小型ドライ真空ポンプ KM
オリオン機械/真空ポンプ。精密空調機サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。
■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。 ■メンテナンスが容易。 ■無給油方式で油分を含まない為、作業環境や製品を油で汚さない。 ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することが可能。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ(ロータ) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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ドライ真空ポンプの製品一覧
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ドライ真空ポンプCRシリーズ
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
【真空焼結炉向け】ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）
油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ
真空焼結炉では飛散するバインダーが 油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、 オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。 当社ドライポンプは内部にバインダーが 堆積しにくい構造のため故障せず、 オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。 ●真空焼結炉では油回転真空ポンプから ドライポンプへの置き換えが今のトレンドです。 ●独自設計のスクリューロータにより、 吸引されたバインダーを排出します。 一般的なドライポンプでは内部にバインダーが堆積し、 故障の原因となります。 ●オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、内部に残ったバインダーを 洗い流す作業が出来ます。 ●シールガス・パージガスを導入することで、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ●設置場所にて、容易に分解作業 （状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
【化学業界向け】ドライ真空ポンプ
水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：100万円 ~ 500万円
ドライ真空ポンプGRシリーズ
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：ベッカーエアーテクノ株式会社 東京本社、大阪営業所、東関東サービスセンター
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ Rocker 300C
減圧ろ過、減圧乾燥に適した小型真空ポンプです。
ドライ真空ポンプRocker 300型の耐溶媒仕様です。 ポンプヘッド内およびダイヤフラムはPTFEコートされており、強酸、強アルカリを除く腐食性ガスに耐性があります。蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧ろ過など、幅広い用途にご使用いただけます。真空レギュレーターとトラップびんが標準で付属しています。
- 企業：柴田科学株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
テフロンダイアフラム型 ドライ真空ポンプ MD/MZシリーズ
抜群の耐食性と扱いやすさ
真空室内にテフロン系部品を採用しており、有機溶媒系ガや腐食性ガスの吸引などに、抜群の耐食性を発揮します。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ/コンプレッサーSECOファミリー
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
ドライポンプ 高真空KHH251
高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現
【仕様】 ■到達圧力 1.3kPa[abs]以下 ■流量 179L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
- 企業：オリオン機械株式会社
- 価格：応相談
【環境に配慮】革新的なライボルトのドライソリューション
お客様に新たな価値を提供するドライポンプソリューション。廃棄物の削減や消費エネルギーの削減を実現する、環境に配慮したポンプです。
今、環境問題は世界的に注目されています。ドライ真空ポンプの使用に切り替えることによって、オイルや廃棄物を削減することができ、消費電力を減らすことで二酸化炭素の排出量を削減ることができます。 また、空冷式のポンプを選択すれば、水の使用量も削減できます。 ライボルトはさまざまなドライポンプ製品群を提供しています。多様な特長を持つドライポンプから、お客様の課題を解決するソリューションが見つかります。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VP3-2501
ドライ真空ポンプの問題点を解決！
四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式 回転するローター内部とケーシング･ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去 常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
