分析のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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分析 - メーカー・企業184社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年08月19日~2026年09月15日
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分析のメーカー・企業ランキング

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  1. 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 東京都/試験・分析・測定
  2. ビーエルテック株式会社 東京都/試験・分析・測定
  3. 西進商事株式会社 兵庫県/産業用機械
  4. 4 株式会社アイテス 滋賀県/電子部品・半導体
  5. 5 クラスターテクノロジー株式会社 本社 大阪府/樹脂・プラスチック

分析の製品ランキング

更新日: 集計期間:2026年08月19日~2026年09月15日
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  1. ICP-AES/ICP-MS用 認証単元素・混合標準液 湿式分析 西進商事株式会社
  2. エポキシ樹脂碍子 クラスターテクノロジー株式会社 本社
  3. 海水栄養塩測定装置 クワトロ ビーエルテック株式会社
  4. 4 フレキシブル基板(FPC)のEBSD解析 株式会社アイテス
  5. 4 電子顕微鏡用液中サンプル観察ツール『K-kit』 日本マーテック株式会社

分析の製品一覧

31~60 件を表示 / 全 612 件

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大学・研究機関によるウイルス研究事例~TA装置を使用して~

ウイルス研究事例 ウイルスのキャラクタリゼーション ~カロリーメーターによる構造と結合特性の評価 ~

このたび、世界中で新型コロナウイルス感染症(COVID-19)が問題となっております。 TAインスツルメント社は微力ながら新型コロナウイルス感染症に関して、何らかのお役に立てたらと思い、TA製の装置を使用した<大学・研究機関に よるウイルスの研究事例>をご紹介させていただきます。 ウイルスの構造と作用様式を理解するために、示差走査熱量計DSC(Differential scanning calorimetry)および等温滴定熱量計 ITC(Isothermal titration calorimetry)の研究を組み込んだ研究機関は急速に発展しております。 是非、事例をご覧ください。

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示差走査熱量計 nano DSC

生体試料を研究するために特化した示差走査熱量計。最高の感度と優れた操作性をご提供いたします。

TAインスツルメントは、革新的かつ卓越した技術で、世界のDSCのリーディングカンパニーであり続けています。信頼性の高いデータを提供し、ラボでのワークフローと生産性を向上させます。Nano DSCは、生体タンパク質の立体構造の変化に伴う微小熱が検出できる示唆走査熱量計(DSC)です。 材用の特性解析は、製品の設計、製造、加工、そして応用-すべてのステージにおいて必要不可欠です。 示差走査熱量計/nano DSCはポリマー、医薬品、食品、生体物質、有機化合物、無機化合物、および複合材料などの幅広い材料の物性評価のために、もっとも普及している熱分析装置です。

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【分析事例】等温熱量測定装置 TAMによる細胞代謝と薬効の評価

分析のスペシャリストによる細胞関連の分析事例のご紹介です。今回は細胞を用いた評価に有用な熱分析装置の測定事例をご紹介します。

TA Instruments が提供可能な測定実績 ☆熱分析/ガラス転移・結晶化・熱分解重量・硬化反応・膨張率・熱伝導率・収縮率・水分の影響 etc. ☆粘弾性測定(レオロジー・レオメーター)/粘弾性・弾性率・粘度・応力緩和・クリープ・マスターカーブ・残留歪・分子量・分子量分布etc. ☆微小熱量測定(カロリーメーター)/分子間相互作用・結晶化・非晶性・凝集/沈殿・分散性・溶解性・相溶性・ぬれ性・安定性・吸着性etc. ☆疲労試験/引張強度・温度依存性・粘弾性・弾性率・粘度・応力緩和・クリープ・マスターカーブ・残留歪etc.

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「CPE33」(PPE) 低吸湿・高再生率 複合材料

低吸湿/高再生率 樹脂複合材料

「エポクラスターT CPE33」は低吸湿かつ低線膨張係数、高リサイクル性を実現した熱可塑性超精密成型用の複合材料です。 低吸湿かつ低線膨張であるため環境変化の影響を受け難い材料です。これら特徴を活かして光学ベースなど環境変化に敏感で高精度な部品の提供が可能になりました。 高い材料再生率で再生回数を重ねても機械的物性値に影響を与えることは殆どありません。材料管理や品質管理の低減そして eco にも貢献します。

  • プラスチック
  • エンジニアリングプラスチック
  • 分析

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インクジェットシステム 【レンタル開始】※最短 1 ヶ月~

月々少額にて利用でき、研究開発機器として手軽に検討いただけます!  インクの飛翔と着滴をリアルタイムに観察

インク評価用インクジェット装置は、シンプル&多機能な装置です。 「インクジェットグレードのインクを開発中だけど、そもそもインクジェットに 求められるインクの性能ってなに?」弊社の装置をレンタルして頂きお試しください! 短期間での利用が可能で最短 1 ヶ月から利用でき、設置と同時に操作方法をレクチャーします。 ノズル詰りも利用期間中 1 回対応するので、安心して利用頂けます。 ◆こんな方にお薦め ・装置を利用したいが、購入するにはリスクが心配・・・・ ・早急に装置を利用したい・・・ ・利用期間は限られるので、購入は・・・ 購入では約 3 ヶ月の納期が必要ですが、レンタルでは在庫があれば 2 週間で利用開始できます。 この機会に是非ご利用下さい! ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか、お問合せ下さい。

  • 試験機器・装置
  • その他工作機械
  • 化学薬品
  • 分析

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「AEI501」(PEI) 高精度・高耐熱 複合材料

高耐熱×高強度×高精度 精密部品の樹脂化はお任せ

「エポクラスター AEI501」はポリエーテルイミド樹脂(PEI)をベースに開発した寸法精度、耐熱性、機械特性に優れたPEI樹脂成形材料(プラスチック)です。 要求特性に応じてカスタマイズを含めたご提案が可能です。 【特徴】 ■等方的に優れた寸法精度 成形収縮率0.13%!精密性が求められる部品でもご使用いただけます。 ■高い耐熱性 連続使用温度170℃なので、高い耐熱性が求められる部品でもご使用いただけます。 ■優れた機械特性 PEI由来の優れた機械特性で、部品の強度を担保します。 ■優れた耐薬品性 アルカリや酸に対して耐性がありますので、耐薬品性が必要な部品でも使用可能です。 詳しくはカタログをご覧ください。 また、お気軽にお問い合わせください。 ※基本的に弊社で成形品を成形加工してのご提供となります。  成形材料としてお求めの際は一度ご相談ください。

  • エンジニアリングプラスチック
  • 複合材料
  • プラスチック
  • 分析

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「APS300M」(PPS) 高精度・高摺動 複合材料

高摺動×耐薬品性×高精度 精密部品の樹脂化はお任せ

「エポクラスター APS300M」はポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)をベースに開発した摩擦係数、耐熱性、耐薬品性に優れたPPS樹脂複合材料(プラスチック)です。 要求特性に応じてカスタマイズを含めたご提案が可能です。 【特徴】 ■摩擦係数と耐摩耗性 球状カーボンを配合する事により、低摩擦係数と高耐摩耗性を実現しました。 ■等方的に優れた寸法精度 異方性が出にくく反りやヒケが出にくい為、精密部品を安定的に生産する事が出来ます。 ■高い耐熱性 荷重たわみ温度200℃なので高温環境下でもご使用いただけます。 ■優れた耐薬品性 化学薬品各種に対して安定した耐久性を持ちます。 詳しくはカタログをご覧ください。 また、お気軽にお問い合わせください。 ※当材料は基本的に弊社で成形品を成形加工してのご提供となります。  成形材料としてお求めの際は一度ご相談ください。

  • エンジニアリングプラスチック
  • 複合材料
  • プラスチック
  • 分析

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熱ルミネッセンス測定装置 TL-2000

TL-2000は、照射食品検知を主目的に開発された最新の熱ルミネセンス測定装置です

食安発第0529004号通知の中で、ナノグレイ社製の熱ルミネッセンス測定装置TL-2000が紹介されています。TL-2000は、照射済み香辛料の標準分析法とされるTL法規格に準拠しています。 TL-2000は、国産、廉価、高性能、をテーマとして、照射食品検知を主目的に開発されました。 その他、年代測定、TL材料分析などの、熱ルミネッセンス、ケミルミネッセンス測定にご利用いただくことも可能です。

  • その他検査機器・装置
  • 食品試験/分析/測定機器
  • 分析

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正確かつ効率的で詳細なポリマー特性解析! GPC/SEC LC

百台という低い分子量を測定できるマルチ検出器 GPC/SEC 液体クロマトグラフ(LC)システム

『1260 Infinity II マルチ検出器 GPC/SEC システム』は、屈折率、光散乱、 粘度検出器を自由に組み合わせることができます。 正確な絶対分子量と分子サイズが得られ、分子量範囲や溶媒に関係なく、 幅広いポリマーの分析に使用可能。各検出器が個別に温度制御され、 高精度で再現性の高い結果が得られます。 Application Finder で、1260 Infinity および 1260 Infinity II マルチ検出器 GPC/SEC システムのすべてのアプリケーションノートと技術概要を表示できます。 【特長】 ■正確な分子量 ■正確なサイズおよび構造 ■最小クラスの拡散 ■効率的で再現性がある ■フルアップグレード可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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示差走査熱量測定装置 熱流束型シングルファーネス DSC

リサーチからルーチン分析まで幅広い対応が可能なコンパクトで優れた汎用性、信頼性を兼ね備えた高感度熱流束型DSC

示差走査熱量測定装置(シングルファーネス DSC)『DSC 4000 / 6000』のご紹介です。 リサーチからルーチン分析まで幅広い対応が可能なコンパクトで優れた汎用性、信頼性を兼ね備えた高感度熱流束型DSCです。従来機と比較して、安定かつ平坦なベースライン、感度の向上を実現します。 【特長】 ◆優れた温度検出を可能にした高感度センサーディスクを搭載 ◆堅牢・耐腐食性・長寿命の不活性アルミニウムを採用した低熱容量ファーネスを採用 ◆2 種のガスに対応のデジタルマスフローコントローラー内臓 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他産業用ロボット
  • その他理化学機器
  • ガス発生装置
  • 分析

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入力補償型ダブルファーネス DSC 8000

優れたプログラム温度追従性を実現!Wavelet Analysisがさらにノイズを低減します

『入力補償型ダブルファーネス DSC 8000』は、低質量のファーネスが 優れたプログラム温度追従性を実現する示差走査熱量測定装置です。 マスフローコントローラーを内蔵しており、自動2ラインガス切り換えが可能。 SmartScanによる安定したベースラインで、Wavelet Analysisがさらに ノイズを低減します。 【特長】 ■低質量のファーネスが優れたプログラム温度追従性を実現 ■SmartScanによる安定したベースライン ■Wavelet Analysisがさらにノイズを低減 ■自動2ラインガス切り換え(マスフローコントローラー内蔵) ■自動診断機能付オートサンプラー(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器
  • その他
  • 分析

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ICP-AES/ICP-MS用 認証単元素・混合標準液 湿式分析

カタログ刷新!NISTトレーサブル。米国の認定機関A2LAより各種認定を取得。国際相互認証があり、JCSSと同等の保証書発行!

■標準物質・標準試料をお探しの分析室の皆様へ 分析の精度と効率を追求する皆様に、当社が誇る分析用標準物質『ICP-AES/ICP-MS用標準溶液』をご紹介します。カタログを刷新し、米国認定機関A2LAによるNISTトレーサブルな保証を取得した本製品は、ISO 17025およびISO 17034の国際認証を備え、JCSSと同等の保証書が発行可能です。信頼の国際相互認証(ilac MRA)により、世界中の規格に対応する品質を保証します。 ■全70元素に対応したSPEX社認証標準溶液 当社の取り扱うSPEX社の認証標準溶液は、全70元素に対応しており、精密かつ信頼性の高い分析を実現します。さらに、国内需要に特化したオリジナル混合液もご用意しています。 ■標準溶液で分析効率を最大化 混合標準液の使用により、分析時間を短縮し、分析者間の誤差を最小化することで、業務の効率と精度を高めます。また、ユーザーの希望に合わせた特注品の作製も可能です。西進商事では、あらゆるニーズに応えるオリジナル混合液の開発に努めています。 キーワード: ICP発光、発光分光、質量分析、定性分析、湿式分析

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レーザアブレーション装置『LASER BLENDER』

サンプルを溶かさず削って分析。「局所」、「イメージング」、 「深さ方向」の分析を実現

『LASER BLENDER』は、LA-ICP分析の高速・高精度化を実現する レーザアブレーション装置です。 固体サンプルへの直接アプローチで、「局所」、「イメージング」、 「深さ方向」の分析を実現。 ICP分析の前処理の簡略化だけでなく、固体直接分析、高速分析、 局所分析など分析手法の幅を拡大します。 【特長】 ■FHG f’sレーザによリ、熱影響を低減・発生粒子の微細化し高精度化 ■ガルバノスキャナーによる高速アブレーション ■最小レベル1μmΦの集光径で高い空間分解能の測定を可能に ■サンプルの傾きを補正するゴニオメーターを搭載 ■タブレット端末による、アブレーション形状の任意設定 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • サブ画像2.PNG
  • サブ画像1.PNG
  • proc1ss.ver2.PNG
  • 分析機器・装置
  • 分析

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油や薬品の漏洩事故を未然に防止!3つの装置で漏れを迅速に検出

3つの装置で「水面に浮いた油」「水に溶解した有機物全般」「紫外線吸収のある有機物」を検知します!

水に溶解した有機物、紫外線吸収のある有機物、水面に浮いた油など様々な物質の漏洩に対応した商品をご提案致します。 漏洩事故の早期対応と環境を脅かす河川や海への流出事故の防止にご活用ください。 【TOC計特長】 ■短時間測定でリアルタイム監視(約2分)、水に溶解している有機物全般を監視可能。 【UV計特長】 ■低濃度~高濃度まで対応可能、低メンテナンス。 【油膜検知器特長】 ■レーザ光面走査式で水面波立ちの影響を受けにくい、低メンテナンス。 用途/実用例 ■工場内の排水路監視、浄水場の取水口監視、雨水溝の監視、活性汚泥原水監視、超純水管理

  • その他計測・記録・測定器
  • 分析

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アタッチ式顕微ラマンセンサー|持ち運び、軽量、顕微鏡に直接設置

世界最小クラスの顕微ラマン分光センサー

当社で取り扱う「アタッチ式ラマンセンサー」について、ご紹介いたします。 高価で大型のラマン顕微鏡システムに代わり、お持ちの顕微鏡に わずか1分で簡単装着。圧倒的なコストパフォーマンスを実現。 世界最小クラスのプラグインミニラマンデバイスで、顕微鏡を瞬時に ラマンデバイスに変えます。お持ちのスマートフォン・タブレットで 即座にラマン分光計測が可能になります。 【特長】 ■従来製品の1/5の価格 ■高感度な顕微ラマン分光センサ ■手に乗るサイズの顕微ラマン分光センサ ■リモート計測が可能(タブレットやスマートフォンを用いてどこでも測定結果確認) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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省エネ新提案 スチームセーバー『PHV-Rシリーズ』

スチームトラップはもう壊れない。

『PHV-Rシリーズ』は、蒸気とドレン(蒸気の水分)を分けずに、 連続して排出できるスチームセーバーです。可動部を持たないオリフィス式を採用したので もう壊れるなんてことはありません。 長寿命・高耐久設計で、1.0MPa以下での使用であればほぼメンテナンス不要。 劣化による部品交換がほとんど発生せず、保全コストの削減に貢献します。 さらに、複数のトラップを1台に集約できる「グループトラッピング」に対応。 設置台数の削減とともに、管理・点検の手間を大幅に軽減します。 「新しい省エネツール」としてのスチームトラップ 【特長】 ■ オリフィス式によるドレンの連続排出 ■ 長寿命・高耐久(5〜10年以上) ■ トラップ設置台数の削減 ■ 廃熱の再利用により100℃以下まで回収 ■ 圧力の再利用で搬送動力を節約 ■ フラッシュ蒸気による熱損失なし

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  • スチームトラップ
  • 分析

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電界イオン顕微鏡装置(FIM)

電界イオン顕微鏡装置(FIM)

●特徴 電解イオン顧微鏡(FIM:Field Ion Microscope)は鋭く尖った金属針先端の表面原子像を容易に観察できる投影型の顕微鏡で1951年にペンシルバニア州立大学のErwin E. Mueller教授により発明されました。本装置は、超高真空の環境の中で、試料としてセットした金属tip(探針)の電圧を除々に大きくしていくことで、スクリ−ンにFIM像を出現させ、針状の試料表面原子の凹凸を100万倍程度に拡大した像を肉眼で観察できるイオン検出形表面分析装置です。 同時にtipに電圧が印加されることで先端部分の表面に付着している不純物を取り除くクリーニング効果が得られます。 さらにtipに印加する電圧を大きくすることで電界蒸発を行わせ、原子を個々にはぎ取り、先端原子の数を調整できるなど高度な実験が可能です。こうした本装置の優れた特性は、金属の原子レベルでの観察はもとより、先端の鋭い金属tipが不可欠な走査型トンネル顕微境のtip評価用として使われるなど幅広い用途に生かされ、多くの研究所、大学の研究室などで採用されています。

  • 分析機器・装置
  • マイクロスコープ
  • その他実験器具・容器
  • 分析

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セパレーター(分離機)

穀物、種子、香辛料等の区分けや異物の除去に

穀物原料(米、大麦、小麦、メイズ、マイロ等)に混入している夾雑物と原料とを分離する、上下段二重構造の振動篩です。

  • 自動選別機
  • その他食品機械
  • 分析

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微細形態分析|TEM/STEM(透過型電子顕微鏡分析)

ナノ~オングストローム分解能!原子レベルで微細形態観察・組成分析

TEM/STEMは電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法です。 TEM/STEMの空間分解能は約1〜2Åです。 高エネルギー電子(80〜200 keV)は、電子透過性サンプル(〜100 nmの厚さ)を透過します。TEM/STEMの空間分解能はSEMより優れていますが、多くの場合複雑なサンプル調製が必要です。また、近年ではSTEMに球面収差補正レンズを搭載したAC-STEM(CS補正機能付きSTEM)により従来のSTEMよりも高分解能での分析が可能になりました。 EAG LaboratoriesではTEM/STEMを20台以上所有し、試料作製用のFIB-SEMを30台以上所有しています。また、元素分析を行うEDS/EELSも複数台所有しています。分析に充分な設備数を所有しているため、TEM/STEM分析は常に短納期でご対応することが可能になっています(標準納期:6~8営業日/特急納期:お問合せ)。

  • 電子顕微鏡
  • 受託解析
  • 受託測定
  • 分析

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3台の元素分析装置を用いた土壌、岩石中全有機炭素(TOC)の分析

すべての炭素分をCO2ガスに変換することや半定量的TOC分析を行うことが可能!

TOC量の直接定量は土壌、岩石の特異な性質により難しく、温度による分別 測定を用いる必要があります。 全炭素分析として抵抗加熱炉または高周波炉を持つ装置で試料の完全分解を 行うことが可能です。 当記事では3台の全炭素分析装置を用いて、無機炭素の酸処理の有無を含む TOC分析の事例をご紹介します。加えて酸処理工程において試料が親水性、 疎水性の場合の比較も記載しています。 【掲載内容】 ■はじめに ■公定分析法 ■分析条件 ■試料の前処理 ■結果 ■結論 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置
  • 分析

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セパレータ『VEGシリーズ』

高剛性で長寿命!マグネットセンサと近接スイッチでの位置検出を選択可能

当社で取り扱う、セパレータ『VEGシリーズ』をご紹介いたします。 マグネットセンサと近接スイッチでの位置検出を選択可能。 長寿命で、最大1000万サイクルメンテナンスフリーです。 また、2本のロッドがワークを1つずつ選別することにより生産工程での 信頼性を向上させる「VEシリーズ」もご用意しております。 【特長】 <VEGシリーズ> ■焼き入れ済みステンレス製ガイド ■さまざまなニーズに対応 ■長寿命 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マイクロESCAによる分析 事例集

400LPIの銅メッシュ(メッシュ間隔:63.5μm)の分析結果を掲載しております!

当事例集では、400LPIの銅メッシュ(メッシュ間隔:63.5μm)を マイクロESCA(Quantum-2000)により分析した結果を紹介しております。 二次電子像から分析視野を指定してその領域の銅の面分析を行った結果 二次電子像に対応した銅の分布が得られ、さらにこのデータから測長機能を 利用してメッシュ間距離などを測ることができます。 【掲載概要】 ■マイクロESCAによる分析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他
  • 受託測定
  • その他受託サービス
  • 分析

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分析『二次イオン質量分析』

優れた測定が可能にする分析手法です!

『二次イオン質量分析』は、数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して 放出される二次イオンの質量分析により、水素を含む全元素の組成分析を 行う手法です。 高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が 可能になっています。 【特長】 ■水素を含む全元素の組成分析を行う ■元素分析が可能 ■低エネルギーイオンによる深さ分解能の測定が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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DLCの物理分析

DLC(ダイアモンドライクカーボン)の各種分析が可能!

DLC(ダイアモンドライクカーボン)の結晶性、膜厚の構造、水素量、密度、硬度の評価を紹介いたします。

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[SIM]走査イオン顕微鏡法

高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能

・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能(Al、 Cu等) ・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm、 SEM:0.5nm) ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能(Slice&View)

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【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価

同一箇所における抵抗分布と結晶粒・結晶粒界評価

SSRMでは局所抵抗に関する知見を、EBSDでは結晶粒・粒界に関する知見を得ることができます。 EBSD測定と同一箇所でSSRM 測定を行うことで、結晶粒界部を含んだ領域の局所抵抗を測定しましたので紹介いたします。

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【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察

高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能

走査型白色干渉計(光干渉計)は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm~4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面(クロスハッチパターン)の形状観察の事例を紹介します。 平均粗さ(Ra)~1nmの形状評価可能です。

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【分析事例】毛髪中における高級脂肪酸の分布評価

高級脂肪酸の分布を可視化

毛髪(ヒゲ)の断面についてTOF-SIMSを用いてイオンイメージ分析を行い、皮脂としても検出される高級脂肪酸の分布を調べました。 その結果、脂肪酸の種類により分布が異なることが分かりました。

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【分析事例】600V耐圧SiCダイオードのブレークダウン観察

前処理から発光箇所特定まで一貫解析

高電圧電源(2000Vまで印加可能)を用いることで、耐圧の高いダイオードに対してもブレークダウンを発生させることができます。 本事例では600V耐圧のSiC Schottky Diodeを動作させ、逆方向に高電圧まで印加することで、ブレークダウンを発生させました。カソード電極を研磨で除去後、エミッション顕微鏡観察を行い、ブレークダウン電流発生箇所を特定した事例をご紹介します。測定には市販品を用いています。

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【分析事例】SIMSによるMEMS中ドーパントの三次元分布評価

イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます

市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました(測定領域:75μm角、深さ:約1.5μm)。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。 注) イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。

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