赤外顕微鏡
透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます
半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
顕微鏡(irカメラ) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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製品一覧
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赤外線顕微鏡『IR-1300RL』
各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕微鏡システム
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測 ■顕微鏡本体にBX53オリンパス製を使用 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■アライメントマークずれ計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ディスク・テック株式会社 本社
- 価格：応相談
IR顕微鏡システム
赤外光で非破壊検査
IR 顕微鏡システムSK19001-300 は、シリコンウェハーを透過する近赤外光を用いることで、PC 画面上でウェハー内部の欠陥や接合面の状態の目視確認を行うことができる非破壊の検査システムです。
- 企業：株式会社アド・ソアー 湘南開発センター
- 価格：500万円 ~ 1000万円
赤外線顕微鏡システム『IR1300mea』
手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測可能
『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能（オプション） ■フォーカス軸を長ストロークに設定できますので冶具に搭載したまま ウエハーの検査計測ができる（長ストローク45mmまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ディスク・テック株式会社 本社
- 価格：応相談
赤外顕微鏡（FT-IR）
＜中古分析機器＞
サーモフィッシャーサイエンティフィック社製の赤外顕微鏡です。 数ミクロンの微小異物などシビアな分析に対応可能です。サーモ社製のFT-IRと組み合わせてお使いいただけます。 （S2656-02）
- 企業：テクノミックス株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
近赤外無限遠f=200mm結像顕微鏡
InGaAs(SWIR) カメラ対応顕微鏡
InGaAs(SWIR)カメラに対応。 900-1700nmで高透過率のf=200mm結像鏡筒。 1.1インチセンサー対応 Cマウント 同軸ケーラー照明
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：10万円 ~ 50万円
Nicolet iN5 赤外顕微鏡
シンプルなポイント分析、簡単操作、ハイスループット赤外顕微鏡。お客様の課題を迅速に解決します！
『Thermo Scientific Nicolet iN5 顕微FT-IR』は、 直感的かつ簡単な操作を実現しました。 信頼性が高くアライメント不要の光学系、高出力LEDイルミネーション、 接眼鏡またはカメラ（選択可能）によって、サンプル上の関心領域を 明確に特定することが可能。 サンプルに合わせて好適な分析手法（透過、反射、ATR法）を選択し、 迅速に高品質なデータを取得できます。 【特長】 ■複数の可視観察オプションを選択可能 ■高出力LEDによって、明確なサンプルイルミネーションを長期にわたって実現 ■装置前面に配置されたアパーチャによって、分析対象を確実にピンポイントで特定 ■固定の対物レンズによって、常にアライメントされた好適な状態を維持 ■機器手前のフォーカス調整ノブによって、サンプルへの焦点調整を簡単に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』
1.3メガSWIRカメラ搭載！チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に好適
『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。 1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、 近赤外画像でありながら、高解像画像の取得が可能。 SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな 画像が取得できます。 【特長】 ■1.3メガSWIRカメラ搭載 ■可視域を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができる ■高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ ■対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られる ■8インチウェハー搭載ステージを装備 ■除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
近赤外線観察用顕微鏡『IRV-8756』
照明とカメラがセットになった近赤外線検査用ビデオマイクロスコープ
赤外線は可視光では認識することが出来ないものを検出するのに有効です。 人体に悪影響がほとんどない安全な光であり、非破壊検査・品質管理・異物検査などの分野で利用されています。 ただし、近赤外線光は肉眼では観察できない為、可視化するには専用のカメラが必要です。 当製品は、近赤外照明・近赤外線カメラ・ビデオマイクロスコープの3部で構成されています。 ・近赤外線LEDスポットライト ピーク波長945nmの近赤外線LED照明。 可視光に容易に切り換えることができ、赤外線下の像と可視光下の像を比較することが可能です。 ・近赤外線カメラ 近赤外領域に感度の高いソニー製センサを搭載したUSBデジタルカメラ。4K解像度で鮮明な顕微鏡像が得られます。Windows用、Mac対応のソフトウェアが標準で付属します。 ・ビデオマイクロスコープ ズームレンジ0.7倍～5.6倍（ズーム比8倍）のズーム型ビデオマイクロスコープ。 標準仕様では1.0倍の対物レンズが付属。オプションで、0.5倍、0.75倍、1.5倍、2.0倍の対物レンズも用意しており、観察物に応じた適切な倍率と作業距離でご利用頂けます。
- 企業：株式会社レイマー
- 価格：応相談
デジタル顕微鏡 JMS3
micro USBによってPC（Windows）と接続することができます。
micro USBによってPC（Windows）と接続することができます。
- 企業：株式会社Joman 本社
- 価格：1万円 ~ 10万円
