樹脂コーティング(ガスケット) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ウエハキャリア用樹脂コーティング｜傷つき＆パーティクルを防止

【ウエハの歩留まり向上】メタルタッチを排除！PEEK・フッ素樹脂コーティングで、キャリアの微小キズや発塵を防止。

半導体製造プロセスでシリコンウエハを格納・保持・搬送する金属製ウエハキャリア（キャリヤ治具）向けに、PEEKコーティングやフッ素樹脂コーティングあるいはフッ素樹脂×PEEK複合コーティングを施工した技術サンプル・ソリューションです。 ウエハが格納される繊細なスロット（溝）内部から、複雑なフレーム構造の細部に至るまで、均一に被膜を形成します。 【導入による主な解決効果】 ■ ウエハの傷・チッピング防止 金属基材とのメタルタッチを完全に排除。接触ストレスや摩擦を緩和し、ウエハの取り出し・挿入時の微小なカケ（チッピング）や擦り傷を防ぎます。 ■ 耐薬品性＆メタルコンタミ抑制 洗浄工程の酸・アルカリ薬液に強い耐性を発揮。熱環境下でもアウトガスや金属イオンの溶出が極めて少なく、ウエハへの汚染リスクを低減します。 ■ 静電気（ESD）・パーティクル対策 帯電防止グレードを選択可能。摩擦帯電を抑え、静電破壊（ESD）リスクやクリーンルーム内微粒子の吸着トラブルを防ぎます。