更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜厚を算出
当社ではEPMAによる薄膜の膜厚分布測定を行っております。 薄膜の膜厚測定は主に蛍光X線法やX線反射率法で行われており、X線を入射源と しているためある程度の広い測定領域の平均的な膜厚しか測定できませんでした。 それに対して電子線を活用することにより、極小領域（約1μm2）の膜厚測定、 さらに膜厚分布（マッピング）が可能となりましたので、ご活用ください。 【特長】 ■測定原理：電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜厚を算出 ■使用装置：EPMA ■面分解能：約1μm ■最大測定膜厚：約1μm ■最小マッピング領域：約80×80μm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XPSを使用して簡易的に測定することが可能！酸化物系以外の半導体もお問合せください
アイテスでは、『XPSによるバンドギャップの簡易測定』を行っています。 半導体や絶縁物の中で、比較的バンドギャップが広い物質や薄膜の バンドギャップを、XPSを使用して簡易的に測定することが可能。 β-Ga2O3のバンドギャップをO1sのピークを使用して測定を行った際は、 O1sのピーク位置とバンドギャップによるエネルギー損失の端部との差より このβ-Ga2O3のバンドギャップは、約4.9eVと測定されました。 【特長】 ■XPSを使用して簡易的に測定できる ■バンドギャップの広いSiON等の薄膜の簡易測定も可能 ■酸化物系以外の半導体も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
蒸発管・過熱管の酸化スケール等に！わずか数秒でスケール厚さを求めることが出来ます
『スケールフィット』は、曲線適合法を基本とした演算処理により、 観測波形に含まれる厚さ成分の分離を行います。 演算は非線形最適化法(Damped Least-Squares=DLS法)により高速かつ 好適に行い、わずか数秒でスケール厚さを求めることが可能。 薄膜スケールの測定を実現します。 【特長】 ■観測波形に含まれる厚さ成分の分離を行う ■わずか数秒でスケール厚さを求めることが可能 ■薄膜スケールの測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。
絶対PL量子収率測定は、材料に吸収された光（エネルギー）に対し、どのくらいの効率で発光が得られるか、つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長（約350～800nm）での励起が可能 ■MSTの特徴 ・装置は雰囲気制御下で管理されているため、薄膜サンプルについては酸素の影響を受けずに測定することが可能
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置
当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な 「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。 【蒸着装置部・主要仕様】 ○本体・チャンバー →蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能 100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構造
「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの測定チャネルを搭載しております
研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 【特長】 ■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、 過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現 ■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定 ■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い柔軟性と効率性！測定点は最大12.5 mmの長さを持つライン上に広がっています
容器ガラスのびんを生産する際、生産速度が速いにもかかわらず、 びん1本1本の肉厚を検査する必要があります。 そして、容器の重要部分を測定する場合や、黒色ガラスや非球形容器を 測定する場合既存のポイントプローブセンサーでは難しい現状です。 当社の「CHRocodile MPS 2Lセンサー」は、測定点最大12.5 mmの長さを 持つライン上に広がっています。 高い柔軟性と効率性で、各チャネルを個別に処理できるため、1本の ラインプローブと最大12個の追加のポイントプローブを使用した 構成なども可能です。 【特長】 ■ラインプローブごとのデータ収集レートは4.5 kHz ■CHRocodile MPS 2Lによる毎秒108 000点の測定 ■移動速度の速いサンプルでもインライン検査が可能 ■使用するチャネル数を減らすことでサンプリングレートが増大 ■CHRocodile MPS 2Lは最大24個の独立したチャネルの測定、プローブの ラインに沿った測定点の選択機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多CHでの前後の測定が可能な、多ポイント膜厚測定。複数の受光ヘッドを使用し、複数ポイントの膜厚値を一括測定します。
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションにて膜の厚みの差やムラ等の測定・解析を 効率的に行えるように、自動XYステージを使用して 自動マッピング測定が可能です。（マッピング膜測定） 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検査、セパレーター厚みやコーティング厚みの測定等の実績豊富！
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 シングルポイントセンサでは、低価格向けの製品（CHRcodile C CHRocodile Mini)も２種類用意しています 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
フィラー、セラミックス、絶縁薄膜、半導体薄膜等、薄膜・微小領域の熱伝導評価に！！
この装置は、世界最小クラスの分解能を誇る、革新的な熱物性測定装置です。 サンプルの熱物性を点、線、面の各レベルで詳細に測定することが可能で、従来の装置では難しかったミクロンオーダーの熱物性値分布も正確に捉えます。 さらに、この装置は非接触測定でありながら、高分解能を実現しており、従来技術では不可能だった領域を新たに開拓しました。世界初の技術を搭載し、熱浸透率の測定に加え、好条件下では熱伝導率も直接測定可能です。 この装置は、研究開発において精密な熱物性解析を必要とする場面で、他に類を見ない性能を発揮します。 〇測定原理について〇 この装置の測定原理はサーモリフレクタンス法と言う手法になります。 材料の表面温度を高精度で測定する手法の一つで、特に微小領域や薄膜材料の熱特性を調べるために使われます。 この方法は、材料の表面温度変化に伴う反射率の変化を検出し、その変化から温度を測定する技術です。 得られる結果は熱浸透率と言うパラメーターです。 熱浸透率とは物質と物質が接しているときに熱をどれだけ奪い取るかを示す物理量です。 比熱と密度により、熱伝導率や熱拡散率と相互に変換できます。
アルミナフィラーや、半導体レーザの電極部といった薄膜微小領域の熱浸透率・熱伝導率が測定できる！
当カタログは、「サーマルマイクロスコープTM3B」の製品カタログです。 マイクロメーターサイズの熱浸透率測定が可能で、フィラーや薄膜の 熱浸透率測定・熱伝導率測定に好適な製品。 特長や測定原理、装置構成なども掲載しております。 ぜひ、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■特長 ■測定原理 ■装置構成 ■測定事例 ■仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
測定時間が短く、最大1000秒！酸化膜を種類別に測定が可能なSERA法をご紹介
当社の分析・故障解析、「酸化膜厚測定(SERA法)」についてご紹介します。 SERA法は、薄膜酸化膜厚、薄膜金属膜厚、金属間化合物層が容易かつ 正確に測定可能。Cu2OとCuOのように、酸化膜を種類別に測定する ことができます。 また、ランドの酸化膜厚とはんだ付け性を試験したところ、 加熱処理により酸化膜厚が増し、はんだの広がり面積が減少、 熱処理を繰り返すことで、SnO2の増加が顕著に認められました。 【SERA法での測定可能金属】 ■酸化膜厚：Sn Ag Cu SnAgCu ■金属膜厚：Au Cu Ni Ag Sn ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
