アクトロンでは、簡易・安価、しかも高速で高精度である、平坦度測定装置を開発致しました。スイッチプローブを使用した接触式測定によって、高精度・高速かつ容易に多種類の対象物を測定する事ができます。対象物の表面状態による測定誤差も当社の接触式測定を導入する事で解消しています。測定と合否判定を可能とし、データは自動的に検査シートに登録されます。プローブヘッドにスイッチプローブを導入したことにより高精度の測定を実現させ、お客様から大変好評頂き喜ばれております。従来のレーザ変位センサ（非接触式）測定では、それぞれの測定対象物を一点毎に測定したり、対象物の表面状態・艶等の影響を受けてしまうなど、信頼性に欠ける方法で測定していました。当社の”ハイトロン”は高精度なデータを短時間で取得できる装置です。

企業：有限会社アクトロン
価格：応相談

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平坦度測定器『オプチカルフラット』

光の干渉によって平面度、平行度を測定する、平坦度測定器

ケメット・ジャパンの『オプチカルフラット』は、干渉縞を利用した、平坦度測定器です。光の干渉によって平面度、平行度を測定します。『モノクロマチックライト』を併用することで、干渉縞が見えやすくなります。【特長】 ■サイズラインナップが豊富 ■精度の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：北川グレステック株式会社本社
価格：応相談

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ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出します

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)にはインド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。また、PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、サイトフラットネス、ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価ができます。【特長】 ■ベアーウエハー対応 ■多機能 ■Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には高精度なエアーベアリングを採用 ■ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

企業：土井精密ラップ株式会社
価格：応相談

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