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『歯車ポンプ＝うるさい』はもう古い！驚異的な脈動低減により、同クラス最高水準の低騒音を実現。
イタリアSETTIMA社製 歯車ポンプ『Continuum（R)』は、油圧ポンプの騒音原因となる、【キャビテーション】【歯車間の液体の引っ掛かり現象による圧力ピークの増加】【リップルや脈動】の問題をクリアにし、52dbといった低騒音を実現した、静音設計の歯車ポンプ（ギアポンプ）です。 【特長】 ●他社一般製品と比較して20~30dbの騒音低減、（一般製品70～80db） ●吐出量：72.4リットル/分（一例） ●50cc/rev（一例） ●連続圧力：27MPa ●ピーク圧力：30MPa ●回転数：1000～1800rpm（特殊対応で150～6500rpm） ●既存の歯車ポンプと外形寸法がほぼ同じ ●最大4台のポンプと組み合わせが可能 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか、資料請求下さい。
【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。 また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！
新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACUUM2020 真空展に参加
お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ ［新製品］ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ 姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ 直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ ［新製品］ ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ など 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
二段/三段式ガスバラストを標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油回転真空ポンプ
『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ケーシングとその内部にある羽根車から構成！液封式真空ポンプの納入事例をご紹介
高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機溶剤を蒸発させ、回収することが可能になります。 また、今回のポンプと閉サイクル封液循環供給システムは、回収する有機溶剤の汚染を 防ぐため、接液部はステンレス素材、シール素材はフッ素ゴムまたはPTFEとしています。 【事例概要】 ■納入先：ポリオレフィン高機能フィルム製造プラント ■納入製品：封液循環型(閉サイクル)の液封式真空ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う！関連製品もご紹介
当資料では「メカニカルブースタ排気システム」について ご紹介しております。 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用することや、様々な 補助ポンプと組み合わせることで、適切な真空環境が提供されることなど を解説。 また、製品は特長や対応業界、系統図も掲載しております。写真付きで 関連製品もご紹介しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載製品】 ■PRM/SRシリーズ ■PRLシリーズ ■PRDシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
当社ターボ分子ポンプは国内外で多くの装置メーカにご採用いただいております！
アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
DCブラシレスモータ使用、低振動・低騒音を実現！ポンプの運転を安定化
『UD Series』は、ポンプ停止時の真空システムへの油逆流を防止する 直結型油回転真空ポンプです。 廃棄する凝縮性ガス(水蒸気など)の量によって調整可能。 機械部品を最小限に抑えることで容易且つ的確にメンテナンスと 修理を実現できます。 【特長】 ■ガスバラストバルブ ■吸気口・排気口それぞれに逆止弁を搭載 ■ロータ、ステータ部特殊熱処理 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
食品凍結乾燥機向け真空排気構成の主要機器として当社製品を納入！
食品凍結乾燥機向け真空排気構成を担う主要機器として、当社の真空ポンプを導入いただいた事例です。 納入製品は、ルーツ真空ポンプ「RD2500」(排気速度：2,500 m3/h) および揺動ピストン形油回転真空ポンプ「P450」(排気速度：450 m3/h)。 ルーツ真空ポンプを主ポンプ、油回転真空ポンプを補助ポンプとする ブースタ方式として構築されています。 凍結乾燥工程中のトラブルが発生した際でも製品品質への影響を抑えられるよう、 既存ポンプをバックアップとして併設した構成となっています。 【事例概要】 ■導入先：ベトナムの総合食品加工メーカ ■用途：食品凍結乾燥機向け真空排気構成 ■納入製品：RD2500、P450 ■排気構成の設計：AN TAI LOC TRADE AND SERVICES様(ベトナム現地商社) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
装置の省スペース化とシステム構成の簡素化を実現！低振動でクリーンな真空環境を提供する導入事例をご紹介
アメリカの真空装置メーカであるDynavac社様に、当社のコントローラ・ 電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ「TGkine1700M-B」を ご採用いただいた事例をご紹介いたします。 宇宙機および人工衛星搭載機器の性能を地上で検証するためには、 宇宙空間の環境を高精度に再現する試験が不可欠です。 熱真空チャンバーは内部を高真空状態に維持するとともに、広範囲な 温度制御を行うことで宇宙環境を模擬する試験装置であり、宇宙機器の 信頼性評価に対応しています。 【当社の取り組み】 ■高真空から低真空まで幅広く対応する真空ポンプや真空コンポーネントをラインアップ ■単体提供はもちろん、システム(排気ユニット・真空ポンプセット・真空装置)としての構築・提案にも対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
メンテナンスが簡単！ノイズと熱の発生を最小限に押さえたドライ真空ポンプです。
たった一つのシャフトと直駆動というシンプルなつくりなため、メンテナンスコストとランニングコストが低く、丈夫で長寿命のポンプを実現しました。 フィルターとコントロールバルブをポンプに内蔵しており、その他のアクセサリの取り付けも問題いなく簡単です。コンパクトな筐体カバーはノイズと熱の発生を最小限に抑える設計になっております。 【特長】 ■完全ドライ、オイルレス ■モーター直結のコンパクトで斬新なデザイン ■静音、長寿命 ■高真空度、高吐出圧 ■小型から大容量まで豊富な品揃え ■世界各国に広がる販売とアフターサービスネットワーク ※詳しくはお問合せいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ロータリーベーン式オイルフリー真空ポンプ『VTLFシリーズ』
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ロータリーベーン式ドライブロワーポンプ DT4シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、小型のドライブロワーポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
