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高価で導入が難しかった工程にも低額な投資で、顕微鏡高温観察が可能に！
「PN-131型」は最高温度400℃ 対応のガラスチャンバー窒素ガス封入式ホットプレートです。 ガラス面と、ホットプレート面の距離が3.5mmと高倍率での顕微鏡観察に対応します。 ヒータには、セラミックヒータを採用しておりますので、高速昇温が可能です。また、シンプルな構成により、安価な価格で提供いたします。 各種コントローラーとの組合せが可能です。 ・PCC-100E（標準） ・PCC100FL（流量計付き）、 ・PCC-107（温度プログラムタイプ） ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品
「SXY150」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm(±50mm) ○ハンドル駆動ピッチ 2mm/1回転 ○プレートサイズ □150 ○ステージ高さ 73mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
性能劣化のない状態で長期間の使用が可能。高負荷ピエゾスタックアクチュエータ
PICA(TM) Thruアクチュエータは、積層型ピエゾリニアアクチュエータです。高い変位を特長としています。豊富な設計バリエーションも用意しておりますので、ぜひカタログから用途・特注対応についてご覧ください。 【特徴】 ・高い信頼性 ・多様な形状を用意 ・サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ・真空および非磁性対応バージョンを用意
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
MEMS・光学検査向け。ナノ位置補正により測定時の微細ズレを低減し検査品質を安定化
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
摩擦レス駆動により、高速エリアスキャン時の測定品質を維持
PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ／APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30～ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース：USB・SPI・RS-232、0～＋10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
AOI・レーザー検査向け。20ms以下の高速応答でビーム位置ズレをリアルタイム補正
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
40nm分解能と±0.1µm再現性により、光位置合わせや品質保証試験の精度向上に貢献
6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。 大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。 また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。 本体寸法：φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ（BLDC）と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。 真空対応（10^-6hPa）バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。 【特長】 ■最小ヘキサポッド(真空オプションあり) ■トラベルレンジ：34mm／42° ■耐荷重：5kg ■アクチュエーター分解能：40nm ■最小インクリメンタルモーション：0.2μm ■再現性：±0.1μm ■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む ■ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
真直度±50nmと500mm/s高速搬送により、X線CTや半導体検査の位置誤差を低減
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
真直度±0.05µmと390mm/s高速動作により、半導体・光学検査工程の位置誤差を低減
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
保持力800Nと5nm分解能により、半導体検査やナノリソグラフィ工程の位置ズレを抑制
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
250kg対応と±0.2µm再現性により、大型光学系や試験設備の高精度6軸補正を実現
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
±0.05µm再現性と50nm微動制御により、光学組立工程の位置ズレと歩留まり低下を抑制
24時間・365日稼働を前提に設計された、堅牢かつ高精度な産業用途向けのヘキサポッド。 コンパクトな設計でありながら高い耐久性を備え、厳しい環境下でも信頼性の高い位置決めを実現します。
オートチューニング機能を搭載！電流制御でペルチェ素子を駆動するドライバ
『TDC-1000Aシリーズ』は好評の1chデジタルペルチェコントローラドライバTDC-1100,1200の後継機です。 新機能を搭載し、新たにラインナップに加わりました。 またTDC-1000Aは温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部が一体となっており、さらにパソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○制御用センサーとしてPt100測温抵抗体または サーミスタのどちらでも使用可 ○最大駆動電流を12Aまで拡大 ○温度補正機能を搭載 ○温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部を一体化 ○温度制御の制御安定度は±0.03℃と高精度 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
AC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御！ペルチェ素子用の１chデ ジタルコントローラ
『TDC-1600シリーズ』は、温度変換部・PID制御部・バイポーラ高効率 定電流駆動部が一体となっており、AC電源を供給するだけでペルチェ素子 の温度制御が実現するコントローラドライバです。 大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現しました。 大容量ペルチェ素子用の１chデジタルコントローラ（300W/600Ｗ/900W タイプ）です。 パソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用で高精度 ・ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用し、小型・高効率 で高精度 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発されており制御サイクル が10 回/秒と高速 ○汎用性 ・表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高度制御を実現！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ
『TDC-2000/4000Rシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTD-2000/4000誌リーズを基に、より高精度な1/100℃の制御を実現しました。 さらに、使いやすいインターフェースに加え、オーバーシュート抑制制御機能と温度勾配制御機能を搭載しました。 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により1/100℃ の高精度温度制御を実現 ○多機能 ・煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング機能を 標準装備、また異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コンパクトなボディーサイズ！最大１5０W までのペルチェ素子を駆動
『TDM-5000A(R/G)シリーズ』は高性能、且つ小型化を目指した基板型の1ch デジタルペルチェコントローラです。 コンパクトなボディーサイズに温度変換部・PID 制御部・パイポーラ定電流駆動部を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
三脚ネジで取り付け可能な顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージ
顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージです。 横・奥行・上下に±15mm（or 20mm）移動させることができます。 標準的な取り付け規格のないサーモグラフィでは各カメラのマウントに合わせてステージやマウントを購入しなければなりません。 しかし三脚ネジ（1/4"）のタップが切ってあるカメラなら、本機を用いることですぐにお使いになれます。
半導体製造検査装置、化学分析機器や医療機器などで高い実績を誇る高精度精密位置決めステージシステムの紹介。
シュネーベルガーの高度なエンジニアリングノウハウにより、お客様固有の用途やご要求に合わせた位置決めステージを自社で製造、供給しています。ヨーロッパで30年以上にわたり、世界の様々な分野のお客様へ個別仕様に合わせた高精度位置決めステージを供給し続けています。直動案内技術を熟知したシュネーベルガーが位置決め運動機構の設計開発に携わることで、お客様の装置として最高の性能を発揮させることができます。また、お客様は技術リソースをより有効にお客様の必要とする部分に充てることができ、より効率的な業務を可能とします。位置決めステージは直動だけでなく、回転機構なども含め、全てお客様の個別仕様に合わせた位置決めステージを供給しています。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
精密かつ高剛性の「ミリオンガイド 」を採用したZ軸ステージ・FA用ガイドです。
フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイドです。 ニードルローラを使用したミリオンガイドの採用により、突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現しています。
