コンパクトサイズ縦型電気炉 FT-POT-200
PIDオートチューニングで温度安定性抜群!簡単操作で簡易雰囲気が得られる上部より試料を取り出す方式のポット炉!
セラミックスファイバー製の電気炉なので昇温・降温時間も早く省エネで仕事の効率も高い電気炉です。 早く冷却させる場合はフタを外せばすぐに冷めやすい縦型のポット炉です。 研究所で使用されているレベルのハイスペック電気炉ですので温調精度が高い高性能な電気炉です。
- 企業:フルテック株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年07月23日~2025年08月19日
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PIDオートチューニングで温度安定性抜群!簡単操作で簡易雰囲気が得られる上部より試料を取り出す方式のポット炉!
セラミックスファイバー製の電気炉なので昇温・降温時間も早く省エネで仕事の効率も高い電気炉です。 早く冷却させる場合はフタを外せばすぐに冷めやすい縦型のポット炉です。 研究所で使用されているレベルのハイスペック電気炉ですので温調精度が高い高性能な電気炉です。
温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能な酸素分圧&雰囲気制御試験炉!
酸素分圧&雰囲気制御試験炉「SiOAF-200C」は、タッチパネル、ネットワーク及びPCから温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能であり、酸素分圧コントローラー(SiOC相当/オプション)の付加により極低濃度(10E5~10E-25Pa)の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御できるネットワーク対応の管状型試験炉です。 【特長】 ■タッチパネル、ネットワーク及びPCから温度制御、雰囲気制御、 酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能 ■極低濃度の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
最大16個のFOUPストッカー!300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温~中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電気炉
ファニー eKCB シリーズは、安全で扱いやすさを追求した小型タイプの電気炉です。 炉壁には高品質断熱レンガ、セラミックファイバー、スーパーボード、シリカボードを 4 層に重ね断熱保温効果を高めています。 発熱体は、世界的に信頼性の高いスウェーデンのカンタルヒーター線を採用し、ヒーターの表面積あたりの負荷を低く抑えていますので丈夫で長寿 命です。またヒーターはスパライル方式で溝に収納されていますので製品 の出し入れや線の交換が容易です。 焼成温度の制御は、プログラム式 PID 制御で、安定した昇温とキープができ、プログラムの変更が簡単なので、自分の焼成パターンを自由に組むことが出来ます。上扉の開閉は三箇所で止まりますので効果的な除湿、冷却ができます。オプションの還元バーナーをセットすれば本格的な還元雰囲気焼成も出来ます。
【自社オリジナル雰囲気炉】ロウ付けに特化した当社おすすめのロウ付け炉です。ステンレス鋼や銅のロウ付け加工に最適です
お客様の製品製造に適合するロウ付けシステムを設計・製造・販売しております。 ノンフラックス加工、雰囲気による光輝な仕上がり、製品の量産性に適合した設備となっております。
【質問】ロウ付け設備の使い分けはどのように決めていますか?
【答え】 ワークの重量とサイズ、また母材の種類によって使い分けをします。 水素炉→小さくて軽いもの 真空炉→大きくて重量あるもの と覚えましょう 特長および対応可能な金属は以下のとおりです。 ◆水素炉 水素の還元力を利用 鉄、銅、ニッケルは還元可能 チタン・アルミはほとんど還元できない タフピッチ銅は水素脆化するため不向き ◆真空炉 希薄大気によって金属酸化物を除去(「熱解離(ネツカイリ)」という) チタン・アルミも対応 PDF資料にて、図表でわかりやすく解説いたします。
高圧雰囲気電気炉、特殊用途向け電気炉等、設計、製作いたします!
当製品は、二硅化モリブデン発熱体(MoSi2)を使った高温電気炉です。 空気中で、最高1800℃の超高温領域まで、手軽に使用することが可能。 ご使用目的に合わせて、縦型管状炉、横型管状炉、マッフル炉、坩堝昇降機構付き 電気炉など豊富なバリエーションの中からお選びいただけます。 ヒータ自体の価格も格安となっており、ランニングコストが大幅に低減できます。 【特長】 ■二硅化モリブデン発熱体(MoSi2)を使った高温電気炉 ■空気中で、最高1800℃の超高温領域まで、手軽に使用可能 ■豊富なバリエーション ■ランニングコストが大幅に低減できる ■お客様の用途に合わせ、炉内サイズや雰囲気制御など 各種カスタマイズに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定に、作製することが可能!
光学式浮遊帯域溶融装置による単結晶育成は、融体を試料棒自身に 保持させながら試料の融解、凝固を継続させる方法である為、試料棒の 作製が第一の重要な作業になっております。 当製品は、試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成され、真っ直ぐで、同じ 焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定に、作製することが可能です。 さらに、遅送り機能を付加し、上記回転昇降機能の他にブリッジマン法 結晶育成用としても使用することが出来ます。 【特長】 ■真っ直ぐで同じ焼結密度をもった、特にFZ法に適した 焼結原料棒が効率よく作製できる ■設定の容易さや操作性に優れたタッチパネルを採用 ■駆動系に遅送り機能を付加したことにより、ブリッジマン炉 としても使用が可能 ■発熱体には、MoSi2を使用しており最高温度は1800℃ ■炉内には1系統の雰囲気ガスをフローすることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
遅送り機能を付加!ブリッジマン法結晶育成用としても使用可能なブリッジマン炉
『VEF-1800-BR-VM』は、試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成された ブリッジマン炉です。 真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定して 作製することが可能となっております。 さらに、遅送り機能を付加し、回転昇降機能の他にブリッジマン法 結晶育成用としても使用することができます。 【特長】 ■試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成 ■真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易に作製可能 ■遅送り機能を付加し、ブリッジマン法結晶育成用としても使用できる ■設定の容易さや操作性に優れたタッチパネルを採用 ■回転昇降機付縦型電気炉と同様に原料棒の焼結も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
雰囲気制御された状態での熱処理装置で、ロウ付、脱酸素、蝋の除去、焼結用に使用
雰囲気制御された状態での熱処理装置で、ロウ付、脱酸素、蝋の除去、焼結用に使用 ※カタログは、以下の「▸ 関連リンク」経由でダウンロードが可能です。
半導体用クリーンルーム対応リフロー炉
ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
最高級のAL溶湯の供給が可能なアルミニウム手許溶解・保持炉
●最高級のAL溶湯の供給が可能 溶解室の「プール部」に付加して、保持室を溶湯内部から加熱することで高温酸化物の発生は皆無。 ●エネルギー量低減が実現 熱量ベースで約70%低減が可能。(対ガスバーナー比) ●環境性の向上 CO2排出ガス、炉体からの放熱量、騒音量が大幅に低減。
高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を徹底的に追求!回転式脱ガス装置を装備しています
『ハイクオリティアルキープ』は、高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を 徹底的に追求したフルスペックモデルのアルミニウム溶解保持炉です。 高効率で溶湯中ガスを回収する回転式脱ガス装置を装備。 保持燃焼室から処理室及び汲出口までの異物及びガス混入を防止するための 独自のライニング構造となっています。 また、“アルキープ”のプール部を活かし、更に溶湯品質と環境性を向上 させたハイスペックモデルの「アンダーアルキープ」もご用意しています。 【ハイクオリティアルキープ 特長】 ■保持燃焼室から処理室及び汲出口までの異物及びガス混入を 防止するための独自のライニング構造 ■高効率で溶湯中ガスを回収する回転式脱ガス装置を装備 ■高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を徹底的に追求したフルスペックモデル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。