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一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性を重視した設計になっていますので、日常の保守・点検がたいへん容易です。特に静かさを求められる研究所から各種生産ラインに至るまで、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低騒音 ○優れたメンテナンス性 ○大気圧付近のような高圧時においても安定した排気が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 11kg ○最大出力 10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排気速度が安定している ○特殊用途向けにもオプション対応 →標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様･B仕様･H仕様)を用意 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
