手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-05型)
φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。
φ2”、φ4”またはφ6”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ2”、φ4”またはφ6”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
キャリアをセットし、[スタート]スイッチ操作により予め設定された測定位置を自動で測定します。 測定データは付属のパソコンに記録されます。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。
セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
フランス-メトロ社が製造する、小型高性能・高精度センサー表示機 M3を使用し、高精度軽測定圧フィルム・ラバー厚さ測定機にしました
フランス-メトロ社が製造する、高精度M3型電気マイクロに、弊社の技術を盛り込んで、フィルム、ラバー、薄膜、銅線径など、非接触では、不安定な測定を接触式で安定して測定を行う物です。 測定子や測定圧などたくさんのオプションから最適な物を選定致します。 長い経験を持った技術者が、アドバイス致しますので気軽にお問い合わせください
発泡式、断熱カップの厚さ測定装置
カップ麺の容器は熱湯を扱うため人の手に その熱さが伝わりにくいよう、断熱素材が使われます その素材は内部に空気を多く含むような構造となっているため柔らかく 厚みをはかろうとして機械的なマイクロメータなどをあてがうと わずかにつぶれ(凹み)ます したがって正しい計測が厄介なものです さらに計測の手法が限られてくるため、大変手間がかかることになります 本機では2機のレーザー変位計を用いて カップの壁面を両側から位置測定を行い その差分によって厚みを求めるものです