アモルファス太陽電池、フィルム搬送装置
フィルムを非接触にて搬送・積層・送出する
アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を採用している。 ワークに傷、汚れ、を付着させない。弱い、脆いフィルムでも可能。
- 企業:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格:応相談
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フィルムを非接触にて搬送・積層・送出する
アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を採用している。 ワークに傷、汚れ、を付着させない。弱い、脆いフィルムでも可能。
くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する
アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)により積層したシートを1枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」(特許)を採用し、フィルムを一枚づつ確実に送り出しす。搬送部は「フロートチャック」を採用し、搬送課程ではフィルム先端部に垂れ下がりを生じさせることなく搬送が可能である。そのためセンサーを用いたフィルムの反射、透過の欠点検査が可能である。 積層部は、非接触搬送装置「フロートチャック」により構成される「非接触懸垂コンベア」により薄い、柔軟性のあるフィルムを水平状態にて落下させ、高速にて精度良く積層する。
積層フィルムを1枚ずつ送り出し、搬送し、積み重ねる装置
◎特徴 偏光板・ガラス・ウエハ・フィルム・紙・布他シートを 1.積層したフィルムを1枚づつ送り出す。 2.先端部が垂れ下がることなく搬送する。 3.精度良く積層する。 4.キズ、汚れを付着させない。 5.ストレスをかけない。 6.静電気を生じない。
フィルム・シート搬送装置
フィルム、プリント基板、スルホール基板、紙、不織布、柔軟シート、通気性シートを気体を噴出することにより保持、搬送するチャック。
FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬送する
フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします
微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。
非接触である。 微小なワークを非接触にて搬送可能。 傷、汚れの付着がない。 損傷がない。
50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」
「50μm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。 従って圧力線図に示すように超薄型ガラスに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません(負圧になっている)。 このため薄いワーク、脆い超薄型ガラスも破損することはありません。 、
超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
◎特長 1.超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 2.ウエハに損傷を与えない 3.汚れを付けない ◎ 適応 1.反りのあるウエハ 2.GaSaウエハ 3.極薄ウエハ 4.表面処理ウエハ
太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置
太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。 また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」 は使用空気量が少なく、効率が良い。 また排気流を周囲に排出しない構造ですので環境を汚しません。
厚さ20μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 する。
TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。
10Gガラス基板非接触搬送装置
気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)の非接触搬送用に採用されている。
気体垂直噴流方式(VGFS)を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズ
気体垂直噴流方式(VGFS)を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。
微小レンズを非接触にて搬送する。
カメラ付き携帯電話のレンズ、デジタルカメラ、医療用カメラ、工業用小型カメラの微小レンズを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。傷、汚れを付着させません。
積層された通気性シート、フィルム、不織布、紙を非接触搬送装置「フロートチャック」にて1枚ずつ高速にて供給する
通気性の薄いシート。フィルム、不織布、紙に対応。1枚ずつ送り出す。高速。
ガラス基板を非接触にて搬送システム
この度、新たに開発した「フロートチャックC型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。