樹脂コーティング(爪) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

搬送ハンド・薬液部品の長寿命化！樹脂コーティングで欠落・腐食防止

【脱落リスク・摩耗交換を排除】金属基材へPEEKやフッ素樹脂を一体成膜。チッピング防止や強酸・強アルカリエリアの保護・絶縁に貢献

半導体・精密電子部品の製造ラインにおいて、搬送ハンドの摩耗や保護ゴム・樹脂パーツの劣化・脱落は、クリーンルーム内での致命的なライン停止を引き起こします。また、CMP工程や薬液処理エリアでは、飛散する強酸・強アルカリ液による金属部品の腐食や不純物汚染が課題となります。 当社では、過酷な使用環境に応じフッ素樹脂やPEEK樹脂の被膜を形成する「高機能樹脂コーティング」により、設備部品の長寿命化を実現します。 ●特徴と効果 ・搬送ハンド PEEKコーティングにより、金属接触によるウエハの欠けを防止。貼り付けパーツのような「剥がれ・脱落」リスクを完全にゼロ化します。 ・薬液エリア部品 フッ素樹脂コーティングで基材の腐食を防ぎ、清掃性と絶縁性を付与。 部品の定期交換頻度を減らし、メンテナンスコスト抑制と装置稼働率向上に寄与します。