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搬送ハンド・薬液部品の長寿命化!樹脂コーティングで欠落・腐食防止

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PEEKCOAT

最終更新日:2026年08月18日

日建塗装工業株式会社
日建塗装工業株式会社
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【脱落リスク・摩耗交換を排除】金属基材へPEEKやフッ素樹脂を一体成膜。チッピング防止や強酸・強アルカリエリアの保護・絶縁に貢献

半導体・精密電子部品の製造ラインにおいて、搬送ハンドの摩耗や保護ゴム・樹脂パーツの劣化・脱落は、クリーンルーム内での致命的なライン停止を引き起こします。また、CMP工程や薬液処理エリアでは、飛散する強酸・強アルカリ液による金属部品の腐食や不純物汚染が課題となります。 当社では、過酷な使用環境に応じフッ素樹脂やPEEK樹脂の被膜を形成する「高機能樹脂コーティング」により、設備部品の長寿命化を実現します。 ■特徴と効果 ・搬送ハンド PEEKコーティングにより、金属接触によるウエハの欠けを防止。貼り付けパーツのような「剥がれ・脱落」リスクを完全にゼロ化します。 ・薬液エリア部品 フッ素樹脂コーティングで基材の腐食を防ぎ、清掃性と絶縁性を付与。 部品の定期交換頻度を減らし、メンテナンスコスト抑制と装置稼働率向上に寄与します。

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【半導体関連】搬送ハンドから検査ステージまで|半導体・精密装置の「ワークキズ・金属汚染」を防ぐ機能性コーティング活用術.jpg

搬送ハンド・薬液部品の長寿命化!樹脂コーティングで欠落・腐食防止

【半導体関連】搬送ハンドから検査ステージまで|半導体・精密装置の「ワークキズ・金属汚染」を防ぐ機能性コーティング活用術.jpg
【半導体関連】搬送ハンドから検査ステージまで|半導体・精密装置の「ワークキズ・金属汚染」を防ぐ機能性コーティング活用術.jpg
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基本情報

【適用コーティング種別】 ■ PEEKコーティング 耐摩耗性、高強度、耐熱性、チッピング(欠け)防止 ■ フッ素樹脂コーティング 耐薬品性(耐食性)、非粘着性(清掃性向上)、電気絶縁性 【機能的メリット】 ■ 脱落ゼロ ダイレクト成膜のため、接着プレートやゴムパーツのような剥がれ・落ち落ちが発生しない ■ 耐腐食・防汚 強酸・強アルカリ薬品の飛散による金属劣化を防ぎ、異物発生を抑制 ■ ワーク保護 搬送時の金属接触キズや擦れを保護し、製品の歩留まり向上 【評価体制】 ■ 実用化に向けた評価用サンプル作成・テスト加工(1点〜)に対応

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用途/実績例

【用途・適用事例】 ■搬送ハンド・クラック防止爪 ・ウエハやガラス基板を掴む・載せるエンドエフェクタへPEEK施工。過酷な搬送下でも爪の破損や緩衝パーツの脱落が起こらず、ウエハのチッピング・キズを確実に防止。 ■CMP周り・薬液飛散エリア部品 ・研磨スラリーや薬品にさらされる装置内金属部品へフッ素樹脂施工。液の付着や固着を防ぎ、日常の清掃時間を大幅短縮。腐食による金属コンタミを抑制し部品寿命を延伸。 【ご相談対応】 現行部品の摩耗・腐食トラブルや図面をお手元にご準備のうえ、お気軽にご連絡ください。

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【ふっ素樹脂コーティング】PFAコーティングの特長と用途をわかりやすく紹介

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【PEEKCOAT】PEEKコーティングの特長と用途をわかりやすく紹介 PFASフリーコーティング

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■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく」「滑らない」「すぐ摩耗する」「腐食する」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応! 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域(東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬)から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください! ・今のコーティングに満足していない ・環境規制(PFAS)に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる?」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください!

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