半導体用ロボット SCR3100S-PM
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズ
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
- 企業:株式会社ジェーイーエル
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
136~150 件を表示 / 全 607 件
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズ
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
主な材質にSUSを採用!高い剛性を有しているゴニオメータをご紹介いたします
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■試料のアライメントが可能 ■主な材質にSUS採用 ■高い剛性を有す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた操作性と柔軟なロボットアーム!生産工程のさまざまな自動化に対応できます
『Kassow Robots』は、"効率よく自動化する"がコンセプトの 軽量7軸ロボットです。 可搬重量が5kg~18kg、アームの長さは、850mm~1800mmの5タイプを ご用意しているので、用途に合わせ選択可能。 工場内で繰り返される身体的に厳しい仕事は、ロボットに任せ、 作業員は、より多くの価値を生み出す仕事に取り組む事ができます。 【特長】 ■7軸 ■軽量アームロボット ■最高可搬重量18kg ■最大リーチ1800mm ■毎秒最大225度のジョイント速度 ■人間とロボットの協働作業に好適(HRC) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マウス社 熱交換器の製作ロボット MA-500/2501
単軸及び2軸全自動式拡管、面取り加工、溶接機 【特徴】 ○同時に2本のチューブを拡管を行う ○同時に2本のチューブの管端面取り加工を行う ○管板へのチューブ円周溶接を行う ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
在庫管理、部品ピッキング補助、製造ラインの中間バッファなどに!部品の大きさは小物~中物までOK!ピッキング作業の自動化・効率化に
当社の自動倉庫(ローダーシステム+ラック)は組合せにより様々な部品やワーク保管、整理の自動化を実現できます。 工場内での部品ピッキングや組み立て作業の効率化及び自動化に貢献! 部品の大きさは小物や中物対応などカスタムメイドもOK! 生産工程の工程間で使う倉庫としてぴったりです。 【カスタム項目】 ■可搬重量 10kgタイプ/20kgタイプ ■サイズ 製作可能最大寸法W5000×H3000) ■オプション 棚/BOX検知センサ/ベルトコンベア/バーコード・QRコードリーダ ■アプリ 標準アプリ(預入・払出指示、棚状況確認)/部品管理サーバーとの通信 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ステッピングとサーボモータ双方の特性を併せ持つ。小型単軸ロボット
従来の常識を打ち破る!ステッピングとサーボモータ 双方の優れた特性を併せ持つ、新しいタイプの小型単軸ロボット 【特徴】 ○ベクトル制御方式により、ステッピングモータを使いながら サーボモータ同様の機能・性能を低コストで実現 ○高速回転でタクト短縮を実現 ○省エネ ○停止時のハンチングなし ○動作音はサーボモーターのように静か ○耐環境性に優れたレゾルバ採用による、クローズドルーブ制御 ○大きなモーメント負担にも対応。4列サーキュラー溝式2点接触ガイド。 構造上ボールの差動滑りが少なく、大きなモーメント負荷がかかったり 取付面精度が悪い場合でも、良好な転がり運動が維持され 異常摩耗などの故障になりにくい ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化!シンプル構造!
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動アクチュエータ “ミリオンアクチュエータ” を採用することで高精度送りを実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特徴】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能です! ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
人の腕に限りなく近い複雑な動きができる!熟練技能を要する組立工程などに好適!
『LBR iiwa』は、全7軸に搭載されたトルクセンサーにより 人の腕と同様の感覚で作業ができる7軸ロボット。 人と接触した際はすぐに停止し、安全を確認した後は迅速に再稼動が可能です。 タイプは2種類:7kg可搬の「LBR iiwa 7 R800」と14kg可搬の「LBR iiwa 14 R820」があります。 人の腕に限りなく近い複雑な動きができ、微妙な力加減が必要な作業にも好適。 軽量構造なので移動性にも優れています。 【特長】 ■力、位置、速度の同時制御 ■手動ガイダンスによるダイレクトティーチングが可能 (プログラミング時間の大幅な短縮) ■人との協調作業 ※詳しくはお問い合わせください。 info@kuka.co.jp 045-774-7531
7軸目に溶接パワーケーブル内蔵!治具やワークの干渉を気にせずティーチング可能
●溶接トーチの位置と姿勢を維持したままロボットの姿勢が変更可能 ●複雑になりがちな7軸ロボットのティーチングを、シンクロモーション技術を活かして、簡単な手動操作を実現 ●世界初!7字組めに溶接パワーケーブル内容。治具やワークとの干渉を気にせずティーチング可能
可搬質量は最大10kg!800/1,000mmのロングリーチで上下軸の長さも選択可能
『EC10』は、ワークの重量増加に対応可能な10kg可搬ロングリーチ スカラロボットです。 800/1,000mmのロングリーチで、上下軸の長さを200/300mmから 選択することが可能。 また、LANケーブルを標準装備しております。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【特長】 ■定格5kg、最大10kg、条件付12kgまで対応 ■800/1,000mmのロングリーチ ■上下軸の長さを選択可能 ■LANケーブルを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。