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エッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐プラズマ性・密着性に優れた「イットリア」を提供
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向け、検査用ダミーウエハ向けの他、 エッチング工程向け、CVD工程向けをご用意 ■イットリアは、φ330までの焼結材部品を提供可能。 溶射したときは気孔率1％以下を実現できます ※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧ください。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
エッチング・CVD工程に。高い熱伝導率と耐プラズマ性を提供
半導体製造装置業界では、高温環境下での部品の耐久性が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、高い熱負荷に耐え、かつ異物発生を抑制することが重要です。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、装置の安定稼働に貢献します。 【活用シーン】 ・エッチング工程 ・CVD工程 ・半導体製造装置内部の耐熱部品 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性による部品の長寿命化 ・異物発生の抑制による歩留まり向上
軽量化と高性能化に貢献する特殊セラミック部品
航空宇宙業界では、機体の軽量化が燃費効率の向上や性能向上に不可欠です。同時に、高温環境や過酷な条件下での耐久性も求められます。特殊セラミック部品は、これらの要求に応える可能性を秘めています。窒化アルミは高い熱伝導率を持ち、イットリアは耐プラズマ性に優れており、軽量化と同時に、高い信頼性を実現する可能性があります。 【活用シーン】 ・航空機部品 ・宇宙探査機部品 ・ロケット部品 【導入の効果】 ・軽量化による燃費効率向上 ・高温環境下での耐久性向上 ・部品の長寿命化
高い熱伝導率と耐プラズマ性で、自動車部品の耐久性を向上
自動車業界では、部品の高温環境下での耐久性が求められます。エンジン部品や排気系部品など、熱にさらされる部品の性能維持は、自動車の信頼性を左右する重要な要素です。窒化アルミは高い熱伝導率により、熱を効率的に逃がし、イットリアは耐プラズマ性により、部品の劣化を防ぎます。これらの特性により、当社の特殊セラミック部品は、自動車部品の耐久性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・エンジン部品 ・排気系部品 ・高温環境下で使用される部品 【導入の効果】 ・部品の長寿命化 ・性能維持 ・信頼性向上
計測機器の安定性を向上させる特殊セラミック部品を提供
計測機器業界では、測定結果の信頼性を確保するために、温度変化や外部からの影響を受けにくい安定した環境が求められます。特に、高精度な測定を行う際には、使用される部品の熱膨張や異物混入が測定結果に大きな影響を与える可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、計測機器の安定性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・温度変化の激しい環境下での計測 ・高精度な測定が求められる場面 ・異物混入を避けたい場面 【導入の効果】 ・測定結果の信頼性向上 ・機器の長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
精密ロボットの性能向上に貢献する特殊セラミック部品
精密ロボット業界では、高い精度と耐久性が求められます。特に、過酷な環境下で使用されるロボットにおいては、部品の熱による影響や異物の混入を防ぐことが重要です。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、ロボットの性能維持に貢献します。 【活用シーン】 ・精密機器製造 ・検査装置 ・高精度な位置決めが必要なロボット 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・異物発生の抑制による信頼性向上 ・長寿命化によるメンテナンスコスト削減
耐薬品性に優れたセラミック部品で、分析環境を最適化
環境分析業界では、サンプルの正確な分析を行うために、耐薬品性に優れた材料が求められます。特に、腐食性のある薬品や溶剤を使用する環境においては、部品の劣化や汚染が分析結果に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、高い耐薬品性を有し、分析環境の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・腐食性薬品を使用する分析装置 ・高温環境下での分析 ・高純度な分析結果が求められる場面 【導入の効果】 ・分析結果の信頼性向上 ・装置の長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
エッチング・CVD工程に。高熱伝導率と耐プラズマ性で高精度なFPD製造をサポート
FPD製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、温度管理や異物混入の防止が重要であり、使用される部材の特性が製品の品質を大きく左右します。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、FPD製造における高精度なプロセスを支えます。窒化アルミは、熱伝導性に優れ、温度管理を最適化し、イットリアは、耐プラズマ性により、パーティクルの発生を抑制します。これらの特性により、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・エッチング工程 ・CVD工程 ・検査工程 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性によるパーティクル低減 ・高品質なFPD製造の実現
絶縁性を向上させる特殊セラミック部品。カタログ無料進呈中。
電子部品業界において、絶縁性は製品の信頼性と安全性を確保する上で非常に重要な要素です。特に、高電圧環境や高温環境で使用される電子部品では、絶縁性の高い材料が不可欠です。絶縁性が低いと、漏電や短絡を引き起こし、製品の故障や事故につながる可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、高い絶縁性を実現し、電子部品の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・高電圧回路 ・高温環境下での使用 ・精密電子機器 【導入の効果】 ・絶縁性の向上 ・製品の信頼性向上 ・安全性の確保
生体適合性を考慮したセラミック部品で、医療機器の性能向上をサポート
医療機器業界では、患者さんの安全性を確保するために、生体適合性の高い材料が求められます。特に、インプラントや手術器具など、体内に埋め込まれる可能性のある医療機器においては、生体組織との親和性が重要です。適切な材料選択は、異物反応や感染症のリスクを低減し、患者さんのQOL向上に貢献します。当社の特殊セラミック部品は、高い生体適合性を有し、医療機器の安全性と信頼性を高めることができます。 【活用シーン】 ・インプラント ・手術器具 ・生体計測デバイス 【導入の効果】 ・生体適合性の向上 ・異物反応のリスク低減 ・医療機器の耐久性向上
耐腐食性に優れたセラミック部品で、エネルギー関連設備の長寿命化に貢献
エネルギー業界では、プラントや設備の長期的な安定稼働が求められます。特に、腐食性の高い環境下で使用される部品は、早期の劣化や故障のリスクを抱えています。当社の特殊セラミック部品は、高い耐腐食性を有し、過酷な環境下でも安定した性能を発揮します。これにより、設備のメンテナンスコスト削減と、安全な操業に貢献します。 【活用シーン】 ・石油精製プラント ・化学プラント ・発電所 【導入の効果】 ・耐腐食性の向上 ・設備の長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
エッチング・CVD工程に。熱伝導率と耐プラズマ性に優れたセラミック部品
研究開発分野では、実験の精度と再現性を高めるために、使用する材料の特性が重要になります。特に、半導体製造プロセスにおけるエッチング工程やCVD工程では、高温やプラズマ環境に耐えうる材料が求められます。熱伝導率が低いと熱がこもり、均一な反応を妨げる可能性があります。また、異物の発生は実験結果に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、実験の信頼性を向上させるために開発されました。 【活用シーン】 ・エッチング工程における基板固定 ・CVD工程における反応容器 ・高温環境下での実験 ・プラズマ環境下での実験 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性による部品の長寿命化 ・異物発生の抑制による実験精度の向上 ・高品質な実験結果の実現
高周波用途に。熱伝導率と耐プラズマ性に優れたセラミック部品を提供
通信業界の高周波用途では、デバイスの高密度化と高性能化に伴い、熱対策と異物対策が重要な課題となっています。特に、高周波信号の安定性と信頼性を確保するためには、部品の温度管理とパーティクルの発生抑制が不可欠です。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性により、これらの課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・高周波回路基板 ・無線通信機器 ・アンテナ部品 【導入の効果】 ・デバイスの長寿命化 ・信号品質の向上 ・信頼性の向上
