ポンプのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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ポンプ - メーカー・企業1071社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

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ポンプのメーカー・企業ランキング

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  1. 株式会社荏原製作所 東京都/産業用機械
  2. 株式会社タクミナ 大阪府/産業用機械
  3. 株式会社イワキ 東京都/産業用機械
  4. 4 アクアシステム株式会社 本社・須越工場・AQUASYSTEM（中国・タイ・ベトナム） 滋賀県/その他
  5. 5 株式会社ナカキン 大阪府/産業用機械
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ポンプの製品ランキング

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  1. エバラ標準ポンプ　60Hz　総合カタログ 株式会社荏原製作所
  2. 家庭用給水ポンプ　総合カタログ 株式会社荏原製作所
  3. ロータリーポンプ【非接触 × 定量送液 ～洗浄性に優れた設計～】 株式会社ナカキン
  4. 4 ポンプの消費電力を平均35%削減！高効率可変速ポンプシリーズ 株式会社荏原製作所
  5. 5 汚泥・スラッジ・汚水回収ポンプ『バキューム車不要！DVP』 株式会社タクミナ

ポンプの製品一覧

1081～1110 件を表示 ／ 全 7343 件

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固定容量斜板型ピストンポンプ「PA/PAC/PAD」(hl)

固定容量斜板型ピストンポンプ「PA/PAC/PAD」(hl)

トラック用途に！ 高圧な当シリーズは全てのタイプで瞬間最高圧力500barで使用可能！ コンタミに強く厳しい環境にも適合します！

"PA/PAC/PAD" シリーズは、3つのレンジから成り立っているピストンポンプです。 全てのタイプでトラック用として使用可能な、作動圧 連続5800psi (400bar)、 瞬間7252psi (500bar)！ 独自の設計によりトラック用高圧油のアプリケーションに堅牢な解決策と長寿命を提供できます。 【特徴】 ○トラック向け高圧仕様の３タイプ 　- PA : シングルフロー/ツインフロー(異種流量対応) 　- PAC : 当シリーズで最もコンパクト、シングル/ツインフロー 　- PAD : 10本ピストンで低脈動、コンパクト、ツインフロー(異種流量対応) ○特異設計によりお客様で何もすることなく時計/半時計回転方向で使用可能 ○ポンプ前方に2つのシャフトシールを配置 　- 外側：ギアボックスの高温度に対応 　- 内側：油圧シャフトシールとしての要求にマッチ ○外側シールを通過してしまった汚れや高圧洗車水を排出するフレキシブルチューブ ○容積効率90%以上の高効率がテストラボで実証 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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固定容量斜軸型油圧ピストンモータ「MAシリーズモータ」(hl)

固定容量斜軸型油圧ピストンモータ「MAシリーズモータ」(hl)

SAE規格に対応した「コンパクト」で「長寿命」、「低騒音」なピストンモータです。

"MA" シリーズは、小型かつ高いトルクを要求するアプリケーションに適した油圧ピストンモータです。 高品質の使用材料と高い技術による設計で、高い信頼性と長寿命を実現しています。 草刈機やブロワーなどの農業機械や、建設機械の走行駆動、ウインチ駆動やファンドライブなどに使用できます。 【特徴】 ○長い寿命 　- 高荷重ベアリングの採用 　- バレルと弁板の自動調芯設計(ラジアル負荷をなくす構造) ○バレルと駆動軸間にギアがない設計により低騒音を実現 ○7本ピストン設計によりスムーズで一定のトルクを保証 ○磨耗と発熱を低減する潤滑用ピストンヘッド穴 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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固定容量斜軸型油圧ピストンモータ「MSIシリーズモータ」(hl)

固定容量斜軸型油圧ピストンモータ「MSIシリーズモータ」(hl)

ISO規格に対応した「コンパクト」で「長寿命」、「低騒音」な半内蔵型のモータです。

"MSI" シリーズは、小型かつ高いトルクを要求するアプリケーションに適した油圧ピストンモータです。 高品質の使用材料と高い技術による設計で、高い信頼性と長寿命を実現しています。 主アプリケーションは、草刈り機やブロワーなど農業用機械や、遊星減速機への組み付けなどの建設機械の走行駆動などです。 【特徴】 ○長い寿命 　- 高荷重ベアリングの採用 　- バレルと弁板の自動調芯設計(ラジアル負荷をなくす構造) ○バレルと駆動軸間にギアがない設計により低騒音を実現 ○7本ピストン設計によりスムーズで一定のトルクを保証 ○磨耗と発熱を低減する潤滑用ピストンヘッド穴 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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無騒音ポンプ『2VHL Continuumシリーズ』

無騒音ポンプ『2VHL Continuumシリーズ』

様々な流体を騒音無く処理が可能！潤滑・ろ過・冷却に最適な移送ポンプ

『2VHL Continuumシリーズ』は、様々な流体を騒音無く処理するために 設計された移送ポンプです。 優れた無騒音・省エネルギー性能の高効率ポンプ「Continuum」の らせん形状ロータを採用しております。 中・高粘度の流体処理に最適であり、また外形寸法とフランジは 既存ギアポンプと互換性を持つよう設計されています。 【特長】 ■なめらかな圧力の増加 ■高効率作動 ■無騒音作動 ■エネルギー節減効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Agile インバーター付

Agile インバーター付

旋回システムの性能の向上・信頼性の増加・システムコスト低減を実現！

「Agileインバーター」を搭載した電動モータを使用すると、従来の インバーターが別置きの旋回用電動モータと比べ非常に省スペースとなります。 また、「Agileインバーター」搭載した旋回装置を使用することにより 旋回システムの性能の向上、信頼性の増加、システムコストが低減します。 【特長】 ■省スペース ■旋回システムの性能の向上 ■システムコストが低減 ■電力：1.1 kW ～ 11 kW ■EMC簡易化のための内蔵EMCフィルタ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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油圧配管の残圧を除去し、継手をスムーズに接続！「パージアダプタ」

油圧配管の残圧を除去し、継手をスムーズに接続！「パージアダプタ」

残圧で継手がつながらない…このようなお悩みをパージアダプタがボタン一つで解決！※使用動画あり

『PADシリーズ』は、素早く簡単に配管内の残圧を除去できる パージアダプタです。 残圧除去速度がアップする「PAD-2 Type」とインラインで スリムな配管の「PAD-FM Type」をラインアップ。 この他に、接続作業時に残圧がある場合でもスムーズな接続ができる 残圧除去機能内蔵型「カプラ」や残圧抜きジグ「ZNシリーズ」も 取り扱っております。 【特長】 ■素早く簡単に配管内の残圧を除去 ■"カプラ"のスムーズな接続が可能 ■簡単ワンプッシュ操作 ■ボタン操作が硬い場合は、ドライバーでの作業も可能（PAD-2 Type） ■取付ねじサイズ3/8以上に適応（PAD-FM Type） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途例をご紹介！小型コンプレッサ/真空ポンプシリーズ

用途例をご紹介！小型コンプレッサ/真空ポンプシリーズ

低振動・低作動音が魅力の一つ！目的・用途に応じた多彩な製品ラインアップをご紹介

当カタログは、『小型コンプレッサ/真空ポンプ』をご紹介しています。 AC駆動真空ポンプ「AC0102」や「AC0105/AC0110」をはじめ、 AC駆動コンプレッサ「VC0100-A2」や、DC駆動コンプレッサ「DAH110」など、 目的・用途に応じた多彩な製品ラインアップを掲載。 この他にも「構造イメージ」や「用途例」などもご紹介しています。 製品の選定に、是非ご活用ください。 【掲載内容（一部）】 ■構造イメージ ■ラインアップ ■小型コンプレッサ/真空ポンプ用途例 ■AC駆動 真空ポンプ機種一覧 ■AC駆動 コンプレッサ機種一覧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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メンテナンスフリー！真空ポンプ・コンプレッサ「DP0410T」

メンテナンスフリー！真空ポンプ・コンプレッサ「DP0410T」

カップシール方式を採用し小型で長寿命・高空気量・高真空・無給油を実現！

『DP0410T』は、ツインヘッド交流量タイプの真空ポンプ・コンプレッサです。 ブラシレスモータを搭載し、制御運転が可能。機器組込みが容易にできます。 また当社では、真空ポンプ専用「DP0410T-Y1」と、コンプレッサ専用の 「DP0410T-Y2」をそれぞれご用意しております。 【特長】 ■制御運転可能（専用基板搭載） ■ブラシレスモータ搭載 ■機器組込容易 ■制御機能 ・流量、圧力の可変が可能 ・過電流、過負荷防止 ・逆接続防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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持ち運び可能！真空ポンプ/コンプレッサ「リニコンシリーズ」

持ち運び可能！真空ポンプ/コンプレッサ「リニコンシリーズ」

わずか1.5kgの真空ポンプや、2.3kgのコンプレッサなどをご紹介！用途例や製品構成なども掲載※カタログ進呈

当カタログは、『リニコンシリーズ』をご紹介しています。 「リニコン」とは、電源コンセント、スイッチ付きですぐに使用できる 持ち運び可能なエア・真空源です。 真空ポンプ「LV-125A/LV-140A」や「LV-435A」などのリニコンシリーズ 機種一覧をはじめ、用途例や製品構成などを詳しく掲載。 製品の選定に、是非ご活用ください。 【掲載内容（一部）】 ■能力別インデックス ■性能分布図と掲載ページ ■用途例 ■リニコンシリーズ機種一覧 ■製品構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高流量！液体ポンプ「バイモルポンプ BPHSシリーズ」

高流量！液体ポンプ「バイモルポンプ BPHSシリーズ」

流量が従来機より最大40%UP！薬品、液体の吸引・搬送用途に！※カタログ進呈

当社が取り扱う、高流量バイモルポンプ『BPHSシリーズ』をご紹介します。 吸引・吐出・圧送などの圧力を利用した装置・機器などに組み込まれており、 液体搬送や液体吸引・吐出などに好適。長寿命で様々な液体に対応します。 また、チャンバー室の形状を工夫することで、流量が従来機「BPHシリーズ」より、 最大40％増えました。 【特長】 ■従来機（BPHシリーズ）と比べ流量がUP ■長寿命 ■様々な液体に対応 ■電圧・周波数の可変で、流量・吐出圧を簡単制御 ■圧電素子駆動による低ノイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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「コンプレッサ／真空ポンプ／液体ポンプ」リニア製品 活用提案集

「コンプレッサ／真空ポンプ／液体ポンプ」リニア製品 活用提案集

こんな使い方があったのか！ドリップマシンや薬液試験機など様々な用途事例をご紹介！※今さら聞けない用語解説や採用のポイントを解説

当資料は、日東工器が取り扱うリニア製品の活用提案集です。 「採用機種」や「吸引する目的」、「採用のポイント」などを 詳しく掲載。 さまざまな分野の製品に、当社のコンプレッサ&真空ポンプ&液体ポンプが 使用されています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■用語解説 ■マーク解説 ■リニア製品活用提案 ・吸引/加圧/真空にする目的 ・採用のポイント ・採用機種 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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機器搭載用ポンプ・カプラのご提案！（ポンプ・継手）

機器搭載用ポンプ・カプラのご提案！（ポンプ・継手）

ポンプの性能比較表を掲載！「種類が多くてどれを選んだらいいかわからない…」を解決！

当カタログは、日東工器が取り扱うポンプやコンプレッサなどのリニア製品と 迅速流体継手「カプラ」の機器搭載に関するご提案カタログです。 機器搭載時の製品選定の悩みをお解決するポンプの性能一覧表を掲載しております。 ご参考にしていただけますと幸いです。 カタログの末にはポンプの活用事例や採用事例をご紹介しております。 ぜひダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■リニア製品の性能一覧表 ■リニア製品の特長をご紹介 ■「カプラ」のご紹介 ■活用事例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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携帯式磁気応用穴あけ機「アトラマスター M-250D」

携帯式磁気応用穴あけ機「アトラマスター M-250D」

軟鋼材への穴あけに！市販のツイストドリル（最大φ25mm）が使用可能です。

「アトラマスター M-250D」は市販のツイストドリルを取り付けられる 携帯式磁気応用穴あけ機です。 マグネットの保持力と位置調整範囲の広さを兼備し、パワフルな穴あけをサポートします。 【標準付属品】（刃物は付属していません） ・スパナ7×8mm：1本 ・スパナ35×41mm：1本 ・六角棒スパナ2.5mm：1本 ・ハンドル棒：3本

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液体の充てん機器などに！真空ポンプ「DVH145」

液体の充てん機器などに！真空ポンプ「DVH145」

約10cmの手のひらサイズ真空ポンプ！機器組込み用の圧縮空気源・真空源として幅広い業界で使用可能

DC電源に対応したリニア駆動フリーピストン方式の機器組込み用真空ポンプです。 シリンダのピストンを電磁石の吸引力とスプリングの復元力で往復運動させる リニア駆動フリーピストン方式は、低振動・低作動音を実現します。 お弁当用の醤油さしのような少量で口が小さい容器への液体充てんなどにもご使用いただけます。 【特長】 ■小型・軽量 ■低作動音 ■低振動 ■オイルレス／クリーン ■脈動を低減 など

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約75ｇの小型ポンプ！DCポンプ「DP0125A」

約75ｇの小型ポンプ！DCポンプ「DP0125A」

リニューアルして新登場！従来品よりコンパクト＆耐久性向上を実現

DCポンプ「DP0125A」は、DCモータを使用した真空ポンプ・コンプレッサ兼用ポンプです。 従来品よりコンパクトになり、耐久性も2.5倍を実現いたしました。（*旧モデル DP0125比） 消毒液スプレーや介護歯ブラシ等、機器への組込みに適しています。 【特長】 1.小型 2.耐久性2.5倍を実現　（*旧モデル DP0125比） 3.真空ポンプ・コンプレッサ兼用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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DC駆動のダイアフラムポンプ「DVC0301B」

DC駆動のダイアフラムポンプ「DVC0301B」

出力制御機能を搭載し流量・圧力の調節が可能に！ダイアフラムポンプ

「DVC0301B-Y1」は、DC駆動のコンプレッサ・真空ポンプ兼用のダイアフラムポンプです。 「DVC0301B-Y2」は、DC駆動のコンプレッサ専用のダイアフラムポンプです。 出力制御機能を搭載し流量・圧力の調節が可能です。 【特長】 ・無給油構造のため、オイルレスでクリーンな空気を供給 ・長寿命 ・低作動音、低振動 仕様や外観図が収録されたPDF資料はカタログダウンロードボタンよりご確認ください！ 【展示会出展情報】 　■展示会名：第24回 H₂＆FC EXPO秋　国際 水素・燃料電池展 　■開催日時：2025年9月17日(水)～9月19日(金) 　　　　　　　10：00～17：00 　■開催場所：幕張メッセ 5ホール 　　　　　　　　【小間番号】E10-22 　　　　　 　　千葉県千葉市美浜区中瀬2丁目1 ※同日開催の「第19回 BATTERY JAPAN～二次電池展～」にも出展しております！ 　幕張メッセ 4ホール　【小間番号：E1-9】 皆さまのご来場を心よりお待ちしております。

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低流量・高耐薬品性を実現！バイモルポンプ「BPS-265P」

低流量・高耐薬品性を実現！バイモルポンプ「BPS-265P」

小型・低流量で高耐薬品性を実現した圧電式ポンプです。

圧電素子で駆動する「BPS-265P」は、小型・軽量かつ低流量用途に最適なバイモルポンプです。 フッ素樹脂およびパーフロゴム構成により、優れた耐薬品性を発揮し、 半導体製造工程や医療・理化学機器における各種薬品搬送に対応します。 質量約80gのコンパクト設計ながら、毎分36mLの流量を実現。 低ノイズ・長寿命の圧電駆動方式を採用し、精密かつ安定した液体搬送を支援します。 小流量制御が求められる装置への組み込みに最適なモデルです。

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自動制御機器『手動ハンドル付モータバルブ』

自動制御機器『手動ハンドル付モータバルブ』

手動ハンドル付！さまざまな流体に用いられ、正確な流量の制御を行います。

当製品は、流量調節弁として、さまざまな流体に用いられ、 正確な流量の制御を行う自動制御装置です。 鋳鋼、ステンレス鋼弁を用いて高温、高圧、腐蝕性流体など 広い分野にもご使用いただけます。 また面積式流量継電器「フローリレー」もラインアップしています。 【特長】 ■正確な流量の制御を行う ■広い分野にもご使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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耐圧防爆自動制御機器『dMC-6』

耐圧防爆自動制御機器『dMC-6』

空調用のダンパや小型のバタフライ弁の開閉用に用いるコントロールモータ

『dMC-6』は、各種電気式調節計と組合わせて、空調用のダンパや 小型のバタフライ弁の開閉用に用いるコントロールモータです。 耐圧防爆構造とは全閉構造で容器内部で爆発性ガスの爆発が起こった 場合に、容器がその圧力に耐え、かつ、外部の爆発性ガスに引火する 恐れの無いようにした構造を言います。 【仕様】 ■トルク：60N-m ■ストローク：90° ■タイミング：30／25、60／50sec ■電源電圧：1φAC100V／110V　200／220V　50／60Hz　DC24V、100V ■塗装色：マンセル　N5.0 ■据付条件：－20℃～＋40℃ ■質量：13.5kg、15kg ■モータ：E種／B種　30分定格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • トルク制御
  • ポンプ

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耐圧防爆型自動制御機器『dMC-10/20』

耐圧防爆型自動制御機器『dMC-10/20』

耐圧防爆構造の自動制御機器をご紹介します！

『dMC-10/20』は、各種電気式調節計と組合わせて、空調用のダンパや バタフライ弁の開閉用に用いるコントロールモータです。 耐圧防爆構造とは全閉構造で容器内部で爆発性ガスの爆発が 起こった場合に、容器がその圧力に耐え、かつ、外部の爆発性ガスに 引火する恐れの無いようにした構造を言います。 【仕様】 ■トルク：dMC-10 100N-m・dMC-20 200N-m ■ストローク：90° ■タイミング：30／25、60／50sec ■電源電圧：1φAC100V／110V　200／220V　50／60Hz ■塗装色：マンセル　N5.0 ■据付条件：－20℃～＋40℃ ■質量：dMC-10 27kg、29kg・dMC-20 27.5kg、29.5kg ■モータ：E種　30分定格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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耐圧防爆型自動制御機器『dMPZ-200』

耐圧防爆型自動制御機器『dMPZ-200』

火力プラント、セメントプラントなどの強圧タクトの風量制御ダンパの開閉に。

『dMPZ-200』は、火力プラント、セメントプラントなどの強圧ダクトの 風量制御ダンパの開閉に用いることができる耐圧防爆型自動制御機器です。 また、水門扉開閉、コンベアの切り替えなど大トルクの位置制御にも 用いられます。 【仕様】 ■トルク：2000、4000及び7500N-m ■ストローク：90° ■タイミング：30/25sec ■モータ：0.2、0.4及び0.75kw　E種／B種　30分定格 ■塗装色：マンセル　N5.0 ■据付条件：－20℃～＋40℃ ■質量：140、210及び335kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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低流量アプリケーション対応可能かつ脈動の少ないシリンジポンプ

低流量アプリケーション対応可能かつ脈動の少ないシリンジポンプ

超スローおよび脈動の少ない分注に対応

長耐久性　新しいコンセプトのシリンジポンプ登場 ＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高い、ラボラトリー機器用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブとセラミックシリンジを採用 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ ・プログラム可能な流速　5nl/s〜5ml/s ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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【OEM事例】大気水蒸気同位体分析器へのシリンジポンプの導入

【OEM事例】大気水蒸気同位体分析器へのシリンジポンプの導入

大気水蒸気同位体分析器へのCavro（R) Centris シリンジポンプ導入事例（Picarro社）

Picarro社は、大気水蒸気同位体分析器のコンポーネントとしてCavro(R) CentrisPumpを採用しています。 同社の高感度装置は、遠隔地で完全に自動で動作するよう設計されていて、 環境科学者たちに地球気候の把握に役立つデータを提供しています。 このポンプは分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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8ローラー搭載ペリスタポンプ　Cavro スマートペリスタポンプ

8ローラー搭載ペリスタポンプ　Cavro スマートペリスタポンプ

スピード制御、ステップエンコーダー搭載のペリスタポンプ ISO9001とQSRに準拠した高精度ペリスタポンプ

より確実な液体ハンドリング用シリンジポンプ、精度が一味違います。より高度な仕様を低価格で。 ● ステッパーモーターにより、スピード制御や流入方向の切り替え、ステップエンコーダーの損失を制御； ● ステップ数：マイクロステップモードでは3200ステップ； ● チューブの内径のオプション：2 mmφ と 3 mmφ； ● 流速：0.2 – 175mL/分（3mmφ 内径チューブを使用した場合）； ● ISO9001とQSRに準拠 ● RS232/485/CANバス通信方式 。 ※お問合せください。

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新製品Cavroのメンテフリー高精度安価ピストンポンプPBC

新製品Cavroのメンテフリー高精度安価ピストンポンプPBC

1μlがCV1%未満。500万サイクル稼動でもメンテナンス不要。100～5000μlのピストンで0.7秒の液体吐出。機構は安価。

0.7秒の高速ディスペンス。 多種多様なアプリケーションへの実績。ノズルの詰まりなどを検出する圧力センター搭載。 頑丈仕様とメンテナンスフリーで組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 基盤付きフル構成はバルブやピストンの動きをコマンドで簡単コントロール。 レポート機能やエラーログなども自動に送信します。 コントロール基盤、ソレノイドバルブ、圧力センサーなどはオプション。 機構だけなら安価な提供が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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新製品Cavro PSR 高速メンテフリー高精度ピストンポンプ

新製品Cavro PSR 高速メンテフリー高精度ピストンポンプ

3μlのCVが数％。1500万サイクル稼動でもメンテナンス不要。100～4000μlのピストンで0.4秒の液体吐出。

多種多様なアプリケーションへの実績。頑丈仕様で2年間の無料保証。 微量な液体を精度よく高速、高圧吐出することも可能。 ノズルの詰まりを検出する圧力センター搭載。 頑丈仕様とメンテナンスフリーで組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 バルブやピストンの動きをコマンドで簡単コントロール。 レポート機能やエラーログなども自動に送信します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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メンテ不要な装置へ　500万回使用後も高精度なピストンポンプ

メンテ不要な装置へ　500万回使用後も高精度なピストンポンプ

ピストン可動域が全体の1/100でもCVが0.1％台。500万回フル往復稼動でも同様な精度を維持。

メンテ不要と安定した高精度で 小型装置ユーザーを満足させる設計へ 装置・試薬メーカーの自己負担するコストを大きく低減 ■カスタマイズオプション選択について： ピストンの材質 ピストンマニュホールドの材質 ピストンマニュホールドのポートの位置 ソレノイドバルブのタイプ ソレノイドバルブの材質 エンコーダーの搭載 ポンプの設置用ネジの位置 制御用基盤の有無 圧力センサーの有無 各駆動部につながる電源ケーブルの太さや形状 その他 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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【導入事例集】超高精度・低脈動シリンジポンプ テカンのセントリス

【導入事例集】超高精度・低脈動シリンジポンプ テカンのセントリス

タフでナノリッター単位より細かい液送や分注が可能な高精度シリンジポンプの活用例。脈動の少ない分注に対応

※下記の「カタログ」の事例集をクリックして事例をダウンロード願います。 Centrisポンプ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高く、脈動が極めて少ない、装置組込み用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブも搭載可能 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ （0.3nl単位で送液量や液送速度を調整可） ・プログラム可能な流速　5nl/s〜12.5ml/s （最大50時間で一ストローク可能） ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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【半導体製造向け】精密・コンパクトな装置組込用ポンプよる薬液滴下

【半導体製造向け】精密・コンパクトな装置組込用ポンプよる薬液滴下

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 ピストンポンプ：Pullsar PBC 【活用シーン】 ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など 【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】 ・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能 ・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に ・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能

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ALD/CVDでの液体前駆体供給に　セントリス　シリンジポンプ

ALD/CVDでの液体前駆体供給に　セントリス　シリンジポンプ

ALD/CVDの前駆体液の供給に！　0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。厳しい最適化が必要な送液に最適

組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲：0.3nl～12.5ml（※） 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～750ml/分　（0.3nl/秒～12.5ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※装着しているシリンジ容量(50ul～12.5ml)による 例：5ｍlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少104nl～　 調節可能な流速範囲：1.62μl/分～300ml/分　（0.3nl/秒～5ml/秒） 流速調整単位：1.62μl/分～　（28nl/秒～） 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。

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