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X、XY、XYZ、θ等、数多く取揃え！モーターに対応するコントローラーも提供
『ピエゾモーターステージ』は、オーテックスが取り扱うNANOS社の製品です。 ナノスインストゥルメンツ社は、ピエゾモーター社のピエゾモーターを 利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。 ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多くの 品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだ クローズドループタイプにも対応しています。 【特長】 ■各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作 ■X、XY、XYZ、θ等、数多くの品数をラインアップ ■オープンループやクローズドループタイプにも対応 ■モーターに対応するコントローラーもご提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■■位置決めステージ相談はHIWINへ■■様々な自動化ニーズに応用できる単軸位置決めリニアモーターステージのラインアップ
HIWINでは多様な位置決めステージをご用意しております。 多様な自動化ニーズに適応する単軸ステージ標準モデルでは、高速・高精度の直接駆動のリニアモーターを採用し、長ストローク用途にも対応します。さらにメタルカバーやダストジャケット、その他オプション部品により防塵ニーズにも対応。水平or垂直のケーブルベア対応で、配線もすっきりします。 すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザの競争力を高めるお手伝いをいたします。 【SAシリーズ】コア付リニアモーター単軸ステージ 【LMCシリーズ】コアレスリニアモーター単軸ステージ 【LMTシリーズ】コアレス円筒型リニアモーター単軸ステージ 【SSA】単軸リニアモーターステージ／コスパモデル ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダーの位置決めが可能です
・小型・高推力ピエゾモーター使用 アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。 ・2nmの最小ステップ 内蔵オプティカルエンコーダで最小2nm刻みでの動作が可能です。セルフロッキングシステムで電源を切ってもポジションを保持します。 ・3軸用コントローラー コンパクトな3軸用クローズドループコントローラーです。USB接続でWindows10から簡単に設定、操作が行えます。 付属の2種類のプログラムはASCIIコマンド制御、ジョイスティックに対応します。
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に！
技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。 位置決め安定性は±2nmで100mm/sでの高速安定性は±0.1%。 低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などに好適。 モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で 培った技術をあますことなく発揮し、これからのものづくりに貢献する高精度ステージです。
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。
