更新日： 集計期間:2025年04月16日～2025年05月13日
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！
『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置 レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm、130mm、160mm、200ｍｍ ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動機械製造の専門家
弊社は現在の業界の動きに対応し、世界中の顧客の要求を満たすため、高速かつ洗練されたトラバースロボット、高機能性RTHシリーズを開発しております。
自動機械製造の専門家
日本のリニアガイド、シリンダコンポーネントとオイルシールを採用。より高い鋼性、高精度かつ高寿命を実現し、アフターサービスのコスト削減できる「RSH-シリーズ」
産業用ロボットの技術を応用した製品開発、装置製造を行います
産業用ロボットを使った装置やその制御ソフトだけでなく、前後工程と連動する為のローダー／アンローダーの設計製作も行います。社内に開発、ソフト、制御、機械のスタッフが揃っているため、素早い最適設計が可能です。
LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
過酸化水素蒸気滅菌に対応する6軸ロボット リーチ範囲2010mm 可搬質量40kg
『TX2-140/160 ステリクリーン』は、医薬品製造工程に適した独自設計の 無菌環境対応ロボットです。 密閉型6軸アームのため、内部配線が可能。医薬用生産設備の要求に適合するシーリングカバーで、優れた耐薬品性、防水性を持ちます。 高い生産性を維持し、クリーンルームエリアや無菌アイソレーター、 RABSを用いた様々な業界の梱包用途にも対応します。 【特長】 ■35％の過酸化水素蒸気滅菌対応 ■滑らかな表面処理 ■ロボット性能に影響を与えないNSFH1食品オイル ■密閉型6軸アームのため、内部配線が可能 ■アーム、加圧ユニット：保護等級IP67 ■底面からの垂直接続 ■医薬の生産設備と互換性のあるシーリングカバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大積荷重量200kgのモバイルロボットです。
産業ロジスティクスの構内輸送を最適化・自動化するために設計されており、10種類以上の上層機構と統合し、製造プロセス/倉庫物流などのハンドリングが容易に行えます。 ・多重な安全保護を備える ・自動充電とバッテリー交換に対応 名古屋市熱田区に実機体験できるショールームを完備しております。 詳しくはカタログをダウンロード頂き、お気軽にお問い合わせ下さい。
在庫管理、部品ピッキング補助、製造ラインの中間バッファなどに！部品の大きさは小物～中物までOK！ピッキング作業の自動化・効率化に
当社の自動倉庫(ローダーシステム＋ラック)は組合せにより様々な部品やワーク保管、整理の自動化を実現できます。 工場内での部品ピッキングや組み立て作業の効率化及び自動化に貢献！ 部品の大きさは小物や中物対応などカスタムメイドもOK！ 生産工程の工程間で使う倉庫としてぴったりです。 【カスタム項目】 ■可搬重量 10kgタイプ/20kgタイプ ■サイズ 製作可能最大寸法W5000×H3000) ■オプション 棚/BOX検知センサ/ベルトコンベア/バーコード・QRコードリーダ ■アプリ 標準アプリ(預入・払出指示、棚状況確認)/部品管理サーバーとの通信 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
