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透過型電子顕微鏡による安全性試験！長年積み重ねてきた経験と実績があります！
花市電子顕微鏡技術研究所では、電子顕微鏡による『ウイルス安全性試験』の 受託を行っております。 GLP/GMPに準拠した厳正な管理の下、ウイルス安全性試験を実施。 例としてCHO細胞を使用してバイオ医薬品を製造する場合、ICH Q5A,Q5Dに 基づいた試験項目におけるレトロウイルス否定試験において、電子顕微鏡 観察の実施が必要とされています。 当社では、長年積み重ねてきた経験と実績をもとに、信頼性の高いデータを お客様に提供いたします。 【特長】 ■透過型電子顕微鏡による安全性試験 ■長年積み重ねてきた経験と実績 ■信頼性の高いデータをお客様に提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
LVEM 5 は他に類を見ない「卓上タイプ」「低価格」の「透過型電子顕微鏡（TEM）」。オプションでSEM/STEM追加可能。
【LVEM5の主な特徴】 ◆1台でTEM（電子回析含む）、SEM、およびSTEMイメージングモードが搭載できる汎用性。サンプルの同じ領域を、TEM、SEM、STEMモードを切り替えるだけで観察が可能。（各イメージモード搭載時） ◆抜群の省スペース設計、卓上タイプなので特別な施設も不要。 ◆低電圧（5KV）の為、生体材料観察時に試料へのダメージ軽減及び、染色無しでの観察、軽元素・軽金属の観察に有効。 ◆簡単操作で誰にでも扱える為、専任オペレータは不要。 ◆独自設計の永久磁石レンズは冷却が不要 ◆イオンゲッターポンプの採用によりクリーンで振動が無く、高真空を実現。 ◆簡単に切替が出来るイメージングモード 複数のイメージングモードを切替えて実行出来る為、表面画像と透過画像の両方をキャプチャする事が可能です。 また、カラムを再調整したり試料を調整をすることなく、ワンクリックでモードを切替え使用が出来ます。
TEM・STEMの分解能が向上！4本の検出器でEDS分析が可能になるなど性能が大幅に強化
当社では、透過型電子顕微鏡システム FEI製「Talos F200E」を導入します。 従来機と比べTEM・STEMの分解能が向上し、4本の検出器でEDS分析が可能に なるなど性能が大幅に強化されます。 また、ドリフト補正をしながら複数のフレームを積算する、ドリフト補正 フレーム積算(DCFI)なども搭載しております。 【仕様(抜粋)】 ■加速電圧：200kV、80kV ■TEMインフォメーションリミット：≦0.11nm ■STEM分解能：≦0.14nm ■ドリフト補正フレーム積算(DCFI) ・ドリフト補正をしながら複数のフレームを積算 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます
p型・n型材料の混合膜を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、高効率化のために膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。密度が低い膜（有機膜など）においては、TEM専用機を用いた高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることが困難です。 一方、わずかな密度の違いが反映される低加速電圧のSTEM像観察では膜内の混合状態が明瞭に観察できています。
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field： 原子量（Z)に比例したコントラストが得られます。
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察 測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電池・照明 分析目的：形状評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ：磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction）部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。
Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像（走査透過環状明視野像）により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察
MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却しながらSTEM観察とEDX分析を行い、視覚的に原子配列を確認しました。 熱的安定性の低い材料や、大気下で変質する結晶材料の高分解能分析に適用できます。
加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造変化をnmレベルで可視化、プロセス開発に役立てる事例紹介。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可能となる。本稿では、加熱in-situ TEMを用いて、(1)結晶構造解析を併用したアモルファスシリコン膜の結晶成長メカニズム解析、(2)元素分析を併用した金属積層膜の熱挙動把握、(3)平面での薄膜ルテニウム膜の結晶成長過程の観察を行った事例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. 加熱in-situ TEMの概要と特長 ３. 加熱in-situ TEMの解析事例 ４. まとめ
PE中のCNF(セルロースナノファイバー)分散状態観察事例をご紹介しております！
当社ホームページでは「透過型電子顕微鏡(TEM)によるCNF複合材料の 観察」についてご紹介しております。 高分子の結晶構造、ポリマーアロイのモルフォロジーの観察で培った、 染色を含めた超薄切片の作製技術、TEM観察技術を用いることで、樹脂に 複合されたCNF(セルロースナノファイバー)の観察が可能となりました。 PE中のCNF分散状態観察の写真や、拡大写真なども掲載しております。 ぜひ、ご覧ください。 【掲載写真】 ■PE中のCNF分散状態観察 ・PE/CNF分散状態観察 ・PE/CNF拡大写真 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
発泡体のセル壁内の結晶構造が観察できます！
当社では、形態観察として「透過型電子顕微鏡(TEM)による発泡体の観察」 を行っております。 高分子の結晶構造観察やポリマーアロイのモルフォロジー観察で培った 超薄切片作製の技術を応用かつ向上することにより、発泡体のセル壁内の 結晶構造を観察することが可能。 また、PE以外の樹脂、複合材料でも観察実績があり、染色技術を組み合わせる ことでポリマーアロイのセル壁の分散状態を観察することができます。 【特長】 ■PE以外の樹脂、複合材料でも観察実績あり ■染色技術を組み合わせることでポリマーアロイのセル壁の分散状態を観察可能 ■軟質素材の発泡体でも観察可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEBS中の微細構造(ミクロ相分離構造)が観察可能!!
弊社では、透過型電子顕微鏡(TEM)によるスチレン系エラストマーの 微細構造観察を行っております。 スチレン-エチレン/ブテン-スチレンブロック共重合体(SEBS)等のスチレン系 熱可塑性エラストマー中の微細構造(ミクロ相分離構造)をTEMで観察。 その結果、スチレン系エラストマー２種類で微細構造に違いがあることが示され、 これらのエラストマーは樹脂改質材として広く添加使用されており、複合材料中での スチレン系エラストマーの分散状態についても、弊社の電子染色技術によりTEM観察が可能。 その他、ブロック共重合体やグラフト共重合体の微細構造のTEM観察にご興味ある方も ご相談下さい。 【特長】 ■複合材料中でのスチレン系エラストマーの分散状態についても、 電子染色技術によりTEM観察が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察！構造の違いが明確に分かります
弊社では、透過型電子顕微鏡(TEM)によるスチレン系樹脂(HIPS、ABS)中の 微小分散ゴムの観察を行っております。 耐衝撃性ポリスチレン(HIPS)とアクリロニトリロ・ブタジエン・スチレン (ABS)樹脂中の微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察。 両者のサラミ構造の違いが明確に分かります。 ご用命の際は、お気軽に弊社までお問い合わせください。 【概要】 ■微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察 ■サラミ構造の違いが明確に分かる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
透過型電子顕微鏡(TEM)でサンプルの微細構造がナノレベルで観察が可能に！
弊社では、高精度なTEM観察用薄片サンプル作製と高度なTEM観察技術から鮮明なサブナノオーダーの構造観察が可能です。
超高分解能STEMによるZn(S、 O、 OH)/CIGS接合界面の結晶構造評価
Csコレクタ付きSTEM装置を用いて接合界面を直接観察することで、原子レベルでの結晶構造評価が可能です。今回、CIGS薄膜太陽電池のバッファ層にZn（S、O、OH)を用いた系でバッファ層/CIGS界面のHAADF-STEM像観察を行い、構造を評価しましたので紹介いたします。 その結果、バッファ層にCdSを用いた試料に比べ、接合部の結晶構造が不鮮明で、エピタキシャル接合にはなっていないことが示唆されました。
FFTM法による格子像解析
Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFＴＭ解析により、(1)画像のx、 ｙ方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。 化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。
FIB法による特定箇所の平面TEM観察
ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。 これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造（シリコン酸化膜／シリコン窒化膜/シリコン酸化膜）が確認できます。
TEM：透過電子顕微鏡法
球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。
ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能
透過型電子顕微鏡（TEM）はμm～nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を推定しました。 さらに、EELS分析により結晶型を区別することが可能です。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のMPUトランジスタ部の高分解能(HR)-TEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。3次元的な構造を持つFinFETのような微細な多層構造でも、Csコレクタ付TEMを用いることで素子の構造や元素分布を明瞭に観察することが可能です。
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造に対する理解を深めることが可能となります
製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング
代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。
結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができる電子顕微鏡観察！金属材料全般に適用
『透過型電子顕微鏡（TEM）』は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、 試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や 電子線回折像を得ます。 透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、 電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。 【特長】 ■1,000～1,000,000 倍での観察 ■EDS 分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～U の定性・半定量分析） ■結晶性物質の同定や結晶方位の解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料と評価方法 ３-１．結晶性の変化 ３-２．結晶配向の解析 ３-３．面内結晶配向の解析 ４．まとめ ５．謝辞 ６．おわりに
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に解析できることを示した。 【目次】 １．はじめに ２．実験方法 ３．TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 ４． in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 ４-１． STEM像における形態・組織変化の観測 ４-２． HRSTEM像における結晶構造変化の観測 ４-３． 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測 ５． まとめ
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム（DDS：Drug Delivery System）に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates（ADC等）が挙げられる。その中でも当社はリポソームの分析・評価技術の確立に注力しており、難易度が高いTEM（透過型電子顕微鏡）、AFM（原子間力顕微鏡）を中心にリポソームの分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．DDSによる基礎技術と各種キャリアの特徴 ３．リポソームの分析・評価事例 ４．おわりに
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 走査透過型電子顕微鏡（STEM）の測定手法の一つである微分位相コントラスト（DPC）-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。 【目次】 １．はじめに ２．元素分析によるソフトマテリアルの可視化 ３．DPC-STEM法の適用 ４．おわりに
樹脂の結晶構造、分散状態等の観察・評価が可能です！
当社ホームページでは「透過型電子顕微鏡(TEM)による結晶構造、 ポリマーアロイのモルフォロジー観察」についてご紹介しております。 高分子の結晶構造、ポリマーアロイのモルフォロジーをTEMを用いて観察する には、超薄切片を作ることが必要です。また電子線透過度に差をつける 為に染色が必要となります。 主な染色剤と染色可能な樹脂を表でご紹介している他、観察例も 掲載しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載内容】 ■主な染色剤と染色可能な樹脂 ■観察例 ・HDPEの結晶構造 ・ポリマーアロイの分散構造観察例 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
