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スプレー現像装置 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

1~3 件を表示 / 全 3 件

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スピン洗浄装置 スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます

本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

  • その他半導体製造装置

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有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150

装置寸法:560W×850D×1300H

基板をマニュアルでチャックにセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥します。

  • その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!

SD-8004型は、4 ~8 ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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