スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター
【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:ジャパンクリエイト株式会社
- 価格:応相談
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【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
φ2 ~φ6 基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2 ~φ6 基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!
MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
対象ワーク:2 □~5 □基板又はφ2 ~φ5 基板に適用!
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2 □~5 □基板又はφ2 ~φ5 基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2 □~5 □基板又はφ2 ~φ5 基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です
卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式
『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150~MAXφ450(卓上型/インナーカップ方式)をラインアップしています。 また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。