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XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
三脚ネジで取り付け可能な顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージ
顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージです。 横・奥行・上下に±15mm（or 20mm）移動させることができます。 標準的な取り付け規格のないサーモグラフィでは各カメラのマウントに合わせてステージやマウントを購入しなければなりません。 しかし三脚ネジ（1/4"）のタップが切ってあるカメラなら、本機を用いることですぐにお使いになれます。
半導体製造検査装置、化学分析機器や医療機器などで高い実績を誇る高精度精密位置決めステージシステムの紹介。
シュネーベルガーの高度なエンジニアリングノウハウにより、お客様固有の用途やご要求に合わせた位置決めステージを自社で製造、供給しています。ヨーロッパで30年以上にわたり、世界の様々な分野のお客様へ個別仕様に合わせた高精度位置決めステージを供給し続けています。直動案内技術を熟知したシュネーベルガーが位置決め運動機構の設計開発に携わることで、お客様の装置として最高の性能を発揮させることができます。また、お客様は技術リソースをより有効にお客様の必要とする部分に充てることができ、より効率的な業務を可能とします。位置決めステージは直動だけでなく、回転機構なども含め、全てお客様の個別仕様に合わせた位置決めステージを供給しています。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
精密かつ高剛性の「ミリオンガイド 」を採用したZ軸ステージ・FA用ガイドです。
フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイドです。 ニードルローラを使用したミリオンガイドの採用により、突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現しています。
軽くて丈夫！設営・収納に工具が一切不要、組み立ても設営も簡単
当社で取り扱う「折りたたみ式アルミ製 標準ステージ」を ご紹介いたします。 脚部9台、天板15枚の「ステージAセット」をはじめ、3本脚脚部 3台、天板18枚の「ステージBセット」や、脚部16台、天板28枚の 「ステージCセット」などをラインアップ。 設営・収納に工具が一切不要で、組み立ても設営も簡単です。 お客様のご要望、サイズに合わせたオーダーメイドで製作できます。 【ラインアップ】 ■折りたたみ式アルミ製 ステージAセット ■折りたたみ式アルミ製 ステージBセット ■折りたたみ式アルミ製 ステージCセット ■折りたたみ式アルミ製 ステージDセット ■折りたたみ式アルミ製 ステージEセット ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
産学連携で実現！ステッピングモーターを用いた高精度なX-Yステージ製作
✅ご依頼内容 茨城大学様から外国製のポイントカウンター（X方向のみに稼働）の修理のご依頼をいただいたことをきっかけに、Ｘ-Ｙ方向に移動するステージを作成しました。 ✅工夫ポイント ステッピングモーターを使用することで、22mm×22ｍｍの試料可動範囲で0.1ｍｍ刻みのステップを可能としました。 また、顕微鏡観察研究において、気泡や砕屑粒子などの量比を高精度に計測するためのシステムとして、パソコンと連動したポイントカウンタープログラムを一緒に開発しました。これにより、作業の手を止めることなく、研究ができるようになりました。 ✅成果 ・高精度な位置決め ステッピングモーターにより、センサーを使用せずに高精度な位置決めが可能 ・薄型設計 偏光顕微鏡の回転ステージに装着しても操作を妨げない薄型設計
ムービングコイル型のアクチュエータについて詳しく解説！
新電元メカトロニクスではお客様とのよりよいコミュニケーション作りを 目的に『めかとろ通信』を発行しております。 第18号では、VCM（ムービングコイル型）の製品をご紹介。 アクチュエータの特長、ソレノイドやモータと比較しながら解説します。 【掲載内容】 ■原理・ソレノイドとの比較 ■駆動について ■駆動回路について ■応用例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット
自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。 ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。 検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応（スペーサ別途）します。 検出器の上下の微調範囲は25ｍｍとなります。
エアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介 標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。
10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～400mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ■長ストローク 最大400mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm分解能で位置決め 可動範囲最大100mm
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-414またはFC-114との組み合わせ
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置決めステージ！
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ
【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。
【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製作もOK
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。 【真空対応システムの特徴】 創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に 真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。 ※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。 ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。 また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。
速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティック！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○NIKON製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
位置ずれを防ぐ、高精度セルフロックステージ
電子部品製造においては、精密な位置決めが求められます。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 精密部品の検査・測定 - 自動化ラインにおける位置決め - 高精度な加工工程 - 長時間固定が必要な用途 【導入の効果】 - 位置ずれによる製品不良の防止 - 作業効率の向上 - 精密な位置決めによる加工精度の向上 - 検査・測定の精度向上
真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動範囲最大100mm
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-514との組み合わせ
真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
