更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空ポンプ総合カタログ
Buschの総合カタログ最新版が完成！ 各種真空メカニズムの図解入り。真空ポンプ図鑑としてお役立てください。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。 またPDF資料をダウンロードしてください。
基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
