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小型ながら最大駆動電流10Aを実現！1chデジタルペルチェコントローラドライバ
『TDU-5000A(R/G)シリーズ』はDINサイズの 1ch デジタルペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDIN サイズボディーに温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○DIN サイズ（96mm 角）のボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
タテ、ヨコ400μmエリアの位置決をフル微動制御で実現！
400マイクロメートル×400マクロメートルのエリアが フル微動制御でスムーズな位置決めを実現した『ナノXYステージ』のご案内です。 【特長】 ・ナノ単位の位置決め精度 ・高速応答 ・高真空中で作動可能 ・省電力 ・振動ノイズが無いスムーズな動き ・コンパクト ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現
メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現しました。 ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。 【特徴】 ○位置決め角度が自由自在に設定できる ○アリ溝式ステージと組み合せれば、 直進摺動にあおり旋回機能が付加され、さまざまな態勢の位置決めが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
精密鋼球を専用レールに組合せた低摩擦で高精度な有限タイプの直動システム！
ボールガイド VB形は、精密鋼球を短いピッチ間隔で保持したボールケージB形を、専用レールV形に設けられた90°V溝転動面に組合せて使用します。低摩擦で高精度な有限タイプの直動システムです。 詳しくはお問い合わせください。
隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
一目で移動量が分かる！回転して使用出来るステージ
ＭＸＹ－１は簡易型ＸＹ手動ステージです、フラット面のステージにＸＹ方向に目盛を付けましたので、移動量が一目で分かるＸＹステージです。 商品を簡易に固定ができるフックを左右に付けましたので、ステージが移動しても商品固定が可能です。又、フックも取り外し可能の為、大きな商品の場合は取ってご使用いただけます。 【特徴】 ○Ｘ・Ｙ軸の移動が一方向から手動で動かせる ○移動量はＸ軸が７０ｍｍ・Ｙ軸が５０ｍｍ移動可能 ○送りネジ精度はＸ・Ｙ軸共に０.１mmの精度 ○取付は丸型リングでφ９４.５・ｔ=８mmの丸型底板が設けてある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
繰り返し位置決め精度±0.5μm！動作時の真直性に優れ、柔軟なカスタムに対応
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、 納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことができます。 当社で取り付けての納入も対応しております。 【特長】 ■真直度の高い再現性 ■特殊測定による信頼性向上 ■配線作業の利便性向上 ■柔軟なカスタム対応 ■様々な特殊測定を承っている ・測定器はロータリーエンコーダ、オートコリメータ等、多数取り揃え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現！
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で 使用用途が広がります。 テーブル面は70mm×70mm、案内方式は精密クロスローラガイドと なっております。 【ST07A-S1W 仕様（一部）】 ■センター穴：φ18mm（最小有効透過穴径φ13mm） ■ワークディスタンス：70mm ■回転中心変位量：φ0.05mm/±3° ■水平耐荷重：49N（5kgf） ■モーメント荷重：0.71arcsec/N・cm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。 300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。 より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。 120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
電気回路技術などのことなら当社におまかせ
『LILL』は、電気回路内の電磁波を 制御する技術のひとつです。 電磁波を反射する働きを持ち、主に回路の高速化と 電源側の電磁ノイズ抑制などに寄与します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニットの組合わせを採用
当社では『超高精度LMガイドステージ』を取り扱っております。 超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニット の組合わせを採用。 これまでの転がり案内方式では実現できなかった運動再現性、速度安定性、 停止安定性を大幅に向上しました。 【特長】 ■運動再現性を大幅に向上 ■速度安定性を大幅に向上 ■停止安定性を大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ステージ構造・ご要望に合わせた最適な型式の選定、及び専用設計での対応も可能
当社では『1軸エアスライダーステージ』を取り扱っております。 低速安定性に優れたシャフト型リニアモータと、剛性・荷重・空気流量の 確実な制御が可能なエアベアリングを採用。 安定性の高い動作・位置決めを実現しています。 ステージ構造・ご要望に合わせた型式の選定、及び専用設計での対応も可能です。 【特長】 ■低速安定性に優れたシャフト型リニアモータ ■剛性・荷重・空気流量の確実な制御が可能なエアベアリングを採用 ■安定性の高い動作・位置決めを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
