】高気密設計で、気体の流れを完璧に！気体の移送や循環に最適です。
ACモータ ■気密性が高く、気体の移送や循環に最適 ■標準仕様で耐腐食性を向上、180℃までの高温ガスで使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自吸式で背圧があっても使用可能！ これまであまり無かった小型で脈動を抑えたブラシレス品！
IBS製 ダイアフラムポンプFDLシリーズの特長 ▶脈動、振動、騒音低減 ▶自吸式 ▶耐食性の高い材質 ▶可変速機能、アラーム検出機能（標準搭載） ▶オプション対応 ・圧力スイッチ、リリーフバルブ内蔵型、外部ボリューム調整ユニット付…など ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
自動車・商用車における装置・部品の冷却に使用可能！
当製品は、ビューラモータ社製のブラシレスDCウォータポンプです。 ポンプは湿式非自給式。保護クラスIP6K6K/IPX9Kを有します。 主にエンジン、バッテリ等の装置・部品の冷却に使用されます。 【特長】 ■ブラシレス ■湿式非自給式 ■インナーロータ型 ■保護クラスIP6K6K/IPX9K ■重量255g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
驚異の組み上げ力
沈殿槽や貯水槽内で浮上するスカムや沈殿汚泥の除去搬出・送泥に使用される機器の中に、考案されてから200年もの古い歴史をもつエアーリフトポンプがあります。
丈夫で長持ち！脅威の汲み上げ力！
『エアーリフトポンプ』は、エアーを水中に放出し、気泡の周囲に汚泥や 水・油を付けその比重差によって揚水・揚泥を行う大変効率の良いポンプです。 本体は強度があり軽量で耐久性と作業性の良い部材で作成されており、 構造が簡単なため故障が少ない事が最大の長所です。 また、山幸製セパレートタンク及びスカムスキマー等と組み合わせれば さらに能力を発揮します。 【特長】 ■FRP製 ■高効率 ■軽量 ■簡単構造で故障が少ない ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高性能テフロンシールやカスタムシールへの交換が可能！通常のフラッシング操作で洗浄が完了
当製品は、米国アイベック社の大容量液体充填ポンプです。 全てのポンプモジュールは取り外しが可能で、再組立時の キャリブレーションは不要。接液部品は分解ができ洗浄性が向上、 モジュール毎にオートクレーブ処理ができます。 最大15mlの大容量充填システムで、ポンプモジュールは 回転運動をしながらピストン動作を行うユニークなポンプ となっております。 【特長】 ■ポンプ容量：最大15mL/ストロークまで ■供給能力：最大 6L/分 ■コントローラー最高速度：400 RPM ■高性能テフロンシールやカスタムシールへの交換が可能 ■通常のフラッシング操作で洗浄が完了(CIP) ■モーターベースはステンレス製およびアルミ製をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ケミカル用途のクロータイプのドライポンプであり、プロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。
ドライポンプEDPシリーズは、主にケミカル業界および製薬業界での蒸留や乾燥プロセスにて使用頂いているポンプです。 非接触でそれぞれ逆回転するクローローターとポンプ垂直機構を採用しており、ポンプ内のプロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。 排気速度は、80m3/h、160m3/h、250m3/h、および400m3/hの4種類で、到達圧力は20～50Paです。 その他、トルクリミッタ、ラビリンスシール、PTFEリップシール、熱交換器が採用されています。 防爆対応のポンプであり、外部独立機関により耐爆性試験済みで欧州防爆基準のATEXに準拠しております。 日本国内では、日本防爆モーターの後付けが可能です。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
工場の集中排気など、ユーティリティ用途でお使い頂ける、コントローラ・インバーターを標準搭載した真空ポンプです。
EOSiシリーズは、省エネ設計が施されたオイルスクリュー真空ポンプです。 集中排気/ 樹脂成型 / 乾燥 / 化学 / 真空蒸着 / 真空ろ過 / 真空搬送 / 食品乾燥などの用途でご使用頂けます。 インバーターによるモーターの回転数制御と、インレットバルブによる大気圧近くの排気速度の制御により、省エネ運転を実現しており、一般的な直動型モーターの真空ポンプと比較し、20～50%近くの消費電力を削減出来た事例もございます。 【製品特長】 ■真空需要に応じた性能の自動制御 ■静音運転 ■簡単設置 ■現場メンテナンスでダウンタイム削減に貢献 ■独自測定ツールによる省エネ診断ができる ■複数台稼働における台数制御が可能 ■工場の集中排気に適している ご検討の際には、当社の測定ツールを使った無償の「省エネ効果シミュレーション」をお勧めいたします。 近年の環境に配慮した経営が求められる中、国内の納入実績が増えてきております。 ぜひお気軽にご相談ください。
省エネルギーかつコンパクトなデザインを実現。磁気軸受式ターボポンプ
『STP-iS2207』は、産業をリードする性能を備え、省エネルギー技術を一体型 プラットフォームに搭載した、完全一体型磁気軸受式ターボポンプです。 新規ローター設計によりプラットフォームの小型化に成功し、省エネルギー かつコンパクトなデザインを実現しました。 また、腐食性ガスにも対応可能です。 【特長】 ■完全一体型設計 ■防水・防塵に配慮した設計 ■冷却水温度35度まで対応 ■最大流量：3200 sccm N2/ 1000 sccm Ar ■省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
磁気軸受ユニットを新規設計・低振動化を実現！
『STP-iX457シリーズ』は、コントロールユニットの小型化を図り、コンパクト にポンプ下に搭載した、コントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 超小型電子部品を採用し、コントロールユニットの高さ寸法をコンパクトに収め、 ポンプ下に配置しました。既存モデルではポンプ横についていたコントロール ユニットをポンプ下に置くことでインストール性が格段に向上し、ポンプ重心の 不均衡が解消されました。 【特長】 ■インストール性・省スペースを重視した設計 ■最大消費電力 240W(既存製品から20％削減を実現) ■供給電源 DC24V ■全翼ブレード設計による優れた軽ガス圧縮比性能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替！
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 １KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz～2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削減！
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
鉄鋼の脱ガス工程に関連する真空ソリューションをご紹介しています。
真空脱ガス（VD）と真空酸素脱炭（VOD）は、特殊合金鋼の生産によく使われるプロセスです。 これらは、鉄鋼の二次精錬工程において、水素や炭素などの不純物の度合いをを低減するために使用されています。 エドワーズが持つ真空ポンプを中心にソリューションをご紹介しております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
