更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします
『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特長】 ■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） ■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm） ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！
『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125 （28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル
『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスにも対応しています
『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。 また、DeviceNetやEtherCATなど、各種デジタルインターフェイスに対応 しています。 【特長】 ■Auシール、ピエゾアクチュエータを採用 ■サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現 ■リンテック独自の自己温度補正方式を採用 ■腐食性ガスや液化ガスにも対応 ■流量精度は±1.0% S.P.を保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC
CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します
ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
欧州で圧倒的シェア！液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる！マスフロー測定・制御機器の総合カタログ進呈中！
ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量～大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のＲ＆Ｄ、工業分野で採用されています。小流領域特化のコリオリ製品も注目です。 【こんなことでお困りの方へ】 ■温度・圧力変動時の再現性を良くしたい ■計器が場所を取る ■液体を変える度の再校正を減らしたい 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○EX-FLOWシリーズ ○LOW-ΔP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。
マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル！
『1000シリーズ』は、基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、 製品の性能と信頼性を高めたマスフローコントローラーです。 医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や 実験など幅広い分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：20 SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定/出力信号：0-5V ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
