PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』
高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ!一方向再現性は0.1μmです
『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。 移動範囲は、102 mm×102 mm(4 )。 速度は、500 mm/sです。 リファレンスリミットスイッチは光学式です。 【特長】 ■移動範囲:102 mm×102 mm(4 ) ■150x150mmの大きな開口部 ■一方向再現性:0.1μm ■速度:500 mm/s ■三相リニアモータ ■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格:応相談