定盤平坦度測定器『ラッピングゲージユニット』
ラッピング定盤の平坦度の管理に！
ラッピング装置での精密加工に欠かすことのできない定盤の平坦度測定器 ・製品ラインナップ ＨＬＧ-8 ＨＬＧ-15 ＨＬＧ-24 ＨＬＧ-36 ラップ定盤のサイズに合わせて多様な製品群がございます。
- 企業：日本エンギス株式会社
- 価格：応相談
平坦度測定器 - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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平坦度測定器『モノクロマチックライト』
オプチカルフラットと併用し、干渉縞を見えやすくするライト
『モノクロマチックライト』は、「オプチカルフラット」と併用する、 ライトです。 長寿命のナトリウムランプを使用し、干渉縞を見えやすくします。 【特長】 ■干渉縞を利用した、平坦度測定器 ■干渉縞を見えやすくするライト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北川グレステック株式会社 本社
- 価格：応相談
平坦度測定器『オプチカルフラット』
光の干渉によって平面度、平行度を測定する、平坦度測定器
ケメット・ジャパンの『オプチカルフラット』は、干渉縞を利用した、 平坦度測定器です。 光の干渉によって平面度、平行度を測定します。 『モノクロマチックライト』を併用することで、 干渉縞が見えやすくなります。 【特長】 ■サイズラインナップが豊富 ■精度の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北川グレステック株式会社 本社
- 価格：応相談
ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』
シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出します
『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、 サイトフラットネス、ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価ができます。 【特長】 ■ベアーウエハー対応 ■多機能 ■Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には高精度なエアーベアリングを採用 ■ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：土井精密ラップ株式会社
- 価格：応相談
