ナノXYステージ
タテ、ヨコ400μmエリアの位置決をフル微動制御で実現！
400マイクロメートル×400マクロメートルのエリアが フル微動制御でスムーズな位置決めを実現した『ナノXYステージ』のご案内です。 【特長】 ・ナノ単位の位置決め精度 ・高速応答 ・高真空中で作動可能 ・省電力 ・振動ノイズが無いスムーズな動き ・コンパクト ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アクトラス
- 価格：応相談
XYステージ - メーカー・企業43社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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XYステージのメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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- ピーアイ・ジャパン株式会社 神奈川県/電子部品・半導体
- シグマ光機株式会社 東京都/試験・分析・測定
- 株式会社MSAファクトリー 東京都/産業用電気機器
- 4 高橋レーザー計測 長野県/サービス業
- 5 株式会社セルシステム 神奈川県/産業用電気機器
XYステージの製品ランキング
更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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- 工作機械全般の位置決め精度検査 高橋レーザー計測
- 高速・コンパクト・高精度 小型ヘキサポッド H-811.I2 ピーアイ・ジャパン株式会社
- ピーアイ・ジャパン株式会社 6軸ステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
- 超音波ピエゾモーター搭載 コンパクトXYステージ U-723 ピーアイ・ジャパン株式会社
- 4 リニアモーター搭載 高剛性・高精度XYステージ V-731 ピーアイ・ジャパン株式会社
XYステージの製品一覧
61～90 件を表示 ／ 全 193 件
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移動動作確認治具 あおり旋回ステージ RC-60
メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現
メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現しました。 ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。 【特徴】 ○位置決め角度が自由自在に設定できる ○アリ溝式ステージと組み合せれば、 直進摺動にあおり旋回機能が付加され、さまざまな態勢の位置決めが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社ミラック光学
- 価格：応相談
高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
- 企業：株式会社ジイエムシーヒルストン
- 価格：応相談
角度調整機構付き Ｚ軸ステージ
隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
- 企業：ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
- 価格：応相談
XＹθステージ NAF3シリーズ
電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
- 企業：ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
- 価格：応相談
手動XYステージ 「MXY-1」
一目で移動量が分かる！回転して使用出来るステージ
ＭＸＹ－１は簡易型ＸＹ手動ステージです、フラット面のステージにＸＹ方向に目盛を付けましたので、移動量が一目で分かるＸＹステージです。 商品を簡易に固定ができるフックを左右に付けましたので、ステージが移動しても商品固定が可能です。又、フックも取り外し可能の為、大きな商品の場合は取ってご使用いただけます。 【特徴】 ○Ｘ・Ｙ軸の移動が一方向から手動で動かせる ○移動量はＸ軸が７０ｍｍ・Ｙ軸が５０ｍｍ移動可能 ○送りネジ精度はＸ・Ｙ軸共に０.１mmの精度 ○取付は丸型リングでφ９４.５・ｔ=８mmの丸型底板が設けてある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社スターマイクロ 本社
- 価格：応相談
高精度ロングストローク『XYステージ』
繰り返し位置決め精度±0.5μm！動作時の真直性に優れ、柔軟なカスタムに対応
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、 納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことができます。 当社で取り付けての納入も対応しております。 【特長】 ■真直度の高い再現性 ■特殊測定による信頼性向上 ■配線作業の利便性向上 ■柔軟なカスタム対応 ■様々な特殊測定を承っている ・測定器はロータリーエンコーダ、オートコリメータ等、多数取り揃え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：神津精機株式会社
- 価格：応相談
ST07A-S1W/YMO7A-SIW
薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現！
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で 使用用途が広がります。 テーブル面は70mm×70mm、案内方式は精密クロスローラガイドと なっております。 【ST07A-S1W 仕様（一部）】 ■センター穴：φ18mm（最小有効透過穴径φ13mm） ■ワークディスタンス：70mm ■回転中心変位量：φ0.05mm/±3° ■水平耐荷重：49N（5kgf） ■モーメント荷重：0.71arcsec/N・cm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：神津精機株式会社
- 価格：応相談
ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』
300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。 300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。 より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。 120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
- 企業：プライアー・サイエンティフィック株式会社
- 価格：応相談
電気回路内電磁波制御技術ソリューション『LILL』
電気回路技術などのことなら当社におまかせ
『LILL』は、電気回路内の電磁波を 制御する技術のひとつです。 電磁波を反射する働きを持ち、主に回路の高速化と 電源側の電磁ノイズ抑制などに寄与します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイキャスト
- 価格：応相談
精密XYステージ
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社モーショントラスト
- 価格：応相談
超高精度LMガイドステージ
超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニットの組合わせを採用
当社では『超高精度LMガイドステージ』を取り扱っております。 超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニット の組合わせを採用。 これまでの転がり案内方式では実現できなかった運動再現性、速度安定性、 停止安定性を大幅に向上しました。 【特長】 ■運動再現性を大幅に向上 ■速度安定性を大幅に向上 ■停止安定性を大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社モーショントラスト
- 価格：応相談
1軸エアスライダーステージ
ステージ構造・ご要望に合わせた最適な型式の選定、及び専用設計での対応も可能
当社では『1軸エアスライダーステージ』を取り扱っております。 低速安定性に優れたシャフト型リニアモータと、剛性・荷重・空気流量の 確実な制御が可能なエアベアリングを採用。 安定性の高い動作・位置決めを実現しています。 ステージ構造・ご要望に合わせた型式の選定、及び専用設計での対応も可能です。 【特長】 ■低速安定性に優れたシャフト型リニアモータ ■剛性・荷重・空気流量の確実な制御が可能なエアベアリングを採用 ■安定性の高い動作・位置決めを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社モーショントラスト
- 価格：応相談
高精度ステッピングモータ XY軸ステージ『PTシリーズ』
顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸ステージ
『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
- 企業：コムス株式会社 神奈川営業所
- 価格：応相談
精密薄型アライメントステージ 自動 一体型XYθステージ
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
- 企業：株式会社カナデン 本社
- 価格：応相談
ヘルツ株式会社
防振・除振・免振・防音のヘルツ株式会社
ヘルツ株式会社は昭和54年（1979年）12月、4個の軟式テニスボールから当社のすべてのパッシブ型空気ばね式防振台の原型となった、卓上型空気ばね式防振台を誕生させました。 21世紀の測定環境に対応する防振や防音の技術開発を絶え間なく続け、科学技術の発展に貢献し続けています。
- 企業：NPO諏訪圏ものづくり推進機構
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY
【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-111又はFC-411との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY
【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロークは『40mm』となっています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY
【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となっています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
微小回転用フィードバックステージ FS-1120θ
【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィードバック微少回転用位置決めステージ！
光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。 最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY
【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位置決めステージ
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY
【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY
【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）
ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。
フィードバックステージ（位置決め）の選び方
光学式リニアスケール！ナノメートル分解能で位置決めをするシステム
フィードバックとはクローズドループ制御により、リニアスケールからの位置情報を監視し、位置決めの再現性を上げるシステムのことをいいます。 リニアスケールとステージ、及びコントローラによってフィードバックステージシステムが構成されています。 選定ガイドでは、お客様の仕様に合わせて、「動作タイプ」「分解能」「ストローク」の3つのポイントでのステージ選定方法をご紹介しております。 【フィードバックステージコントローラの特徴】 ○フルクローズドループ制御 ○モータードライバ内蔵 ○各種エラー検出機能 ○通信はRS-232C規格/ GPIB 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
