更新日： 集計期間:2025年04月09日～2025年05月06日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
16～30 件を表示 ／ 全 31 件
第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸：サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用
『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット
『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パワーコン(R)採用によりサイクルタイムの短縮と生産性向上に貢献！
『IKシリーズ』は、全ての構成軸にバッテリーレスアブソリュート エンコーダーを標準搭載しており、バッテリーのメンテナンスが不要の ロボシリンダ(R)組合せ 直交ロボットです。 装置立上げ時や非常停止後、故障で停止した後の装置の再起動時に 原点復帰を必要とせず、作業時間の短縮や製造コスト低減に貢献します。 【特長】 ■多彩な組合せ ■高分解能バッテリーレスアブソリュートエンコーダー標準搭載 ■高速化 ■低価格 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ACサーボモータステージ搭載！XYZ軸を高速駆動させながら測定データ収集などが行えます
『RAP3-ACシリーズ』は、測定/加工対象物を固定し、各種センサや加工ツールを 高速駆動させたい要求に対応したACサーボモータステージ搭載タイプの 精密卓上型3軸ロボットです。 お客様の様々なご要望や仕様に合致したカスタマイズ対応が可能。 ガントリー(門型)方式の採用により、高速にXYZ軸を駆動させながら、 高精度に位置ごとの測定データ収集や加工が行えます。 【特長】 ■ACサーボモータステージにより、センサヘッドやツールを高速・高精度XYZ移動 ■高速駆動/高精度トリガ機能 ■セミクローズドループ制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
XYZ軸＋A軸(回転軸)4軸制御！3次元データによるモデリング加工が容易です
『RAP4』は、XYZ軸(3軸)駆動するRAP3標準タイプに回転軸を付加した カスタマイズロボットタイプの精密卓上型4軸ロボットです。 卓上型でありながら、容易に3次元データによるモデリング加工可能。 お客様の様々なご要望や仕様に合致するカスタマイズが行えます。 【特長】 ■XYZ軸＋A軸（回転軸）の4軸制御。バックラッシュレスのハーモニックギヤ回転機構 ■クローズドループ制御ステッピングモータを搭載 ■大容量の3Dデータの加工に好適なDNC運転が可能 ■工具長補正機構付き ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
繰返し位置決め精度±0.002mm以下！さまざまなツールと組み合わせるだけで簡単に専用カスタマイズロボット
『RAP3』は、汎用の産業用ロボット、卓上ロボット、3軸ロボットでは、実現できなかった 高精度・高剛性・カスタマイズ対応を実現する精密卓上型3軸ロボットです。 研削ボールネジを用いて、業界最高クラスの位置再現性±2μmを保証。 Gコードを用いた精密加工から、Excelをベースとした計測システムまで 様々なアプリケーションにご利用いただけます。 【特長】 ■3次元空間での高精度位置決めが自由自在 ■高精度繰り返し位置決め精度±2μｍ ■お客様のツールを組み合わせれば、簡単にカスタマイズロボットとして使用できる ■PCダイレクト通信によるコマンド制御用のサンプルプログラムをご用意 ■ストローク・精度などお客様の仕様にあわせ多種多様なカスタマイズに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
