塗布・現像装置 ACS300 Gen2
最大300mmまでタイプ スピンコーティング/現像クラスタ
量産用ウエハレベルパッケージング及び3次元集積向け
- 企業：ズース・マイクロテック株式会社
- 価格：応相談
塗布現像装置×ズース・マイクロテック株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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塗布・現像装置 ACS200
全自動最大200mm対応
全面一括露光方式の当社製マスクアライナ・モジュールをドッキングさせることにより、リングラフィ・クラスタLithoFab200として使用可能
- 企業：ズース・マイクロテック株式会社
- 価格：応相談
