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クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察
液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。 そこで、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クライオ加工＋SEM観察を行って評価した事例をご紹介します。
ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能
透過型電子顕微鏡（TEM）はμm～nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を推定しました。 さらに、EELS分析により結晶型を区別することが可能です。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のMPUトランジスタ部の高分解能(HR)-TEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。3次元的な構造を持つFinFETのような微細な多層構造でも、Csコレクタ付TEMを用いることで素子の構造や元素分布を明瞭に観察することが可能です。
SEM・STEM・EDXによる触媒粒子の評価
燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金（PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細構造のため、形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。 初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価に高空間分解能でのHAADF観察やEDX分析が非常に有効です。また、SEM観察では担体のカーボンの形状や触媒粒子の存在状態を確認することができます。
PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察
PL（フォトルミネッセンス）マッピングでは、発光箇所から結晶欠陥位置の特定が可能です。 更に同一箇所を高分解能STEM観察（HAADF-STEM像）を行うことで積層欠陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位置を特定後、欠陥端部分についてμサンプリングを行い、断面STEM観察を実施しました。
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造に対する理解を深めることが可能となります
製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング
代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。
深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました
深層学習により、画像から目的の対象物を抽出することが可能です。また、得られた対象ごとに領域を解析することで数値として情報を得ることができます。 今回、バッテリー正極材の断面SEM像に対して、深層学習を用いて活物質粒子の抽出、クラックの検出をしました。Slice&Viewデータのような3Dデータに対しても同様に抽出が可能です。3Dデータからクラック有、クラック無粒子を抽出し、それぞれの粒径を算出しました。 測定法：SEM、Slice&View、計算科学・AI・データ解析 製品分野：太陽電池、二次電池、燃料電池 分析目的：構造評価、形状評価、故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
微小部断面加工と分析、残留応力測定などイオンミリング、FE-SEM、EBSD等による各種事例をご紹介します。資料DL可です。
当事例集では、『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価」の分析事例をはじめ、 「イオンミリングによる微小部断面加工」の目的や手法、試料と結果、 「はんだ断面の残留応力測定」の目的や手法、結果など多数掲載。 他にも、配向評価や断面観察結果、測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価 ■イオンミリングによる微小部断面加工 ■はんだ断面の残留応力測定 ■線材の残留応力測定 ■冷却（クライオ）イオンミリング断面加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走査型電子顕微鏡（SEM） ■業界：自動車（試作）／半導体／ロボット
単結晶ダイヤモンドチップの刃先表面を走査型電子顕微鏡（SEM）で観察しました。 PCD（ダイヤモンド焼結体）の刃先表面も観察し、比較しました。 表面の微細な凹凸の違いがはっきりと確認できました。 この違いが加工にどのように影響するか。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素分析（B～U） ■微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができる電子顕微鏡観察！金属材料全般に適用
『透過型電子顕微鏡（TEM）』は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、 試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や 電子線回折像を得ます。 透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、 電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。 【特長】 ■1,000～1,000,000 倍での観察 ■EDS 分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～U の定性・半定量分析） ■結晶性物質の同定や結晶方位の解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
21世紀の社会ニーズの医療・情報各分野に極的な事業展開をはかっています！
株式会社スペリアは、精密まき線のプロとして特殊コイル製造を行ったり、機械装置組み立て事業として電子顕微鏡ユニット組み立てや半導体関連ユニットの超精密組み立てなどを行っている会社です。 また、半導体製造装置用の洗浄槽などの樹脂加工や合理化機械設備等の設計から製作まで一貫しての受注も行っております。 【事業内容】 ■特殊コイル製造 ■機械装置組立 ■産業機械関連樹脂加工 ■精密部品加工 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料と評価方法 ３-１．結晶性の変化 ３-２．結晶配向の解析 ３-３．面内結晶配向の解析 ４．まとめ ５．謝辞 ６．おわりに
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム（DDS：Drug Delivery System）に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates（ADC等）が挙げられる。その中でも当社はリポソームの分析・評価技術の確立に注力しており、難易度が高いTEM（透過型電子顕微鏡）、AFM（原子間力顕微鏡）を中心にリポソームの分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．DDSによる基礎技術と各種キャリアの特徴 ３．リポソームの分析・評価事例 ４．おわりに
