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非破壊でデバイス内部の特異箇所を把握！断面観察にて特異箇所の詳細な構造や組成情報を評価
弊団では、電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、 観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した本事例では、 まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索。 続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて 詳細な構造を確認しました。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM) ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
数十nmオーダーの狙い精度で数百μm角の断面観察が可能！
弊団では、Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察を承っております。 集積回路、電極やプリント基板、半導体パッケージの電極を 電気的に接続する金属製ボンディングは直径数十μm～数百μm程です。 Xe-PFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)では数十nmオーダーで 加工位置を狙い、数百μm角の断面を作製できるため、 ボンディング中央にて全景を詳細に把握することができます。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEM-STEM・(S)TEMによる高分子材料の観察事例をご紹介いたします！
弊団では、電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察を承っております。 高分子材料は軽元素で構成されているため、(S)TEM観察では 明確なコントラスが得られにくい材料です。そのような材料には 染色を行うことでコントラストを増大させることができます。 本事例では、電子染色と呼ばれる方法で四酸化ルテニウム(RuO4)、 四酸化オスミウム(OsO4)、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・ xH2O(略称PTA)を用いて染色観察しました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
毛髪細胞膜複合体(CMC)の観察事例をご紹介いたします！
弊団では、毛髪断面の微細構造(S)TEM分析を承っております。 毛髪細胞膜複合体(CMC)は、毛髪のブリーチや毛染めなどの際に薬剤の 通り道として利用されます。特にキューティクル/キューティクル間の CMCは3層構造を有しており、この可視化を行いました。 四酸化オスミウム(OsO4)で、脂質中の不飽和脂肪酸を狙って 電子染色を行いTEM観察及びSTEM-EDX分析をした事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■ウルトラミクロトーム加工 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
微小部断面加工と分析、残留応力測定などイオンミリング、FE-SEM、EBSD等による各種事例をご紹介します。資料DL可です。
当事例集では、『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価」の分析事例をはじめ、 「イオンミリングによる微小部断面加工」の目的や手法、試料と結果、 「はんだ断面の残留応力測定」の目的や手法、結果など多数掲載。 他にも、配向評価や断面観察結果、測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価 ■イオンミリングによる微小部断面加工 ■はんだ断面の残留応力測定 ■線材の残留応力測定 ■冷却（クライオ）イオンミリング断面加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走査型電子顕微鏡（SEM） ■業界：自動車（試作）／半導体／ロボット
単結晶ダイヤモンドチップの刃先表面を走査型電子顕微鏡（SEM）で観察しました。 PCD（ダイヤモンド焼結体）の刃先表面も観察し、比較しました。 表面の微細な凹凸の違いがはっきりと確認できました。 この違いが加工にどのように影響するか。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素分析（B～U） ■微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができる電子顕微鏡観察！金属材料全般に適用
『透過型電子顕微鏡（TEM）』は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、 試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や 電子線回折像を得ます。 透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、 電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。 【特長】 ■1,000～1,000,000 倍での観察 ■EDS 分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～U の定性・半定量分析） ■結晶性物質の同定や結晶方位の解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
21世紀の社会ニーズの医療・情報各分野に極的な事業展開をはかっています！
株式会社スペリアは、精密まき線のプロとして特殊コイル製造を行ったり、機械装置組み立て事業として電子顕微鏡ユニット組み立てや半導体関連ユニットの超精密組み立てなどを行っている会社です。 また、半導体製造装置用の洗浄槽などの樹脂加工や合理化機械設備等の設計から製作まで一貫しての受注も行っております。 【事業内容】 ■特殊コイル製造 ■機械装置組立 ■産業機械関連樹脂加工 ■精密部品加工 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料と評価方法 ３-１．結晶性の変化 ３-２．結晶配向の解析 ３-３．面内結晶配向の解析 ４．まとめ ５．謝辞 ６．おわりに
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に解析できることを示した。 【目次】 １．はじめに ２．実験方法 ３．TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 ４． in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 ４-１． STEM像における形態・組織変化の観測 ４-２． HRSTEM像における結晶構造変化の観測 ４-３． 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測 ５． まとめ
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム（DDS：Drug Delivery System）に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates（ADC等）が挙げられる。その中でも当社はリポソームの分析・評価技術の確立に注力しており、難易度が高いTEM（透過型電子顕微鏡）、AFM（原子間力顕微鏡）を中心にリポソームの分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．DDSによる基礎技術と各種キャリアの特徴 ３．リポソームの分析・評価事例 ４．おわりに
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 走査透過型電子顕微鏡（STEM）の測定手法の一つである微分位相コントラスト（DPC）-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。 【目次】 １．はじめに ２．元素分析によるソフトマテリアルの可視化 ３．DPC-STEM法の適用 ４．おわりに
樹脂の結晶構造、分散状態等の観察・評価が可能です！
当社ホームページでは「透過型電子顕微鏡(TEM)による結晶構造、 ポリマーアロイのモルフォロジー観察」についてご紹介しております。 高分子の結晶構造、ポリマーアロイのモルフォロジーをTEMを用いて観察する には、超薄切片を作ることが必要です。また電子線透過度に差をつける 為に染色が必要となります。 主な染色剤と染色可能な樹脂を表でご紹介している他、観察例も 掲載しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載内容】 ■主な染色剤と染色可能な樹脂 ■観察例 ・HDPEの結晶構造 ・ポリマーアロイの分散構造観察例 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
セルロースナノファイバーボールペンのインク固形分中のCNFを観察！
当社で行った「透過型電子顕微鏡(TEM)によるセルロースナノファイバー (CNF)観察」についてご紹介いたします。 これまで培ってきた樹脂材料の透過型電子顕微鏡(TEM)観察のノウハウを 生かして、市販セルロースナノファイバーボールペンのインク固形分中の CNFを観察。 インク顔料と絡み合ったようにみえる約10nm幅(太さ)のCNFが観察でき、 インクには解繊状況の異なるCNFが混在していることがわかりました。 【観察結果】 ■インク顔料と絡み合ったようにみえる約10nm幅のCNFが観察された ■サブミクロン幅のCNFも観察 ■数nm程度の細いミクロフィブリルが何本も束になって100nm程度の 太さの繊維を形成している ■インクには解繊状況の異なるCNFが混在している ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
