Ｚ軸ステージ
ＺＡ－３００Ｌは、垂直テーブル面を縦方向に移動する大型ステージです。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて移動させる粗動型ステージです。移動量は２２３ｍｍとなります。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学定盤へ接続が可能です。テーブル面にはポール・アングル部品の接続が可能です。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：1万円 ~ 10万円
XYステージ - メーカー・企業42社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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XYステージのメーカー・企業ランキング
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- PIジャパン株式会社 神奈川県/電子部品・半導体
- シグマ光機株式会社 東京都/試験・分析・測定
- 株式会社MSAファクトリー 東京都/産業用電気機器
- 4 株式会社セルシステム 神奈川県/産業用電気機器
- 5 神津精機株式会社 神奈川県/光学機器
XYステージの製品ランキング
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- 三次元計測の測定品質を維持するヘキサポッド PIジャパン株式会社
- 総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空） シグマ光機株式会社
- 自動ステージ 水平面Z軸リニアボールガイド：KHEシリーズ 駿河精機株式会社
- 4 シグマテック株式会社 会社案内 シグマ光機株式会社
- 4 超薄型精密XYステージ『CYAT-070』 神津精機株式会社
XYステージの製品一覧
31～60 件を表示 ／ 全 187 件
表示件数
大型Ｚ軸ステージ
ＺＡ－５００Ｌは、垂直テーブル面をｚ軸方向に移動可能な大型ステージです。ロングストローク４２３ｍｍの移動が可能です。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて使用します。構造はシンプルでストローク４２３ｍｍを素早く移動可能なＺ軸ステージです。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学常盤への接続が可能です。ストローク変更などの改良にも対応しておりますので、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：1万円 ~ 10万円
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
- 企業：株式会社ファインシス
- 価格：応相談
工作機械全般の位置決め精度検査
海外メーカーも含め、工作機械全般の位置決め精度検査を承っております
・ヒューレットパッカード株式会社製５５３０Ａレーザー測長システムを用いて超高精度な位置決め精度検査を行います。 ・レニショー株式会社製のＤＢＢを用いて、機械の円運動精度検査と診断を行います。 ・工作機械メーカ及び、名称に限定されない幅広い検査を行います。海外メーカーも行います。 ・ＮＣ制御機器メーカーに限定されない検査を行います。 ・精度検査のみでなく、各種パラメータ補正を行い、高精度に改善します。 ・顧客要求に対応した、柔軟な精度検査を行います。
- 企業：高橋レーザー計測
- 価格：応相談
大型ガントリータイプXYステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ファインディバイス
- 価格：応相談
カスタム手動XYZステージ
カスタム手動XYZステージ
☆カスタマイズ可能な手動XYZステージ ・ストローク 50〜300程度 ・ステージサイズ □50〜□300程度 ・ステージ材質 アルミニウム、SUS、SS ・ステージ表面処理 アルマイト、Niめっき等 ・耐加重 5〜30Kgf ・ステージへの追加加工 ねじ穴、孔、その他メカインターフェース ☆電動駆動対応についても承ります。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
小型ヒートステージ PH131
サイズ、天板など、カスタマイズ可能！ カバー付きも人気です。
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
ステージ関連製品 カスタム手動XYステージ SXY3０0型
台形ネジ・リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージです。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です！
カスタマイズ可能な手動XYステージSXY-250、300で、SXY100-200の300mmサイズ版です。 台形ネジ・リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージで、治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能です。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です。 カスタム対応品 1個のご注文でも低価格でご奉仕いたします。また、電動駆動対応についても承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
カスタムXYZステージ SXYZ-300
BESTなステージを製作いたします！
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
カスタム手動XYステージ 「SXY100」
研究・開発・評価工程の装置への組み込み品として、装置メーカ様OEM対応品
「SXY100」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm(±50mm) ○ハンドル駆動ピッチ 2mm/1回転 ○プレートサイズ □100 ○ステージ高さ 73mm ○耐荷重 5kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
カスタムステージ 総合カタログ
アプリケーションにあわせた特殊ステージ！
カスタムステージ 総合カタログでは、手動カスタムXYステージ「SXY200H」、角度傾斜ステージ「AG40」、カスタム自動XYステージ「TXY200型」、超薄型予熱ステージ「PB100」など、多数の製品を掲載しております。 【掲載内容】 ○カスタム手動XYステージ ○角度傾斜ステージ ○カスタム自動XYステージ ○特殊ステージ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
カスタム手動XYステージ 「SXY150FL」
天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品
「SXY150FL」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 フリー機能付：ロック解除するとステージがフリーになり、天板が手で動かせます。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm(±50mm) ○ハンドル駆動ピッチ 2mm/1回転 ○プレートサイズ □150 ○ステージ高さ 73mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
ファイメス社 アパチャー付き ＸＹステージ
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：翔栄システム株式会社
- 価格：応相談
小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
0.1nm分解能ピエゾステージ｜長距離位置決めの再現性を保つX軸
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
多軸ピエゾスキャナー｜大開口でも微細走査再現性を維持
66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 センター開口部は、66×66mm。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
スキャン品質を維持する高精度XYステージ
1nm分解能と0.025µm再現性により、レーザー加工や計測工程の位置ズレを抑制
L-731は、高い移動精度と安定性を実現した高精度XYステージです。205 mm × 205 mmの広い移動範囲に対応し、レーザー加工や計測、バイオテクノロジー分野など幅広い用途で高精度な位置決めを実現します。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上で直接位置を測定し、バックラッシュや機械誤差の影響を受けない高精度制御が可能です。さらに、一方向再現性・最大0.025 µmにより、信頼性の高いプロセスを実現します。 クロスローラーガイドを採用することで、高剛性・低摩擦・滑らかな動作を実現。安定した位置決めと長時間運用においても優れたパフォーマンスを発揮します。駆動方式は、低速高トルクに優れるステッピングモーターと、高速・低振動のDCモーターから選択可能。用途に応じた最適なシステム構築ができます。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
事例紹介：ALMA望遠鏡の副反射鏡の背面へのヘキサポッド活用
ALMA天文台の50基のアンテナに採用！低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合
ピーアイ・ジャパン株式会社が取り扱う製品を応用した事例をご紹介します。 ALMA天文台の50基のアンテナは、当社の「高精度ヘキサポッド」を使用。 アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に位置合わせするため採用されました。 低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合。数ミリメートルまで高い精度で副反射鏡の位置を調節できます。 【事例】 ＜ALMA望遠鏡配列用50のヘキサポッドシステム＞ ■高精度精度ヘキサポッドを使用 ■アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に位置合わせするため採用 ■サブミクロン秒角の分解能で位置決めが可能 ■過酷な環境条件に適合し、高剛性で頑丈なジョイントをALMA向けヘキサポッド用に開発 ※詳しくは公式サイトの製品ページから、詳細をご確認ください
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
焦点品質を維持するチップ/チルト対応エアベアリングステージ
Z軸±2.5mmと非接触チルト制御により、ウェーハ検査や光学調整時の焦点ズレを低減
PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています！ パラレルキネマティック方式設計による 「A-523型：エアベアリング Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。 薄型設計で3軸の超高精度位置決めを実現 摩擦のないモーションプラットフォーム 最高の性能、品質、寿命を提供 【特徴】 ・トラベルレンジ： Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1° ・耐荷重：8 kg ・プラットフォーム：直径 250 mm ・高さ：60 mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
多光子顕微鏡・半導体検査向け。深部観察時も安定した焦点精度を維持
V-308はボイスコイル直動とクロスローラーガイドを組み合わせたZ軸フォーカスステージです。 最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化できます。 大口径レンズや長作動距離レンズを使用する多光子・深部組織イメージングで高い信頼性を提供します。 クロスローラーガイドの高剛性構造と10 nm分解能エンコーダが、7 mm全域で滑らかなナノポジショニングを保証。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
XYステージ（AOI検査／±1µm位置決め）高精度スキャン向け
自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501
使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能
E-500/E-501は、1～3チャネル構成のピエゾシステムに対応するカスタム設計可能なコントローラです。 高電圧アンプ（最大1100V）や、多チャネル対応の静電容量・SGSセンサー制御モジュールを選択可能で、幅広いPI製品と互換性があります。 各種モジュールを組み合わせて構成され、制御精度・応答性を高めると同時に、装置組込みの柔軟性も確保。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
1ch ピエゾサーボコントローラ＆ドライバー E-625
24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能
E-625は、低電圧ピエゾアクチュエータ用に設計された高性能なサーボコントローラです。 最大12台まで並列ネットワークが可能で、多軸制御システムにも柔軟に対応。 24ビットの高分解能A/Dと20ビットD/Aコンバータにより、高精度な位置検出と滑らかな動作を実現します。 センサーは静電容量または歪みゲージ（SGS）から選択可能。 PI独自のGCSコマンド体系、LabVIEW・DLL対応ソフトウェア、波形メモリ機能も備え、装置開発や実験用途に最適です。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
顕微鏡用XYステージ｜長時間観察で位置再現性を維持するピエゾ駆動
10nm分解能と自己保持機構により、ライブセル・共焦点観察時の画像位置ズレを低減
U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
光学アライメント品質を維持する小型ヘキサポッド
±0.06µmの高再現性により、光ファイバーやフォトニクス部品の6自由度調整を安定化
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
高荷重でもアライメント品質を維持するヘキサポッド
30kg対応と±0.1µm再現性により、半導体製造や光学調整工程の位置ズレを低減
H-825は、±0.1µmのZ軸再現性と高剛性設計により、半導体製造や光学調整分野における精密動作に対応します。 耐荷重は最大30kg、ブラシレスDCギアモータ駆動・アブソリュートロータリーエンコーダにより初期化動作不要で即座に稼働可能。 安定した高精度位置決めと姿勢制御を実現します。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
ヘキサポッドシステム用コントローラ C-887.52X
PIヘキサポッド専用で、標準ソフトで直感的操作が容易
C-887.52Xは、ヘキサポッド制御に最適化された32bit PIDコントローラを内蔵し、1つのコマンドで6自由度の位置決めが可能。 EtherCAT・USB・RS-232などの多様な通信に対応し、アナログ／デジタルI/O、BNC端子も装備。 LabVIEWやWindows DLL、Linux用ドライバも提供され、開発環境に応じた柔軟な制御が可能。 リファレンススイッチやストール検知機能も備え、安全性にも配慮されています。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
ペルチェコントローラドライバ TDC-2000・4000シリーズ
温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体！高精度なコントローラ
『TDC-2000/4000 シリーズ』は、ペルチェ素子用の2/4ch デジタル温度 コントローラで、温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体となったコントローラドライバです。 また、パソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆる システムに対応することができます。 ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用していますので高効率で 高精度です。 【特徴】 ○小型・高精度・ローコスト ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用し高精度 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発 ・制御サイクルが5 回/秒と高速 ○汎用性 ・新駆動回路の採用により5～24V と広範囲なペルチェ電圧に対応 ・パソコンとのインターフェースを利用し種々の温調システムが構築可能 ○温度センサの選択 ・パネルキーにてP t 1 0 0 , サーミスタが選択可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社フェローテックホールディングス
- 価格：応相談
ペルチェコントローラドライバTDC-2000・4000Gシリーズ
高精度な制御！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ
『TDC-2000/4000Gシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTDC-2000/4000Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのTDCシリーズはペルチェの数（2CH、4CH）、電源電圧(10V、15V、24V)によって6機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、お使いいただけます。 また、通信機能として、RS232C を標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・5/10000℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、 2/1000℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ○多機能 ・PID定数設定を省くためのオートチューニング機能を 標準装備、異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・白金測温抵抗体とサーミスタが使え、メーカーのデータ により校正が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社フェローテックホールディングス
- 価格：応相談
ペルチェコントローラドライバTDU-5000A(R/G)シリーズ
小型ながら最大駆動電流10Aを実現！1chデジタルペルチェコントローラドライバ
『TDU-5000A(R/G)シリーズ』はDINサイズの 1ch デジタルペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDIN サイズボディーに温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○DIN サイズ（96mm 角）のボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社フェローテックホールディングス
- 価格：応相談
