フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞
大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！
<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
露光装置×株式会社清和光学製作所 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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大型タッチパネル用露光装置
独自光学系と照明で高精度にアライメント！！！
<特徴> 4.5G（920＊730mm）～6G（1500＊1850mm）までのタッチパネルの薄板に対応します。 ITO、OC1、メタル、OC2のプロセスに最適なモードを提供します。 画像で不鮮明なITOマーク、メタルの被ったマークを独自光学系と照明で、高精度にアライメントします。 パネル搬送は、縦型で、非接触搬送、薄板に対応します。 マスクチェンジャー（5-10枚）を標準装備し、クリーンなパターニングに対応します
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
中型タッチパネル/OLED露光装置
独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！
<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。 搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
フィルム用ロールtoロール露光装置
ロールtoロールで搬送にかかる手間を大幅に削減！！！
<特徴> ３D、タッチパネル、FPC、OLED等のフィルムデバイスに、片面又は両面露光と提供します。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
ウェハー露光装置（マスクアライナー）
全自動タイプ(2～12inch 及び 角型等)ウェハー露光装置
概要 高精細露光に最適化た独自UV光学系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用 バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置 特注対応可能
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置
各工程インテグレードで効率生産！！！
<特徴> MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。 エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応 スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で パターニングが可能（オプション） レチクル自動交換（オプション）
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
小型ウエハー自動露光装置
LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
ウエハー露光装置（マスクアライナー） 研究開発用
研究開発用手動タイプ
概要 研究開発，小ロット生産まで多用途に対応が可能 ハードコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシティーを選択し使用用途に合わせて提案
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
