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【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-1020UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-1040UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能 詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。 □ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□
超薄型・高耐荷重・低価格！マグネットの吸着力を利用した新しい製品。
超薄型VBステージはRoHS適合品です。従来の製品から発想を大きく変え、スマートフォン並の薄さでありながら、高耐荷重・低価格を実現。六角レンチなしでも使用可能な手動ハンドルも特別仕様で準備予定。本製品にはマグネットを使用しております。加工はフライス仕上げです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。
位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。
特注システム製品 「フィルム基板張合せ装置」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
特注システム製品 「偏光板を利用した輝度計測・評価装置」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。
特注システム製品 「リニアスケール付き顕微鏡」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。
特注システム製品 「微小部品組立装置」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。
特注システム製品 「干渉系露光装置」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。
特注品やカスタム製品を弊社好みに設計製作させて頂きます。
御社のニーズに合わせて総合的にプロデュースします。 こんなご要望にお応えします！ ▶機械設計、光学設計、画像処理、ソフトを全て一括で頼みたい。 ▶特注検査装置や特注位置決め装置を制作したい。 ▶今まで手動で作業していた物を自動化したい。 ▶ロングストロークタイプの自動ステージが欲しい。 ▶ナノ単位で位置決め装置を制作したい。 ▶アフターフォローやメンテナンスも対応出来る会社が良い。 ▶クリーンルームで使する高精度な防振台や特注の除振台が欲しい。 ▶シーケンサーで制御したい。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します
工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。 この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。 これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。 このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■半導体産業向け4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。
ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1640/1660シリーズ
大容量ペルチェ素子用の 1chデジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ） 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
1/100℃制御精度 ペルチェコントローラドライバ TDC-2000/4000Rシリーズ
高精度な±1/100℃の制御安定度を実現した ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の 微小電流制御回路により、1/100℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ・通常のPID 制御の他にオーバーシュートを 0.1℃に抑えられる抑制制御機能、温度変化率を一定に制御する 温度勾配制御機能を搭載しました ○多機能 ・煩わしいPID定数設定を省くためのオートチューニング機能を標準装備 異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使用可能 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション
『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、 能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を 減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パネル形状の透明ガラスヒーターをユニット化
・透明なまま発熱するパネル形状のガラスヒーターをホルダに組み込み、各種サイズにてユニット化しました。 ・温度制御装置が付属しているので、届いたその日から直ぐに使えます。 ・部品ごとに在庫していますので短納期で対応します。特注にも対応可能です。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能です。MSA一番人気の製品です！！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能な手動XYステージです。
カスタム手動XYステージ「SXY100型」は、台形ネジ、リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージです。治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です。1個のご注文でも低価格（100mmストロークで8.5万円）。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
自社の生産、検査、試験工程の自動化を安価に実現いたします
カスタム自動XYステージ「TXY200型」は、簡易カスタム自動XYステージ です。周辺機構（ステージ部、機器取付け部など）、ソフトウェア、ストローク、耐荷重などもカスタマイズ可能です。生産、試験工程の自動化に最適です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
