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フッ酸、硝酸を使用！洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています！
当製品は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。 ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは専用の洗浄バスケットに 移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送。 その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは 洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。 洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、150℃の温風で予備乾燥されます。 【主な仕様】 ■被洗浄物：Siナゲット ■処理方法：水洗⇒薬液洗浄⇒リンス⇒予備乾燥 ■搬送方法：搬送ロボットによる自動搬送 ■使用薬液：フッ酸、硝酸 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.5t以下の薄板軽量基板の搬送も可能！皮脂の指紋やガラスカレット、油性マジックも洗浄できる次世代型洗浄装置
『DNCC-320』は、ガラス基板を流体で浮上移動させながら、 洗浄からリンス、乾燥処理まで行う洗浄装置です。 本来洗浄媒体である純水等で浮上させ且つ洗浄し、 垂直端面だけで駆動制御させ、川幅方面のサイズ変更も可能です。 従来のローラー搬送の様なスリップ等によるキズがガラス面に付かず ガラス全面に洗浄液が均一に接触流水しスプレー洗浄の様なムラがありません。 【特長】 ■ガラス基板にローラー痕ゼロ ■表面、裏面同時洗浄乾燥が可能 ■薄板軽量基板（0.5t以下）の搬送に好適 ■機能水＋超音波洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。 6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。 装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。 洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【主な仕様】 ■搬送：6″ウェハの2カセット搬送 ■洗浄プロセス：バッチ洗浄 ■流れ方向：左→右の3機ロボット搬送 ■制御方式：PLC ■薬液供給方法：CCSS 方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
65nμm／5個の高清浄度を達成！25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理
『300mmウェハカセットレス洗浄装置』は、ファイナルポリッシュ後の 化学研磨工程で使用する製品です。 25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理しており、 65nμm／5個の高清浄度を達成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：300mm 厚み 0.75t ■処理方法：カセットレスによるDip処理 ■処理速度：50 枚/5min（可変） ■装置内清浄度：0.1μm クラス1 ■パスライン：FL+900±5mm フープによる手動セット ■搬送方式：前面搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
専用バスケットによるDip処理！用途に合わせ製作が可能な精密部品洗浄装置のご紹介
当社が取り扱う、『精密部品洗浄装置』をご紹介します。 HHD用モーター部品（Hub・ケース等）を脱脂洗浄する装置で、 洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥で構成。 用途に合わせ製作致します。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【主な仕様】 ■被洗浄物：HHD用モーター部品（Hub・ケース等） ■処理方法：専用バスケットによるDip処理 ■処理速度：2.5min（2kg×4 バスケット） ■パスライン：FL+750±10mm ■搬送方式：タクト送り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カセットに合わせ設計・製作！純水高圧洗浄＋温風乾燥を行う自動洗浄装置
当社が取り扱う、『PDP向けカセット洗浄装置』をご紹介します。 PDP用基板を搬送するカセットを温水高圧シャワー⇒液切り⇒温風乾燥させる 自動洗浄装置で、カセットに合わせ設計・製作致します。 処理方法は純水高圧洗浄＋温風乾燥となっております。 【主な仕様】 ■被加熱物：PDPカセット（2800W×4700D×1500H）重量：1000kg ■処理方法：純水高圧洗浄＋温風乾燥 ■処理速度：100mm/s（Tact Time：28min） ■加熱条件：100℃±5℃ ■パスライン：FL+2400 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
passlineは400mm！SPMと中性洗剤＋USにより洗浄し、温水引き上げで乾燥をします
当社が取り扱う、『マスクガラス洗浄装置』をご紹介します。 マスクガラスをオリジナルカセットに収納しSPMと中性洗剤＋USにより 洗浄し、温水引き上げで乾燥。 工程は、LD → 水中 → SPM → Rinse → Rinse → 中性洗剤+US → Rinse＋US →Rinse → SC-1 → Rinse → Rinse＋MUS → Rinse → 温水引上 → ULDといった順に行います。 【主な仕様】 ■搬送方向：左left → 右light ■passline：400mm（LD.ULD） ■基板Mask：min 9”×9” ～ max 24”×24” ■本体寸法（材質） ・PVC巻き（アイボリー）：8000W×2350D×2600H（2900H） ・架台：SUS304製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
端面をローラ駆動させ川幅方向のサイズ変更も可能とした次世代型洗浄装置
『DACC-061-3L』は、4インチ（61mmx124mm）から7インチ （140mmｘ200mm）のパターン付き小判ガラス両面の各種汚れを 洗浄除去する装置です。 洗浄液は一般の洗剤やクリーナーに含まれる界面活性剤や化学合成物質 BOD/CODなどの環境汚染物質の含有量がゼロの機能水を生成する装置を搭載。 成分の99.9%が純水でありながら合成洗剤と同等、 またはそれ以上の洗浄効果を発揮します。 【特長】 ■ガラス基板にローラー痕ゼロ ■多品種生産対応可能 ■優れた洗浄力 ■機能水＋超音波洗浄 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
