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GDMSは微量不純物(ppm-ppb wt)評価に適した手法、安定同位体を持つガス成分以外のほぼ全ての元素を同時に測定可能
GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry：グロー放電質量分析） は微量不純物（ppm-ppb wt）の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分（＊）を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。試料は導電性を持つものが好ましいですが、EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。
ナノ～オングストローム分解能！原子レベルで微細形態観察・組成分析
TEM/STEMは電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法です。 TEM/STEMの空間分解能は約1〜2Åです。 高エネルギー電子（80〜200 keV）は、電子透過性サンプル（〜100 nmの厚さ）を透過します。TEM/STEMの空間分解能はSEMより優れていますが、多くの場合複雑なサンプル調製が必要です。また、近年ではSTEMに球面収差補正レンズを搭載したAC-STEM（CS補正機能付きSTEM）により従来のSTEMよりも高分解能での分析が可能になりました。 EAG LaboratoriesではTEM/STEMを20台以上所有し、試料作製用のFIB-SEMを30台以上所有しています。また、元素分析を行うEDS/EELSも複数台所有しています。分析に充分な設備数を所有しているため、TEM/STEM分析は常に短納期でご対応することが可能になっています（標準納期：6～8営業日/特急納期：お問合せ）。
【無償】分析基礎セミナー開催！貴社の分析スキルアップにご活用ください
Smart CHARTは各種表面分析手法について、一目で分析領域と検出下限の関係がわかるようにEAGでデザインしたチャートです。表面分析手法が一望できるので、分析手法の種類を知りたい場合や分析手法を選択するときなどの目安に役立ちます。 ●無償の分析基礎セミナー開催 Smart CHARTにある分析手法をベースとした、オンライン形式の分析基礎セミナーを無償で開催しています。分析基礎セミナーでは各分析手法の原理・特徴および各手法から得られる分析結果について分かりやすくご説明いたします。 また、TEM/STEM （透過型電子顕微鏡分析）やSIMS（二次イオン質量分析）、PCOR-SIMS（Point by point Corrected 二次イオン質量分析法）といった分析手法の応用セミナーも無償開催しています。 セミナーはお客様ごとにアレンジして個別開催をしています。開催ご希望の際はお気軽に弊社までお問合せください。
試料マトリクス変化に対し、感度係数とスパッタリングレートを全深さで補正し、高精度・深さ方向プロファイル分析
PCOR-SIMS（Point by point Corrected SIMS）はSIMSをベースに、EAG Laboratoriesが長年の経験とノウハウから独自開発した分析手法です。試料のマトリクスの変化に対して感度係数とスパッタリングレートを深さ方向全てのポイントに対して補正し、精度の高い深さ方向プロファイルを得ることが可能な高度なEnhanced SIMS技術です。PCOR-SIMSは化合物半導体の微量元素・組成評価、Shallow B、As、P等の極浅イオン注入（ULE）分布評価などに有効です。
