NM_モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
- 企業:株式会社工苑
- 価格:応相談
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超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm(ミリ)までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析・測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
・63mmと薄型で、最大813ミリの動作量 ・リニアモータ・高性能インクリメンタルエンコーダーを内蔵
高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン 循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、 インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、 小さなトラッキングエラー、短いセトリングタイムを実現。 オプションのモーションプラットフォームは、3つのM6ホールパターンを備え、 多様なアセンブリオプションを提供します。 このプラットフォームを使用しない場合、全高が63mmと低くなり、特にXY結合の際に有利。 ■薄型(高さ63mm)、幅166mm、長い移動範囲(~813mm)。 ■高動作性、メンテナンスフリーのリニアモーター ■高精度インクリメンタルリニアエンコーダ ■最大600 Nの耐荷重 ■リファレンスエッジによる高速統合、XYにスタック可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
精密クラスの回転ステージ!オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm
『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、 範囲に制限はない高速小型回転ステージです。 リファレンスポイントスイッチで、中央の開口部は直径7mm。 「PILine超音波ピエゾモータ」で、振動するピエゾセラミック アクチュエータが、リング状のランナーで直接動作します。 高速、保持トルクは0.1Nmです。 【特長】 ■側面の長さ50mm ■位置エンコーダを内蔵 ■1000°/秒を超える速度 ■回転範囲は制限なし ■開口部の直径:7mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。