広帯域高周波電源
幅広い周波数の出力が可能 企業、大学等の研究機関で広くご使用頂いております
※周波数及び出力の組合せに関しましては、別途御相談下さい。 例) 広帯域電源 10MHz～100MHｚ 250Ｗ 60MHz～180MHz 300W 20MHｚ～70MHｚ 500Ｗ 13MHz～54MHz 600W 150KHz～15MHz 1kW 一例 型式 ：NM06M13M-54M-01 （広帯域ＲＦ電源）
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：100万円 ~ 500万円
高周波電源×株式会社ノダRFテクノロジーズ - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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2周波/3周波/4周波 高周波電源
複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：100万円 ~ 500万円
超小型高周波電源
小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行っております
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz～27.12MHz 周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力 5W～100W 入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
LF帯高周波電源
LF帯高周波電源（例：100kHz/150kHz/250kHz ）
一例 NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01％ 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安定度 設定出力の±1%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （22l/min）30℃以下>
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
高効率高周波電源
高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】
NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：100万円 ~ 500万円
F(周波数)マッチ高周波電源
周波数を可変させてマッチング調整を行う高周波電源です
特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時) 最大定格1000W 定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続 出力方法 連続出力 出力インピーダンス 50±2Ω RF出力コネクタ HN-R 出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み) 定格出力電力1000W 出力周波数 13.56MHｚ 周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振 周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る) 冷却方式 強制空冷 背面吹出し 外形寸法 W430×D640×H174 重量 約29kg
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
MF帯高周波電源
例：300/380/400/800(KHZ) 1/2(MHZ)
一例 NL5N400K-ＸＸ 出力周波数 400KHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （8l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
HF帯高周波電源
（例：4MHZ/13.56MHZ/27.12MHZ）
13.56MHzは、産業、科学、医療の目的に使われるべく、確保された周波数帯です。 現在最も使用されている周波数帯域で、Suica等も13.56MHzが使われています。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例 NR5N-ＸＸ 出力周波数 13.56MHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 9KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （7l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
UHF帯高周波電源
（例：300MHz/500MHz/915MHz）
地上デジタル放送や携帯電話などに使用されておりますが、プラズマ用途では 未知の領域で、大注目の周波数です。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例 NR1N915M-01 出力周波数 915MHz±0.05% 定格出力 1000W 最大入力電源 ３KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷方式(3l/min)密閉構造 RF 出力コネクタ EIA7/8
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：応相談
