更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
お客様のご要望に合わせたカスタマイズAFMシステムを設計・構築します！
AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか？ 私たちはお客様のニーズを真摯に受け止め、お客様と一緒に解決策を考えます。 弊社 日本カンタム・デザインではメーカーであるNanosurf社（スイス）の装置開発チームとの密な連携により、お客様のご要望に合わせたシステムを設計・構築します。 表面測定に関するお困りごとやご要望点がございましたら、お気軽にお問い合わせください！
電子ペーパーやMEMSの観察・位置ずれ・寸法計測を一台で実現。両面同時観察と自動計測で、測定の効率と精度を大幅に向上。
当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡
原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ
原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
暗室不要・省スペース。観察・撮影・解析の操作が簡単。複数画像の一括解析ができる新機能搭載
『BZ-X800』は、蛍光・明視野・位相差と1台で様々な観察方法に対応し、 多彩な機能を備えたオールインワン蛍光顕微鏡です。 大型電動ステージ、ステージビュー機能、高速フォーカス、 オート露光などの機能により、簡単操作で位置合わせが可能。 明るい部屋でも高コントラストの蛍光観察ができるため、 暗室が要らず、設置場所を選びません。 マルチウェルプレートの全面を自動で一括撮影し、画像すべてを同一条件で自動解析できます。 また、高精細な画像連結やZスタックなど、多次元撮影が可能な機能も追加されています。 【特長】 ■微弱な蛍光シグナルを鮮明に捉えられる高感度冷却CCDカメラを搭載 ■撮影画像を二値化して面積計測やカウント、蛍光強度を手軽に測定 ■Zスタック画像をもとに、ワンクリックで3D画像を作成可能 ■任意の時間間隔で自動撮影するタイムラプス機能なども拡張OK ■A3サイズのスペースで設置できるコンパクト設計 ★機能や撮影事例を掲載した“製品カタログ”を進呈中！ 「PDFダウンロード」よりスグにご覧頂けます。
圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定
『ハンディAFM』は、SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用 することができる原子間力顕微鏡です。 サイズは、奥行き幅共に15cmの超小型。 走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、交換も瞬時に 行えます。 【特長】 ■プローブの交換が数秒で実施可能 ■カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能 ■オプションで小型の自動ステージやインライン全自動機に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
単対物用のオートフォーカス顕微鏡です。 フォーカスステージつきでこのまま装置に取り付けるだけでAF顕微鏡となります。
特徴 1. 各種光学系に組込できるV型です。 2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。
生物系試料のさらなるコントラストの向上を実現
日本電子株式会社 電界放出形クライオ電子顕微鏡 CRYO ARM 200は冷陰極電界放出形電子銃とインカラム形エネルギーフィルター(オメガフィルター)、サイドエントリー液体窒素冷却ステージ、最大12個の試料を保管できる自動試料交換機構を装備したクライオ電子顕微鏡です。 新設計のオメガフィルターとホールフリー位相板を組み合わせて使用することにより、生物系試料のさらなるコントラストの向上を実現しました。 〇特長 ・自動試料交換機構 ・冷陰極電界放出形電子銃 ・インカラム形エネルギーフィルター(オメガフィルター) ・単粒子解析用自動画像取得ソフトウェア ・ホールフリー位相板 ・自動調整機能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。 特長 ・nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ・目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化 ・1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能 ・フォーカス不要で高速測定が可能 ・非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
