更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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高圧、低流量、様々な特性のガスを正確に測定！
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおけるガスの正確な流量制御が不可欠です。特に、成膜、エッチング、CVDなどの工程では、ガスの流量が製品の品質や歩留まりに直接影響します。不適切なガス制御は、ウェーハの不良や装置の停止につながる可能性があります。ALICAT コリオリ式マスフローメーター／コントローラーは、高圧、低流量、様々な特性のガスを正確に測定し、半導体製造プロセスにおけるガス制御の課題を解決します。 【活用シーン】 ・成膜工程におけるガス流量制御 ・エッチング工程におけるガス流量制御 ・CVD工程におけるガス流量制御 ・スパッタリング工程におけるガス流量制御 【導入の効果】 ・高品質な半導体製品の安定供給 ・歩留まりの向上 ・製造コストの削減 ・プロセスの最適化
電源ユニット不要、取り付け後すぐ制御・流量測定を開始できます
高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。（保護等級 IP 65 取得機種有り）
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。納期約4週間。
『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計測可能な「MWBシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。現在納期4週間。
『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！現在納期約4週間。
『MWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
国内防爆(TIIS)認証取得！堅牢設計で、危険場所でのガス流量測定や制御に！※カタログプレゼント中
『EX-FLOWシリーズ』は、1種危険場所でのガス流量測定向けに 堅牢設計された防爆タイプのガス用マスフローメータです。 本質安全防爆測定ヘッドは、ATEX/IECEx認証（Ex ib IIC T4 Gb）と TIIS認証（Ex ib IIC T4）を取得し、電装部ハウジングはIP65等級。 さらに、耐圧防爆タイプのエア駆動弁などとの組み合わせでマスフローコントローラも構成可能。 【主な適用例】 ■（石油）化学産業用プロセスガスの流量測定・制御 ■燃料電池技術 ■ガス分配システム ■水素化プロセス ■社内会計用ガス消費量測定・管理 ■暖房用・バイオガスの製造 ※詳しくはＰＤＦをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ■関連ワード：水素防爆/本質安全防爆/耐圧防爆
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです
マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。
LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル
危険場所で適用できるよう堅牢設計された、ガス用マスフローメータ/コントローラ！
『防爆マスフローメータ ・コントローラ』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計されており、TIIS/IECEx/ATEXの認定を受けています。電装部ハウジングはIP65等級を取得したものです。高速でスムースな特性を持った調節弁(ATEX認証)は、機器直結又は分離型で提供されます。 【特長】 ■1種危険場所(Zone 1)で使用可能 ■水素・アセチレン・エチレン・プロパンなどの可燃性ガスに適用可能 ■マスフローメータは、TIIS認証 Ex ib IIC T4 (労(平29年2月)検/検・第TC21584号)（日本国内防爆） ■マスフローコントローラは、ATEX 認証 Cat.2, Zone 1 ■IP65堅牢・耐候型ハウジング（TIIS認証上はIP20） ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です！
『5700シリーズ』は、パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズ を想定して作られたエラストマシールマスフローメータです。 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号 を備え、コスト効率と安定性に優れています。 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで 経済的なマスフローメータが必要でしたら、当製品をお選びください。 【特長】 ■測定専用 ■幅広い流量 ■ステンレス製接ガス部材質 ■片面電源入力 ■0.5 V 出力信号 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液体用マイクロフルイディック・マスフローメータ
ブロンコストハイテックはマイクロフルイディックコンセプトに基き液体用のマスフローメータ(MFM)、LIQUI-FLOW miniを開発いたしました。 この大変コンパクトな計器は水ベースでなんと極微少流量1,5…75 mg/h (0,025…1,25 μl/min)から12…600 mg/hを正確に計測いたします。 ストレートな duplex steel センサー(W1.4462) は内容量が僅か1mm3以下で、サーマル計測原理で動作いたします。 【特徴】 ○流量レンジ 0-75mg/hから 0-600mg/h (水換算流量） ○超低流量レンジ用のサーマル式液体 ○アナログ / RS232出力 ○圧力定格最大1000bar 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高速応答で安定性のある圧力制御。 アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。 ±(0.30% FS) の高い圧力精度。
『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.30% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量コンパクトに設計されたローコストタイプのマスフローメーターです。
研究開発及び、各種分析装置、真空装置等様々な用途で使用できます。
DN15(1/2”)～最大 DN80 (3”)までの配管内の流量の計測に最適！エアーの使用量管理で省エネへ。
● 高精度指示値の±1.5% ● 圧力下測定を出荷前設定 ● 優れた再現性 ● ライン圧力下での素早いセンサー交換(EE772) ● Modbus RTU/M-BUS用バスインターフェイス ■EE771/EE772は、熱式質量流量原理を採用し、DN15(1/2”)～ 最大DN80(3”)までの 配管内の流量の計測に適したマスフローメーターです。 ■圧縮空気、窒素、CO2、酸素、アルゴンまたは他の非腐食性、 非可燃性ガスなどの使用量の測定が可能。 ■測定バルブと遮断機能を兼ね備えたユニークな設置コンセプトにより、 定期校正時の際の取付/取外しが迅速に行えるほか、パイプ内の正確且つ 再現性がある位置に設置できる為、高精度が保証されます。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
圧縮空気中のドレイン管理・露点管理に露点計の使用
コンプレッサーエアー/圧縮空気において、水分は密接な関係があります。ドレインを輩出しても、配管途中で低温スポットがあれば結露の要因になります。また、エアー搬送距離の長い工場や、半導体や電池業界等においては、水分量を低くコントロールしたエアーを製造する必要があり、乾燥剤による吸着式ドライヤー、ハニカムローター式ドライヤーが使用されます。 また、最近では、マスフローメーターによるエアー量の管理を導入検討する工場が増えています。
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等が対象！精度±1％F.S.のメタルシールマスフローメータ
当社で取り扱う、メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410 SERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～20SLM、 精度は±1％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE ■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠） ■重量：約800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対象流体はN2、Air、H2、Heなど！精度±1％F.S.のマスフローメータをご紹介
当社で取り扱う、大流量用マスフローメータ『MODEL HFC-303 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は100～1000SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■許容周囲温度：5～45℃ ■接ガス部材質：SUS316、Ni、SUS302、FKM ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約1600g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接ガス部材質はSUS316、Ni、FKM！最大流量1500SLM～15000SLMのマスフローメータ
当社で取り扱う、低圧力損失大流量用マスフローメータ『MODEL HFM-200W/LS SERIES』をご紹介します。 N2換算でF.S.15000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、精度は±3～5％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■再現性：±0.5%F.S. ■許容周囲温度：5～45℃ ■許容周囲湿度：10～90%RH（結露なきこと） ■電気接続：D-sub15ピン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業機器にマッチした24V駆動の電子流量計
『AR-M2324』は、コンパクトサイズで60SLMクラスの領域まで流量計測が 可能な単電源マスフローメータです。 お手持ちの電源でマスフローメータの動作が可能です。 【特長】 ■一般産業機器にマッチ ■お手持ちの電源でマスフローメータが動作可能 ■コンパクトサイズ ■60SLMクラスの領域まで流量計測が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対象ガスはN2、Air、O2、CO2など！N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応
当社で取り扱う、ハイグレードマスフローメータ『MODEL 3100 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
積算パルス出力あり！アラーム設定など、各種機能を使用できるローコストマスフローメータ
『MODEL 3810DSII SERIES』は、表示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F.S. ■表示器一体型 ■アナログ出力4-20mA/1-5VDC選択可能 ■ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低価格・短納期！高品質な流体用計装品
Golden Mountain Enterprise Co., Ltd.（ニューフロー社）は台湾および米国に拠点を持つ流体用計装品の総合メーカーです。 1980年の創業以来世界中の化学プラント・食品工場・半導体製造装置等向けに一貫して多用な高品質の機器を製造・販売して参りました。 ハイスペック商品を低価格でスピーディーにご提供することをモットーとし、堅実な成長を続けております。 【グループ】 ○バルブグループ ○圧力グループ ○温度グループ ○レベル・サイトグループ ○フローグループ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
デジタル表示を搭載し、流量の見える化を実現。取り付け場所を選ばない質量流量計
『ALCOS-Mシリーズ』は、マイクロチップセンサーを搭載した 熱式質量流量計です。 デジタルスピードコントローラー「ALCOS-V」とドッキングすることで デジタルマスフローコントローラに変身。 また、分離されたバルブの遠隔コントロールで、自在にシステムの 構築が可能となりました。 【特長】 ■デジタル表示により流量を即時把握 ■ジョグスイッチを搭載しレンジの切り替えが容易 ■円筒形設計により設置等が容易(取り付け場所を選ばない) ■独自開発の流量センサーにより誤差が少ない ■コントローラーの後付けが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能！デジタルマスフローメータのご紹介
『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2（Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） ■最大流量：気体 10SCCM～500SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■C.F.値が0.50～1.50のガス種はお客様で追加登録可能 ■流量出力信号は表示器にて変更可能（出荷時 4-20mA） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ
『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造における清浄度管理をサポート。高精度計測で品質向上へ。
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な異物混入が製品の品質を大きく左右します。特に、圧縮空気や各種ガスの清浄度管理は、歩留まりを左右する重要な要素です。マスフローメーターEE771/EE772は、これらのガス流量を正確に計測し、清浄度管理を支援します。高精度な計測と信頼性の高いデータを提供することで、製造プロセスの最適化に貢献します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン ・各種ガス供給ライン（窒素、酸素、アルゴンなど） ・半導体製造装置へのガス供給 【導入の効果】 ・ガス流量の正確なモニタリングによる品質管理の強化 ・ガス使用量の最適化によるコスト削減 ・製造プロセスの安定化と歩留まり向上
溶接工程におけるエアー使用量を管理し、コスト削減と品質向上へ。
造船業界の溶接工程では、高品質な溶接を行うために、圧縮空気やガスの正確な流量管理が重要です。溶接品質はガスの流量に大きく左右され、流量が不適切だと、溶接不良や材料の無駄につながる可能性があります。EE771/EE772は、圧縮空気などの流量を正確に計測し、溶接工程におけるガス使用量の最適化を支援します。これにより、コスト削減と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・溶接ブース ・ガス供給ライン ・造船所の工場 【導入の効果】 ・ガス使用量の可視化による無駄の削減 ・溶接品質の安定化 ・コスト削減
反応プロセスにおけるガス流量を精密に管理し、安全と効率を向上。
化学業界の反応制御においては、反応ガスの正確な流量測定が、反応の効率性、製品の品質、そして安全性を確保する上で不可欠です。特に、反応条件がデリケートなプロセスや、高価なガスを使用する場合には、流量の正確な管理が重要となります。不適切な流量管理は、反応の停止、副生成物の増加、または爆発などの危険な状況を引き起こす可能性があります。EE771/EE772マスフローメーターは、高精度な流量測定により、反応プロセスの最適化を支援します。 【活用シーン】 ・化学反応プロセスのガス供給ライン ・反応ガスの流量モニタリング ・プラントの安全管理 【導入の効果】 ・反応効率の向上 ・製品品質の安定化 ・プラントの安全性の向上
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ
『MQシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製の高圧タイプのマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 【特長】 ■最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 ■耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ご希望の流量に合わせてスケール/目盛を選択できる流量計
ガス燃焼プロセスにおいては、安全性と効率性を両立した流量管理が不可欠です。わずかな流量のズレが、燃焼不良や設備トラブル、エネルギー損失につながる可能性があります。Model GT1600は、ガス流量を高精度に測定・可視化し、安定した燃焼制御と効率改善を実現します。 【活用シーン】 ・ガスバーナーにおける流量調整・最適化 ・ボイラーの燃料供給管理 ・工業炉・加熱炉の燃焼制御 【導入の効果】 ・燃焼効率の最適化による省エネルギー化 ・安全性向上とトラブルリスクの低減 ・エネルギーコストの削減
