自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！
SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を実行 ○条件設定は操作パネル上のタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示 【仕様】 ○外形 W1490×D1100×H1650 ○処理枚数：2枚～8枚 ○使用液：現像液、リンス液、純水 ○回転数：0～1200rpm ○回転テーブル：φ530 ○ノズルアーム：2本 ノズル4個×2本 ○回転数表示：デジタル表示 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○付属タンク：現像液タンク、攪拌タンク、リンス液タンク ○操作盤：LCDタッチパネル ○排気：7m³/分 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。