NM_モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
- 企業:株式会社工苑
- 価格:応相談
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超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm(ミリ)までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析・測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか&高速応答
PI Mag(R)リニアモータとダイレクトエンコーダを組み合わせたV-817は、非接触駆動で発塵を抑え、長期安定性を実現します。 最大負荷600 Nまで対応し、2 µmレベルの位置決め再現性を実現。 動作量は、204, 407, 610, 813 mmの4タイプをラインアップし、ドラッグチェーンや75〜150 mm角M6取付プレートなど豊富なアクセサリで迅速にシステム化できます。 センサーやカメラの組立、精密検査&測定、ウェハー加工&検査、レーザー加工など幅広い産業アプリをサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
磁気ダイレクトドライブを採用したV-855は、600Nを支えるクロスローラーガイドとアイアンレス3相リニアモータを組み合わせ、振動レスで滑らかな高速搬送を実現します。 200 / 400 / 800 mmの3ストロークから選択でき、アブソリュートエンコーダモデルは原点出し不要で稼働率を向上。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
精密クラスの回転ステージ!オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm
『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、 範囲に制限はない高速小型回転ステージです。 リファレンスポイントスイッチで、中央の開口部は直径7mm。 「PILine超音波ピエゾモータ」で、振動するピエゾセラミック アクチュエータが、リング状のランナーで直接動作します。 高速、保持トルクは0.1Nmです。 【特長】 ■側面の長さ50mm ■位置エンコーダを内蔵 ■1000°/秒を超える速度 ■回転範囲は制限なし ■開口部の直径:7mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。