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金属材料中の転位の観察にはTEMが用いられてきましたが、SEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
金属材料の変形や破壊のプロセスの本質的な理解には、転位の状態を可視化することが重要となっています。従来、金属材料中の転位の観察にはTEM（透過電子顕微鏡法）が用いられてきましたが、近年ではSEM（走査電子顕微鏡法）による観察も試みられていました。今回、当社でもこのSEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）及び走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は、どちらも二次電子像を得ることで試料表面近傍の構造評価を行う手法です。一次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。
走査電子顕微鏡(SEM)による拡大観察及び元素マッピングを実施！断面観察事例をご紹介
車ドアハンドルカバーのめっき層がどうなっているのか調べるため断面を 作製し、走査電子顕微鏡(SEM)による拡大観察及び元素マッピングを 行った事例をご紹介いたします。 めっき部分についてイオンミリングにより断面を作製し、厚みを計測。 全めっき厚は11〜12μm程度、最表層の薄いめっき(クロム)は85nm程度、 その下2層目のめっきは850nm程度であることがわかりました。 また、元素マッピングを行った結果、下地が厚い銅めっきで、これの上に ニッケルめっき、その上にクロムめっきを施したものであると確認されました。 【事例概要】 ■調査試料：車ドアハンドルカバー ■断面観察：めっきの厚み計測 ■元素マッピング：元素分布を調査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属の腐食による変色を観察、分析！変色原因調査事例をご紹介
当社にて、日常によくみられる金属の腐食による変色を、観察、分析した 事例をご紹介いたします。 走査電子顕微鏡(SEM)にて観察したところ、腐食の痕跡を確認。 本件の変色は、ニッケルめっき下の鉄材が腐食し、その生成物である錆が 表面に析出してきたために生じたものと推定されます。 【事例概要】 ■変色部観察：変色部を拡大 ■拡大観察と元素分析：更に拡大観察、変色部を元素分析 ■構造解析：ラマン分光による構造解析 ■変色原因：変色は主に鉄の腐食"赤錆" ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1μm強の亜鉛めっきの上にクロメート層が確認！膜厚測定事例をご紹介
当社にて、クロメート処理膜の膜厚測定を行った事例をご紹介します。 有色クロメートの金属部品についてイオンミリングにより断面加工を施し、 断面を電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)で拡大観察、膜厚を計測。 FE-SEMで膜の断面を観察すると、1μm強の亜鉛めっきの上にクロメート層 が確認されます。更に拡大してクロメートの厚みを測定すると、 420nm程であることがわかりました。 【事例概要】 ■調査試料：クロメート ■断面膜厚計則：クロメート膜厚を計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。
日本電子株式会社 JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。 SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、様々なニーズに応じた装置を提供します。 〇特長 ・インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG) ・JEOLの電子光学技術の粋を集めた次世代型電子光学制御システム搭載 ・SEM Center・EDSインテグレーション ・SMILE VIEW Lab ・スマイルナビ ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。
日本電子株式会社 JSM-IT510 InTouchScope 走査電子顕微鏡 走査電子顕微鏡 (SEM) は研究だけでなく、品質保証や製造現場で欠かせないツールなっています。そのような現場では、同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。 JSM-IT510は新たに加わったSimple SEM機能では、SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。 〇特長 ・Simple SEM 撮影したい視野を選ぶだけ ・安全・簡単！ 試料交換ナビ ・Zeromag 光学像を拡大すれば、SEM像 ・Live Analysis / Live Map 観察中も常に元素分析 ・充実の機能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンパクトで無人運転が可能な新世代のSEMです。
日本電子株式会社 JSM-IT210 走査電子顕微鏡は、日本電子製の据え置き型としては、最もコンパクトな走査電子顕微鏡です。新開発のステージは、5軸移動がすべてモーター駆動となり、より安心でかつ迅速にご使用いただけます。 ○特長 ・試料を入れて、迷わず観察 "試料交換ナビ" ・光学像を拡大すれば、SEM像 "Zeromag" ・観察中も常に元素分析 "Live Analysis" ・多彩な自動測定 "Simple SEM" ・自動測定を強力に支える機能 ・分析をよりスピーディーに ・60 mm2 大口径EDSを標準搭載 ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
見えるから、追求したい
日本電子株式会社 JSM-IT710HR 走査電子顕微鏡 ナノメートルオーダーでの分解能や分析性能はもちろんのこと、データを取得する際のスループットも重要視される今、新たに誕生したJSM-IT710HRは、"誰でも簡単に高分解能の画像が撮ることが出来るSEM" をテーマに掲げたJEOLのHRシリーズの4世代のモデルです。自動機能を拡充させた操作性と新しい検出器系を兼ね備えた観察性能の向上させました。 ○特長 ・光学像と連動してSEM像が見える ・高分解能電子銃により、よく見える ・自動測定機能: Simple SEM/EDS ・その場で3D像を構築: Live 3D ・新しい低真空二次電子検出器LHSED ・ショットキーFE電子銃の安定性を従来比 4倍以上に強化 ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
化学結合状態分析、バイオロジーからナノテクノロジー・ポリマー・最先端材料分野、電機・電子・自動車・機械・化学・薬品分野の研究等
様々な分野で活躍できる、日本電子株式会社の商品を3つご紹介いたします。 ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。 〇JPS-9030 光電子分光装置(XPS) 「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現した汎用型XPSです。カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。 〇JEM-1400Flash 電子顕微鏡 高感度sCMOSカメラを標準搭載し超広視野モンタージュシステムや光学顕微鏡画像リンク機能などの強力な新機能を組み込んだ透過電子顕微鏡です。 〇JCM-7000 NeoScope ネオスコープ 卓上走査電子顕微鏡 誰でも観察・分析ができることを目指した卓上走査電子顕微鏡です。前処理不要な低真空モード、視野探しのためのステージナビゲーションシステムを備え簡単に使えます。光学像からSEM像にそのまま移行できるZeromag、観察しながら元素分析できるLive Analysis、SEM観察中に三次元観察が可能なLive 3D等の機能を搭載しました。
操作性に優れオペレーターのスキルに依存せずに常に高いパフォーマンスを発揮します！
当社では、レンズ制御システムと自動機能技術を統合させた 次世代型電子光学制御システム「Neo Engine」を搭載した ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡『JSM-7900F』を取り扱っております。 電子光学条件を変更しても、光軸のズレがほとんどなく、 操作性や観察の精度が大きく向上し、どなたでも容易に装置本来の性能を 引き出すことができます。 【特長】 ■オート機能の向上 ・数秒でフォーカスを合わせることが可能 ■倍率精度の向上 ・高精度の測長も可能 ■エネルギーフィルタの使い勝手向上 ・設定値を大きく変えても、視野やフォーカスのズレがほとんどない ※詳細はお問い合わせください。
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ・加速電圧0.1～30kVの範囲で観察が可能 ・最大6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 EDX検出器による元素分析が可能 電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 冷却観察・雰囲気制御観察
非破壊でデバイス内部の特異箇所を把握！断面観察にて特異箇所の詳細な構造や組成情報を評価
弊団では、電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、 観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した本事例では、 まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索。 続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて 詳細な構造を確認しました。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM) ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
数十nmオーダーの狙い精度で数百μm角の断面観察が可能！
弊団では、Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察を承っております。 集積回路、電極やプリント基板、半導体パッケージの電極を 電気的に接続する金属製ボンディングは直径数十μm～数百μm程です。 Xe-PFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)では数十nmオーダーで 加工位置を狙い、数百μm角の断面を作製できるため、 ボンディング中央にて全景を詳細に把握することができます。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
バイオマスプラスチック製品中のセルロース、でんぷんなどの分散状態が観察できます!!
弊社では、電界放出形走査電子顕微鏡(FEーSEM)によるバイオマスプラスチック製品中 のセルロース、でんぷんなどの分散構造観察を行っております。 植物由来の天然樹脂の海に植物繊維(セルロース)の島が分散し、この界面に 接するように円形状のでんぷんの島が存在している様子を観察。 各種プラスチック複合材料の分散状態を低倍率(数100倍：比較的大きな凝集 構造)から高倍率(10万倍前後：微細構造)まで、目的に応じて観察致します。 【特長】 ■各種プラスチック複合材料の分散状態を低倍率から高倍率まで、 目的に応じて観察 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
