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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
微少流量から制御可能！当社が取り扱う液体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2600-PPS SERIES』は、圧力変動に対して一定流量を 保持できる製品です。 接流体部材質はPPS(ガラス30%入り)、SUS316、FKM、FFKM、 PTFEとなっており、使用温度は15～50℃。 また、使用圧は0.1～0.5MPa(G)で、微少流量から制御できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非回転構造！優れた制御性能の一次圧変動型気体用フローコントローラ
『MODEL 2204 SERIES』は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が 対象流体の製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、入口側(一次側)圧力変動に 対して一定流量の保持が可能。 また、最大流量(Air 20℃)は10mL/min～10L/minで、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～10L/min ■制御精度：入口圧力0.07～0.8MPaの間、0.3MPaの変化に於いて、 流量変動値±2%指示値以内 ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非回転構造で優れた制御性能！当社が取り扱う二次圧変動型気体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2412D SERIES』は、出口側(二次側)圧力変動に対して 一定流量を保持できる製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 調節ネジ回転数は約12回転。また、最高使用温度は60℃です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～20L/min ■制御精度：負荷圧力変動に対し1%指示値以内の変動(入口・出口差圧0.05MPa以上) ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使用温度は15～35℃！圧力変動に対して一定流量を保持できる液体用フローコントローラ
『MODEL 2600-S SERIES』は、微少流量から制御できる製品です。 対象流体はH2Oで、圧力変動に対して一定流量の保持が可能。 また、流量定格は1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、 0.1～1L/minとなっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■応答時間が0.5秒以下 ■取り付け姿勢の影響を受けない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
