XYステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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XYステージ(精密) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年11月19日~2025年12月16日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

XYステージの製品一覧

46~60 件を表示 / 全 70 件

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サブナノZ軸ナノポジショナ P-620.Z~P-622.Z

0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御

PIHera P-620.Z/P-621.Z/P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • エンコーダー

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小型リニアエアベアリングステージ A-143 高精度タイプ

摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現

A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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超薄型精密XYステージ『CYAT-070』

各種装置導入後のXY軸後付けに好適!LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。

『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、  顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501

使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能

E-500/E-501は、1~3チャネル構成のピエゾシステムに対応するカスタム設計可能なコントローラです。 高電圧アンプ(最大1100V)や、多チャネル対応の静電容量・SGSセンサー制御モジュールを選択可能で、幅広いPI製品と互換性があります。 各種モジュールを組み合わせて構成され、制御精度・応答性を高めると同時に、装置組込みの柔軟性も確保。

  • コントローラ
  • サーボ
  • アンプ

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1ch ピエゾサーボコントローラ&ドライバー E-625

24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能

E-625は、低電圧ピエゾアクチュエータ用に設計された高性能なサーボコントローラです。 最大12台まで並列ネットワークが可能で、多軸制御システムにも柔軟に対応。 24ビットの高分解能A/Dと20ビットD/Aコンバータにより、高精度な位置検出と滑らかな動作を実現します。 センサーは静電容量または歪みゲージ(SGS)から選択可能。 PI独自のGCSコマンド体系、LabVIEW・DLL対応ソフトウェア、波形メモリ機能も備え、装置開発や実験用途に最適です。

  • コントローラ
  • サーボ
  • アンプ

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総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)

リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ!百mmオーダーのストローク!

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ!百mmオーダーのストローク!

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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AT2自動XYステージ<圧縮、引張、曲げの自動試験>

デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション

『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、  能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を  減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【電子部品製造向け】セルフロックステージ SLXシリーズ

位置ずれを防ぐ、高精度セルフロックステージ

電子部品製造においては、精密な位置決めが求められます。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 精密部品の検査・測定 - 自動化ラインにおける位置決め - 高精度な加工工程 - 長時間固定が必要な用途 【導入の効果】 - 位置ずれによる製品不良の防止 - 作業効率の向上 - 精密な位置決めによる加工精度の向上 - 検査・測定の精度向上

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真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作

【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが1台で可能だったり、広範囲のデータ(スペクトル等)が必要な場合に有効です。

  • その他FA機器
  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • その他検査機器・装置

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10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのステージ

■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • その他検査機器・装置

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サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~400mmストロークのステージ

■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm(0.1μm)か50nm(0.05μm)分解能で動作します。 ■長ストローク 最大400mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • その他検査機器・装置

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10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ!

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ

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真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。

  • その他FA機器
  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • その他検査機器・装置

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10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ!

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-514との組み合わせ

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