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低ダメージの断面加工が可能な断面イオンミリングについてご紹介！
当社で行う「セラミック焼結体の断面観察」についてご紹介いたします。 多孔質な材料の断面観察において、研磨などの手法では加工による応力の 影響や研磨材の混入などのため、断面観察が鮮明ではありませんでした。 断面イオンミリングの適用により、低ダメージの断面加工が可能になり、 鮮明な断面観察および分析ができます。 【特長】 ■焼結孔の形状や内部の状態が、正確に観察できる ■元素分布が明瞭に観察できる ■低ダメージの断面加工が可能 ■鮮明な断面観察および分析ができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能！
当社で行う「レジストパターンの断面形状観察」についてご紹介します。 複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、 熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有する イオンミリング技術により、ダメージのない断面加工をすることで、 広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【特長】 ■3軸のイオン源を用いることで1軸のタイプよりも加工幅が広く、 複数のパターンの断面形状を確認できる ■冷却しながら加工することで、レジストにダメージを与えない ■形状の異なる方向から加工することにより、各々の断面形状を確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
断面イオンミリングによる低ダメージ加工についてご紹介！
当社で行う「多孔性軟質材料(紙)の断面観察」についてご紹介いたします。 多孔質でかつ軟質な物質で構成された紙などの材料を観察する場合、 一般的な断面作製方法の切断や研磨では、加工時の変形が大きく、 観察に適さない場合があります。 断面イオンミリングによる低ダメージ加工は、加工変形を最小限に できるため、断面観察による詳細な構造を把握することができます。 【特長】 ■セルロース繊維の積層構造や充填剤粒子の分散状態が明瞭に確認可能 ■空隙も鮮明に見える ■加工変形を最小限にできる ■断面観察による詳細な構造を把握できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
イオンミリング法を用いることで、微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認可能！
当社で行う「アルマイトの微細構造観察」についてご紹介します。 市販のフレームにおけるアルミ材は、耐食性や耐摩耗性などを目的として、 表面に陽極酸化皮膜(アルマイト)を形成しています。 一般的な機械式研磨加工では、アルマイトの細孔形状が崩れてしまい、 その構造が確認できません。イオンミリング法(Ar＋イオンビーム)を用い 加工することで、微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認できます。 【EPMA分析による元素分布】 ■SEM観察により、アルマイトの微細構造が明瞭に観察可能 ■封孔処理により細孔がきれいに埋っていることが確認できる ■元素分析を併用することで、アルマイトの下層側には電解着色により 析出したと考えられるSn(スズ)の分布や硫酸浴(H2SO4)中のS残渣の 分布も確認できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
