蛍光X線測定装置『X-RAY XDV-μ WAFER』
ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された蛍光X線式測定器!
『FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μWAFER』は、ポリキャピラリーレンズ搭載の蛍光X線測定装置です。 ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別に設計された モデルです。 さまざまな測定における理想的な励起条件を作り出すために、電動式で 切り替え可能な一次フィルターを採用しています。 【特長】 ■ユーザーフレンドリーな構造 ■革新的なポリキャピラリーレンズを搭載 ■高精度で高分解能な検出感度を実現 ■再校正に必要な時間や労力を大幅に削減可能 ■簡単に膜厚測定と素材分析ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社フィッシャー・インストルメンツ
- 価格:応相談