更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価
近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。 Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。
【日本版カタログ進呈中】低コスト・高機能・短納期が可能な新製品！当社が取り扱う原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX7』は、Park Systemsが持つ新技術がすべて搭載されており、 かつお手頃な価格でお求め頂けます。 当製品は細部に至るまで上位モデル同様に設計されており、 研究を促進することが可能。 また、ボーイングのないフラットな直交XYスキャンができます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■拡張性の高いAFMソリューション ■ボーイングのないフラットな直交XYスキャン ■低ノイズZ検出器 ■True Non Contactモードによるチップの寿命、 サンプルの保存、繰り返し精度の向上 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ
原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡
原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
表面測定機器＆ツールの世界市場：原子間力顕微鏡（AFM）、スタイラスプロフィロメーター、3D光学顕微鏡、機械テスター、光 ...
本調査レポート（Global Surface Measurement Equipment and Tools Market）は、表面測定機器＆ツールのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の表面測定機器＆ツール市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 表面測定機器＆ツール市場の種類別（By Type）のセグメントは、原子間力顕微鏡（AFM）、スタイラスプロフィロメーター、3D光学顕微鏡、機械テスター、光学座標測定機を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、光学、自動車、電気・電子、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、表面測定機器＆ツールの市場規模を算出しました。 主要企業の表面測定機器＆ツール市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。
